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    • 4. 发明申请
    • 太陽電池セルの製造方法及び太陽電池セル
    • 太阳能电池制造方法和太阳能电池
    • WO2010002005A1
    • 2010-01-07
    • PCT/JP2009/062225
    • 2009-07-03
    • 株式会社アルバック渡井 美和斎藤 一也小松 孝崎尾 進若井 雅文黒岩 俊二
    • 渡井 美和斎藤 一也小松 孝崎尾 進若井 雅文黒岩 俊二
    • H01L31/04
    • H01L31/075H01L31/03762H01L31/046H01L31/0463H01L31/0465Y02E10/548
    •  この太陽電池セルの製造方法は、基板(11)上に、第1電極層(13),光電変換層(14),及び第2電極層(15)を順に積層することによって光電変換体(12)を形成した後、光電変換体(12)を複数の区画部に電気的に分離する溝を形成するスクライブ工程を含み、前記スクライブ工程では、第1溝(18),第2溝(19),第3溝(24),及び第4溝(50)を形成し、前記スクライブ工程後に、絶縁層(31,51)を形成する絶縁層形成工程と、配線層(30)を形成する配線層形成工程とを有し、前記配線層(30)は、前記第2溝(19)の底面に露出した前記第1電極層(13)から、前記第2溝(19)の内部及び前記絶縁層(31,51)の表面を通じ、前記第2溝(19)とは反対の前記第4溝(50)の側方に配置された前記第2電極層(15)の表面に至り、前記複数の区画部を電気的に接続している。
    • 本发明提供一种太阳能电池的制造方法,其特征在于,包括:通过在基板(11)上顺次层叠第一电极层(13),光电转换层(14)和第二电极层(15)来形成光电转换器 ),然后形成用于将光电转换器(12)电分离成多个部分的凹槽。 划片台阶形成第一槽(18),第二槽(19),第三槽(24)和第四槽(50)。 该方法还包括在划线步骤之后,形成用于形成绝缘层(31,51)的绝缘层形成步骤和用于形成布线层(30)的布线层形成步骤。 该布线层(​​30)从第二沟槽(19)的底部露出的第一电极层(13)延伸穿过第二槽(19)的内部并在绝缘层(31,51)的表面上方延伸, 到与第二凹槽(19)相对的布置在第四凹槽(50)的该侧上的第二电极层(15)的表面,从而电连接这些部分。