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1. 发明申请

WO2007116576A1 レーザ照射装置审中-公开
标题翻译：激光辐射器件
公开(公告)号：WO2007116576A1
公开(公告)日：2007-10-18
申请号：PCT/JP2007/000079
申请日：2007-02-13
申请人：株式会社日本製鋼所 , 富樫陵太郎 , 井波俊夫 , 次田純一 , 草間秀晃 , 小林直之
发明人：富樫陵太郎 , 井波俊夫 , 次田純一 , 草間秀晃 , 小林直之
IPC分类号： H01L21/268 , H01L21/20
CPC分类号： B23K26/083 , B23K26/0622 , B23K26/0821 , B23K2201/40 , H01L21/268
摘要：　帯状照射領域を長軸方向に高速に動かす位置制御を容易に行うことが出来るレーザ照射装置を提供する。回転多角形ミラー（２）は一定速度で回転している。タイミング制御回路（８）は、エンコーダ（７）からの回転位相情報（Ｑ）に基づいて所定の時間範囲内で変化する出力タイミングでトリガ（Ｇ）を出力する。レーザ発振器（１）は、トリガ（Ｇ）に応じてレーザビーム（Ｂ１）を出力する。レーザ発振器（１）でレーザビーム（Ｂ１）をパルス出力する平均時間間隔のミラー数倍の時間で回転多角形ミラー（２）を１回転させればよいので、実施が容易である。レーザ発振器（１）でレーザビーム（Ｂ１）をパルス出力するタイミング制御は平均時間間隔より短くなるが、可動部分がないので、これも実施が容易である。よって、帯状照射領域（４）の長軸方向の所定範囲内で帯状照射領域（４）の位置を高速に容易に動かすことが出来る。
摘要翻译：提供一种激光照射装置，其可以容易地执行这样的位置控制，以便在长轴方向上高速移动带状照射区域。旋转多面镜（2）以恒定速度旋转。定时控制电路（8）根据来自编码器（7）的转动相位信息（Q）在预定时间范围内变化的输出定时输出触发器（G）。激光振荡器（1）响应于触发器（G）输出激光束（B1）。旋转多面镜（2）可以旋转一次镜像时间与激光振荡器（1）以脉冲输出激光束（B1）的平均时间间隔一样长，使得旋转可以是容易执行由激光振荡器（1）以脉冲方式输出激光束（B1）的定时控制比平均时间间隔短，但是由于没有移动部件而容易执行。因此，可以容易地在带状照射区域（4）的长轴方向的规定范围内高速地移动带状照射区域（4）的位置。

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