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1. 发明申请

WO2005073672A1 磁気センサ及びその製造方法审中-公开
标题翻译：磁传感器及其制造方法
公开(公告)号：WO2005073672A1
公开(公告)日：2005-08-11
申请号：PCT/JP2005/001070
申请日：2005-01-27
申请人：株式会社三協精機製作所 , 野口直之 , 百瀬正吾 , 有賀英吉 , 竹村政夫
发明人：野口直之 , 百瀬正吾 , 有賀英吉 , 竹村政夫
IPC分类号： G01D5/245
CPC分类号： G01D5/145 , G01R33/09
摘要：　磁気センサを動作させるにあたって、識別精度向上の観点から複数個の磁気抵抗体薄膜を使用するが、それらの磁気抵抗体薄膜の間隔の狭小化に起因した配置自由度の低下を防ぐこと、磁気抵抗素子間の間隔を柔軟に調整しつつ、製造困難とならない程度に各高調波を打ち消す磁気抵抗素子の本数を増やすことができ、ひいては熱特性の均一化と識別精度の向上を図ることが可能な磁気センサを提供する。磁気抵抗体薄膜が基板上に形成された磁気抵抗パターンを有し、この磁気抵抗パターンは、９０°位相の異なる２個の信号を出力するＡ相磁気抵抗パターンとＢ相磁気抵抗パターンとから構成される磁気センサにおいて、その磁気抵抗パターンは、２個の基板が組み合わされて形成されることを特徴とする。
摘要翻译：考虑到提高磁传感器的操作的识别精度，磁阻传感器包括磁阻薄膜，以便防止归因于磁阻薄膜之间的窄间隔的排列自由度的降低。用于消除谐波的磁阻元件的数量可以增加到磁传感器的产生不会变得困难的程度，同时灵活地调节磁阻元件之间的间隔。热特性均匀，识别精度提高。磁传感器具有在基板上形成磁阻薄膜的磁阻图案，磁阻图案由输出两相信号相差90°的A相和B相磁阻图形构成。磁传感器的特征在于，通过组合两个基板形成磁阻图案。

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