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热词
    • 1. 发明申请
    • 基板収納容器
    • 基板储存容器
    • WO2004025721A1
    • 2004-03-25
    • PCT/JP2003/010465
    • 2003-08-19
    • 信越ポリマー株式会社三村 博新谷 渉矢嶋 敏嗣
    • 三村 博新谷 渉矢嶋 敏嗣
    • H01L21/68
    • H01L21/67369H01L21/67383H01L21/67393
    • 磨耗粉の発生に伴う基板や基板処理用のクリーン環境の汚染を防ぐことのできる基板収納容器を提供する。 複数枚の基板を整列収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体と、容器本体の開口した正面をシール可能に開閉する蓋体と、これら容器本体と蓋体の設置部にそれぞれ嵌着され、蓋体で閉塞された容器本体の内圧を調整する内圧調整機構とを備える。そして、内圧調整機構を、弾性の取付筒と、取付筒に嵌入保護されるフィルタ保持具と、フィルタ保持具内に保持される複数のフィルタとから構成する。容器本体や蓋体に取付孔を設け、取付孔に構成の簡易な取付筒を弾性変形させて着脱するだけで、内圧調整機構をセットできるので、加工に手間のかかる螺子孔を設ける必要がなく、容器本体を成形する金型の構造が複雑化することがない。
    • 能够防止由于磨损粉末的生成引起的基板和基板处理的清洁环境被污染的基板收容容器。 基板收纳容器具有用于有序地存储多个基板的前开口箱式容器主体,用于以可密封的方式打开和关闭容器主体的敞开的前表面的盖体, 安装在容器主体中的调节机构和用于盖体的安装部分,并且用于调节由盖体封闭的容器主体的内部压力。 内部压力调节机构各自由弹性安装管,在安装管中装配和保护的过滤器保持架以及保持在过滤器保持器中的多个过滤器构成。 在容器主体和盖体中设置有安装孔,使得只要安装安装管即可,在安装孔中弹性变形的情况下,可以以简单的结构安装内部压力调节机构。 因此,不需要复杂处理的螺纹孔,并且用于形成容器主体的模具的结构不复杂。
    • 3. 发明申请
    • ペリクル用収納容器
    • 收集容器的容器
    • WO2007017963A1
    • 2007-02-15
    • PCT/JP2006/300048
    • 2006-01-06
    • 信越ポリマー株式会社矢嶋 敏嗣菊地 渉
    • 矢嶋 敏嗣菊地 渉
    • G03F1/14H01L21/673
    • G03F7/70983G03F1/62G03F1/66
    •  ペリクル用収納容器を構成するトレイと蓋をテープを用いて容易かつ強固に固定すること。ペリクル膜6と当該ペリクル膜6を支持する支持枠7とを有するペリクル5を輸送するためのペリクル用収納容器1であって、トレイ3と、当該トレイ3の蓋となるカバー2と、を有し、トレイ3およびカバー2の外周部に、平面を形成するように折り曲げた平面折曲部21d,31dを備え、トレイ3にカバー2を被せた状態において、トレイ3の外周部とカバー2の外周部によって平面部4を形成する構成とした。
    • 构成用于防护薄膜组件的容器的托盘和盖子通过使用带容易且牢固地固定。 用于运送具有防护薄膜(6)的防护薄膜(5)的接收容器(1)和用于支撑防护薄膜(6)的支撑框架(7)具有托盘(3)和盖(2) 托盘(3)。 弯曲形成平坦表面的平面弯曲部分(21d,31d)设置在托盘(3)和盖(2)的外周上。 当盖子(2)放置在托盘(3)上时,平板部分(4)由托盘(3)的外周边和盖子(2)的外周边形成。
    • 4. 发明申请
    • 梱包用緩衝体および包装体
    • 用于包装和包装体的阻尼体
    • WO2008096462A1
    • 2008-08-14
    • PCT/JP2007/063575
    • 2007-07-06
    • 信越ポリマー株式会社矢嶋 敏嗣鎌田 俊行
    • 矢嶋 敏嗣鎌田 俊行
    • B65D81/113B65D85/86H01L21/673
    • H01L21/67369B65D5/5088H01L21/67386
    •  落下時の衝撃を有効に吸収することができる梱包用緩衝体および包装体を提供する。  梱包時に精密基板収納容器3に当接する当接部25と、この当接部25を有する底部21の外周縁から立ち上がって隆起する外周壁22との間に、精密基板収納容器3に対して当接部25より離間した位置に外周底部26を形成し、この外周底部26と当接部25との間に段差部27を形成する。これにより、衝撃を受けた場合に、段差部27が潰れて、当接部25が外周底部26に対して好適に移動して、衝撃を効率良く吸収することができる。したがって、瞬間的に大きな衝撃が精密基板収納容器3に加わる事態を防止することができ、落下衝撃を効率的に緩衝させることができる。
    • 提供一种用于包装的阻尼体,能够有效地吸收包装体下落时的冲击和包装体。 外包装底部(26)形成在与包装的精密基板容器(3)接触的接触部(25)和从底部的外周边缘上升的外周壁(22)之间, (21)具有接触部(25),外周底部(26)位于与接触部(25)间隔开的位置。 在外周底部(26)和接触部(25)之间形成台阶部(27)。 当阻尼体接收到冲击时,台阶部分(27)塌陷,并且接触部分(25)适当地移动到外周底部(26)以吸收冲击。 可以防止大的瞬时冲击作用在精密基板容器(3)上,从而可以有效地抑制对容器(3)的跌落冲击。
    • 5. 发明申请
    • ペリクル用収納容器
    • 易储存容器
    • WO2007043217A1
    • 2007-04-19
    • PCT/JP2006/312795
    • 2006-06-27
    • 信越ポリマー株式会社菊地 渉矢嶋 敏嗣
    • 菊地 渉矢嶋 敏嗣
    • G03F1/14B65D77/20H01L21/027
    • H01L21/67353G03F1/66G03F7/70741H01L21/67359H01L21/67366H01L21/67376
    • A pellicle storing container capable of reducing of abrasion powder. There is provided pellicle storing container (1) for transporting of pellicle (5), comprising pellicle membrane (6) and, supporting the pellicle membrane (6), support frame (7), which pellicle storing container (1) is equipped with tray (3), cover (2) as a lid thereof and block members (4,50,60,70) for closing up any gap between the tray (3) and the cover (2) on the outer side or inner side of the tray (3) and cover (2). The block members (4,50,60,70) can be seal member (79), clip (4), composite clip (50) and cover sheet (60). The occurrence/penetration of abrasion powder can be reduced by constituting al least a part brought into contact with the tray (3) or cover (2) by a urethane elastomer.
    • 一种能够减少磨损粉末的防护薄膜储存容器。 提供用于运输防护薄膜组件(5)的防护薄膜储存容器(1),包括防护薄膜(6)和支撑防护薄膜(6),支撑框架(7),防护薄膜储存容器(1)装有托盘 (3),作为其盖的盖(2)和用于封闭托盘(3)和盖(2)之间的任何间隙的块构件(4,50,60,70) 托盘(3)和盖(2)。 块构件(4,50,60,70)可以是密封构件(79),夹子(4),复合夹(50)和覆盖片(60)。 通过使氨基甲酸酯弹性体至少构成与托盘(3)或盖(2)接触的部分,可以减少磨损粉末的产生/渗透。