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    • 35. 发明申请
    • パターン状の絶縁性微粒子膜およびそれを用いた電子部品、マイクロマシン、光学部品ならびにパターン状の絶縁性微粒子膜の製造方法
    • 图案绝缘微粒膜,使用图案绝缘微细膜,电子元件,微电子元件和生产图案绝缘微粒膜的方法的电子元件
    • WO2008111533A1
    • 2008-09-18
    • PCT/JP2008/054211
    • 2008-03-07
    • 小川 一文渡辺 好章
    • 小川 一文渡辺 好章
    • B32B5/16B32B9/00B81C5/00C09D201/02H01L21/312
    • H01L21/3128B82Y30/00
    •   絶縁性微粒子本来の機能を損なうことなく、任意の基材表面にパターン状に絶縁性微粒子を1層のみ並べたパターン状の単層絶縁性微粒子膜、および複数層累積したパターン状の絶縁性微粒子累積膜、ならびにそれらの製造方法を提供する。  パターン状の絶縁性微粒子膜1、3は、第1の官能基を有する第1の膜化合物の形成するパターン状の被膜で被覆された基材14の表面に、第1の官能基とカップリング反応により結合を形成する第1のカップリング反応基を有する第1のカップリング剤の形成する被膜で被覆された反応性微粒子42が配列した絶縁性の微粒子層が、カップリング反応により形成される結合を介して1層結合固定されている。あるいは、さらにその上に第1のカップリング反応基と反応する膜化合物の被膜で被覆された微粒子34および反応性微粒子42が交互に結合固定されている。
    • 本发明提供了一种图案化的单层绝缘细颗粒膜,其包括布置在任何所需基材的表面上的图案化单层绝缘细颗粒,而不牺牲绝缘细颗粒中固有的功能,以及图案化绝缘细颗粒堆积 包括彼此顶部堆叠的多个层的膜以及这些膜的制造方法。 在图案化的绝缘性细颗粒膜(1,3)中,单个绝缘性细颗粒层包含布置的反应性细颗粒(42),该膜包覆由第一偶合反应基团的第一偶联剂形成的膜, 与第一官能团的偶联反应通过由偶联反应形成的键键合并固定在覆盖有由含第一官能团的第一膜化合物形成的图案化膜的基材(14)的表面上。 或者,由与第一偶联反应基团反应的膜化合物形成的膜覆盖的微粒(34)和反应性微粒(42)进一步交替粘合固定。