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31. 发明申请

WO99010938A1 PIEZOELECTRIC RESONATOR USING SACRIFICIAL LAYER FOR TUNING 审中-公开
标题翻译：压电谐振器使用真空层进行调谐
公开(公告)号：WO99010938A1
公开(公告)日：1999-03-04
申请号：PCT/US1998/013306
申请日：1998-06-26
IPC分类号： H01L41/09 , H01L41/22 , H03H3/04 , H03H9/19 , H01L41/08
CPC分类号： H03H3/04 , H03H2003/0428
摘要： A piezroelectric resonator (10) having a sacrificial mass-loading layer (16). Material is removed from the mass-loading layer (16) to raise a resonator frequency to a desired target. The sacrificial layer (16) is of a dense material, such as silver or gold, but is of such a relative thin layer that it can be used on high frequency aluminum electrodes (14) of a resonator (10) without increasing adverse spurious frequency problems. It is not necessary that the mass-loading layer (16) be conductive. In addition, the silver or gold sacrificial layer (16) can be removed by ion milling at practical and economical rates, unlike aluminum or aluminum oxide. Preferably, a diffusion barrier (18) is interposed between the electrodes (14) and the mass-loading layer (16).
摘要翻译：一种具有牺牲质量加载层（16）的压电谐振器（10）。将材料从质量加载层（16）移除，以将谐振器频率提高到期望的目标。牺牲层（16）具有诸如银或金的致密材料，但是具有这样的相对薄的层，其可以在谐振器（10）的高频铝电极（14）上使用，而不增加不利的杂散频率问题。质量加载层（16）不必导电。此外，与铝或氧化铝不同，银或金牺牲层（16）可以通过离子铣削以实际和经济的速率除去。优选地，在电极（14）和质量加载层（16）之间插入扩散阻挡层（18）。

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