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    • 47. 发明申请
    • HERSTELLUNG VON MONOKRISTALLINEN HALBLEITERWERKSTOFFEN
    • 制造单晶半导体材料
    • WO2011128292A1
    • 2011-10-20
    • PCT/EP2011/055626
    • 2011-04-11
    • SCHMID SILICON TECHNOLOGY GMBHKERAT, UweSCHMID, ChristianHAHN, Jochem
    • KERAT, UweSCHMID, ChristianHAHN, Jochem
    • B22D27/04C01B33/02C30B15/00C30B29/06C30B35/00
    • C30B11/003B22D27/045C30B11/005C30B11/08C30B15/08C30B29/06C30B35/00Y10T117/1092
    • Beschrieben wird ein Verfahren zur Herstellung eines monokristallinen Halbleiterwerkstoffs, bei dem ein Halbleiterwerkstoff als Ausgangsmaterial bereitgestellt wird, das Ausgangsmaterial in eine Heizzone überführt wird, in der eine Schmelze aus dem Halbleiterwerkstoff mit dem Ausgangsmaterial gespeist wird und die Schmelze aus der Heizzone abgesenkt wird und/oder die Heizzone angehoben wird, so dass sich am unteren Ende der Schmelze eine Erstarrungsfront ausbildet, entlang derer der Halbleiterwerkstoff in der gewünschten Struktur kristallisiert, wobei das Ausgangsmaterial aus dem Halbleiterwerkstoff in flüssiger Form bereitgestellt und flüssig in die Schmelze eingespeist wird. Weiterhin wird eine Anlage zur Herstellung eines monokristallinen Halbleiterwerkstoffs beschrieben, die eine Quelle für einen als Ausgangsmaterial dienenden flüssigen Halbleiterwerkstoff, Heizmittel zum Herstellen und/oder Aufrechterhalten einer Schmelze aus dem Halbleiterwerkstoff und bevorzugt auch Mittel zum kontrollierten Einspeisen des als Ausgangsmaterial dienenden flüssigen Halbleiterwerkstoffs in die Schmelze umfasst.
    • 本发明公开了用于制造单晶半导体材料,其中半导体材料作为起始材料提供了一种方法,该起始材料被转移到其中半导体材料的熔体被供给到原料和从加热区熔体的加热区被减少和/或 加热区升高,使得熔融的下端,形成凝固前沿,结晶沿其被设置成从液体形式的半导体材料的起始材料在期望的图案中的半导体材料,和液体供给到该熔体中。 此外,用于生产单晶半导体材料的植物进行说明,其是用于作为原料液的半导体材料的源极,加热装置,用于产生和/或维持所述半导体材料的熔液和优选地还用于在所述熔化物作为原料液半导体材料的受控供给 包括。
    • 50. 发明申请
    • METHOD AND SYSTEM FOR THE PRODUCTION OF PURE SILICON
    • 方法和系统用于生产高纯硅
    • WO2009121558A2
    • 2009-10-08
    • PCT/EP2009002336
    • 2009-03-31
    • SCHMID SILICON TECHNOLOGY GMBHSCHMID CHRISTIANPETRIK ADOLFHAHN JOCHEM
    • SCHMID CHRISTIANPETRIK ADOLFHAHN JOCHEM
    • C01B33/029C01B33/04C01B33/107
    • C01B33/035C01B33/029C01B33/043C01B33/10763C01B33/10773Y02P20/127
    • The invention relates to a method for the production of ultrapure silicon, comprising the sections (1) of the production of trichlorosilane, (2) the production of monosilane by disproportioning the trichlorosilane produced in section (1), and (3) the thermal decomposition of the monosilane produced in this manner, wherein silicon is reacted with hydrogen chloride in section (1) in at least one hydrochlorinating process for the production of the trichlorosilane, and simultaneously therewith silicon tetrachloride forming as a by-product in a conversion process is reacted with silicon and hydrogen in section (2). Furthermore, a system therefor comprises a production unit (1) for the production of trichlorosilane, a further unit (2) for the production of monosilane, and a unit (3) for the thermal decomposition of the monosilane produced, a unit (1) having at least one hydrochlorinating reactor, at least one conversion rector, at least one collection container for reaction mixture containing trichlorosilane, and at least one separating device, a unit (2) having at least one disproportioning reactor and at least one separating device, and a unit (3) having at least one decomposition reactor for monosilane, wherein unit (2) is connected to unit (1) by way of at least one return line, by way of which the silicon tetrachloride forming in unit (2) can be fed into the at least one conversion reaction in unit (1).
    • 一种用于制造高纯度硅的方法包括的部分(1)三氯硅烷的制备,(2)生产的甲硅烷的由在第(1)三氯硅烷产生的歧化,和(3)在这种方式生产的甲硅烷,其中用于生产三氯硅烷的热分解 在用氯化氢和平行硅中的至少一个氢氯化反应是在部分(1)至第(2)硅的四氯化硅和氢在至少一个转换过程积累作为副产物。 此外,系统为此,其包括生产单元(1)用于生产三氯硅烷,另一单元(2)用于生产甲硅烷和(3)单硅烷的热分解,单元(1)具有至少一个氢氯化反应器中制备,至少一个单元 转化反应器中,为三氯硅烷的反应混合物的至少一个收集容器和至少一个分离器单元(2)具有至少一个歧化反应器和至少一个分离装置,和单元(3)具有用于单硅烷的至少一种分解反应器中,所述单元(2)与单元(1)经由至少 返回管线经由(1)可被供给四氯化硅中的所述至少一个变换反应器在单元的积累在单元(2)连接。