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    • 3. 发明申请
    • 공정효율이 향상된 픽 앤 플레이스먼트 시스템
    • WO2022154135A1
    • 2022-07-21
    • PCT/KR2021/000365
    • 2021-01-12
    • ㈜토니텍쑤저우 토니텍 세미컨덕터 씨오., 엘티디.
    • 양해춘
    • H01L21/67H01L21/677H01L21/683
    • 공정효율이 향상된 픽 앤 플레이스먼트 시스템이 개시된다. 개시된 픽 앤 플레이스먼트 시스템은 밀집된 반도체패키지를 스퍼터링 공정을 위한 스퍼터링용 프레임의 점착필름에 소정간격 이격되게 부착시키는 픽 앤 플레이스먼트 시스템에 있어서, 반도체패키지가 인접하게 밀집된 상태로 배열된 지지필름을 포함하는 패키지 공급프레임을 고정거치하는 하부작업테이블; 상기 점착필름의 점착면이 하부를 향하도록 반전된 상태로 상기 스퍼터링용 프레임을 하단에 고정거치하며, 상기 하부작업테이블의 상부에 이동 배치되어 상기 점착필름이 상기 지지필름과 마주하도록 배치되도록 하는 상부작업테이블; 상기 패키지 공급프레임의 하부에서 신축동작하면서, 상기 지지필름에 배열된 상기 반도체패키지를 밀어 올리는 이젝터;를 포함하여, 상기 지지필름이 상기 점착필름과 마주하도록 상기 상부작업테이블이 상기 하부작업테이블의 상부에 배치된 상태에서, 상기 이젝터의 구동에 따라 상기 지지필름 상에 배열된 상기 반도체패키지가 상승하여 상기 지지필름으로부터 분리됨과 동시에 상기 지지필름과 마주하고 있는 상기 점착필름의 하면에 부착되도록 구성되는 것을 특징으로 한다.