会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 31. 发明申请
    • VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN EINER OBERFLÄCHE
    • 方法和设备用于涂覆表面的
    • WO2011160749A1
    • 2011-12-29
    • PCT/EP2011/002468
    • 2011-05-18
    • MERCK PATENT GMBHSTOESSEL, PhilippHEIL, HolgerSPREITZER, HubertSCHUBACH, BernhardDASENBROCK, Johannes
    • STOESSEL, PhilippHEIL, HolgerSPREITZER, HubertSCHUBACH, BernhardDASENBROCK, Johannes
    • C23C14/04C23C14/12C23C14/32H01L51/00H01J37/317
    • C23C14/32C23C14/04C23C14/12C23C14/221H01J37/05H01J37/3178H01J49/00H01J2237/057H01J2237/0815H01J2237/082H01J2237/0827H01L51/0008
    • Bei einem Verfahren zum Beschichten einer Oberfläche (1) eines Trägermaterials (2) mit Molekülen (5, 6), wobei die Moleküle (5, 6) aus einem Molekülvorrat (3, 4) in einen gasförmigen Zustand überführt und ionisiert werden, werden die elektrisch geladenen Moleküle (5, 6) auf dem Weg zu der Oberfläche (1) mindestens einem elektrischen und/oder magnetischen Feld ausgesetzt werden, das mindestens eine Feldkomponente senkrecht zu der gerichteten Bewegung der elektrisch geladenen Moleküle (5, 6) aufweist, um eine senkrecht zu der gerichteten Bewegung der elektrisch geladenen Moleküle (5, 6) gerichtete Kraftwirkung auf die elektrisch geladenen Moleküle (5, 6) auszuüben. Zwischen dem Molekülvorrat (3, 4) und der Oberfläche (1) wirkt eine elektrische und/oder magnetische Fokussiereinrichtung (8), beispielsweise ein Quadrupolfeld, auf die gerichtete Bewegung der elektrisch geladenen Moleküle (5, 6) ein. Zwischen dem Molekülvorrat (3, 4) und der Oberfläche (1) ist eine Blendenvorrichtung (12) so angeordnet, dass nur Moleküle (5, 6) mit einem vorgebbaren Massen-Ladungs-Verhältnis durch die Blendenvorrichtung (12) hindurch zur Oberfläche (1) gelangen. Mittels geeigneter elektrischer und/oder magnetischer Felder oder mittels zeitlich veränderbarer Blendeneinrichtungen (14) wird für vorgebbare Zeitdauern ein Auftreffen der elektrisch geladenen Moleküle (5, 6) auf der Oberfläche (1) verhindert. Dadurch wird die strukturierte Beschichtung der Oberfläche ermöglicht.
    • 在用于涂覆的载体材料(2)与分子的表面(1)的方法(5,6),所述分子(5,6)从供应的一个分子(3,4)被转移到气体状态和离子化,该 带电分子(5,6)经受至少一个电气和/或磁场上的方式向表面(1),所述至少一个场分量垂直于带电分子的定向运动(5,6),一个 垂直于带电分子的定向运动(5,6)指向的力作用在带电分子(5,6)施加。 分子之间的股票(3,4)和所述表面(1)而起作用的电场和/或磁聚焦装置(8),例如,一个四极场,带电分子的定向运动(5,6)。 分子股票(3,4)和表面(1)之间设置在光阑装置(12),以便只有分子(5,6)(与预定质量由遮阳板装置(12)通过荷比到表面1 )到达。 通过适当的电和/或磁场的装置或通过在时间上可变光阑装置(14)中的带电分子的碰撞的装置(5,6)的表面上(1)防止用于预先确定的持续时间。 由此,表面的图案化的涂层成为可能。