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1. 发明申请

WO2009001885A1 感光性組成物、方法、硬化物及び液晶表示装置审中-公开
标题翻译：感光性组合物，方法，固化产品和液晶显示装置
公开(公告)号：WO2009001885A1
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：PCT/JP2008/061618
申请日：2008-06-26
申请人：三菱化学株式会社 , 瑞穂右二 , 福井誠 , 高田芳宏 , 佐井経浩
发明人：瑞穂右二 , 福井誠 , 高田芳宏 , 佐井経浩
IPC分类号： G03F7/027 , G02B5/20 , G02F1/1335 , G02F1/1339 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/027 , G02F1/13394 , G03F7/0007
摘要：　露光量の対数〔ｌｏｇＥ（ｍＪ／ｃｍ２）〕に対して露光部の残膜率〔ｔ（％）〕をプロットした残膜率－露光量曲線における残膜率の６０％と９０％の点を結ぶ下記式（１）の直線のγ値が１５以上、且つ４５未満であることを特徴とする感光性組成物であり、液晶ディスプレイ等の液晶表示装置において、スペーサ等を形成する際に好適に用いられる感光性組成物であって、特にフォトリソグラフィー法により高さの異なる硬化物を同一材料で同時に形成する場合に、製造安定性に優れた感光性組成物を提供する。　　ｔ＝γｌｏｇＥ＋δ　…（１）［ここで、残膜率ｔ（％）は、ネガマスクパターンを介して画像形成したときに以下で表される。残膜率〔ｔ（％）〕＝｛（各露光量でのパターン高さ）／（露光量１０００ｍＪ／ｃｍ２でのパターン高さ）｝×１００］
摘要翻译：本发明提供了一种光敏组合物，其特征在于，以曝光面积百分比残留膜[t（％）]相对于曝光对数[logE（mJ / cm 2））绘制的曲线残留百分比曲线）]，通过将百分比残留膜点为60％与残留膜点的百分比连接90％形成的式（1）的值不小于15且小于45.光敏组合物适用于形成的液晶显示装置中的间隔物等。特别地，可以提供生产稳定性优异的光敏组合物，用于通过光刻法使用相同的材料同时形成具有相互不同的高度的固化产物。 t =△logE + d（1）其中，当通过负压掩模图案形成图像时，残留百分比t（％）由以下等式表示：残留百分比[t（％）] = { （曝光时的图案的高度）/（曝光时的图案的高度为1000mJ / cm 2））OE100。

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