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    • 36. 发明申请
    • 含フッ素化合物からなる機能性材料
    • 包含氟化合物的功能材料
    • WO2005085181A1
    • 2005-09-15
    • PCT/JP2005/003611
    • 2005-03-03
    • ダイキン工業株式会社高 明天宮田 守荒木 孝之
    • 高 明天宮田 守荒木 孝之
    • C07C235/16
    • H01M14/005C07C235/16C07D239/42C07D249/14C07D251/18C07D251/22C07D251/24C08F214/18C08F216/1408C10N2220/04
    •  潤滑剤、除酸剤、各種イオン性液体材料、太陽電池の電解質、アクチュエータ材料として有用なイオン性液体型機能性材料を提供する。式(1):〔式中、−D−は、式(1−1):(式中、Rは水素原子の少なくとも1個がフッ素原子に置換されてなる炭素数1~5の2価の含フッ素アルキレン基から選ばれる少なくとも1種;nは1~20の整数)で示されるフルオロエーテルの単位であって、mが2以上の場合、2種以上のDは同じかまたは異なっても良い;Raは前記Dを含まない炭素数1~20の1価の有機基であって、mが2以上の場合、2種以上のRaは同じかまたは異なっても良い;mは1~4の整数;Ryは塩基性官能基Y 1 および/または該塩基性官能基の塩Y 2 から選ばれる少なくとも1種を有し、かつ芳香族環状構造を含む炭素数2~30の1~4価の有機基である。ただし、上記式(1)および(1−1)において−O−O−の単位を含まない]で示される含フッ素エーテル鎖を有する芳香族化合物からなるイオン性液体型機能性材料。
    • 用作润滑剂,除酸剂,各种离子液体材料,用于太阳能电池的电解质和致动器材料的离子液体型功能材料。 离子液体型功能材料包括具有氟醚链并由式(1)表示的芳族化合物:其中-D-是由式(1-1)表示的氟代醚单元:(其中R是至少一个 选自C1-5二价氟代亚烷基中的至少一个氢原子被氟原子替代的那些,n为1至20的整数),当m为2以上时,两者或 更多的D可能是相同或不同的; Ra是不含D的C1-20一价有机基团,当m为2以上时,两个以上的Ra可以相同也可以不同, m为1〜4的整数。 并且R y是具有在碱性官能团的碱性官能团Y 1和盐Y 2之间选择并具有芳环结构的至少一个成员的C2-30单价至四价有机基团; 条件是式(1)和式(1-1)都不包括单元-O-O-。
    • 37. 发明申请
    • 含フッ素重合体の製造方法およびフォトレジスト組成物
    • 生产氟聚合物和光催化剂组合物的方法
    • WO2004035641A1
    • 2004-04-29
    • PCT/JP2003/013161
    • 2003-10-15
    • ダイキン工業株式会社荒木 孝之石川 卓司高 明天鳥海 実
    • 荒木 孝之石川 卓司高 明天鳥海 実
    • C08F214/18
    • C08F214/18C08F8/00C08F2800/20G03C1/492G03F7/0046G03F7/0392C08F214/26
    • A process for the production of fluoropolymers for resists excellent in transparency to vacuum ultraviolet rays, characterized in that in the production of a fluoropolymer comprising structural units resulting from an fluorine -containing ethylenic monomer and/or structural units resulting from a monomer which can give an alicyclic structure to the backbone chain of a polymer and may have a fluorine atom and bearing acid-reactive groups (Y ) or groups (Y ) convertible into acid-reactive groups (Y ), the ethylenic monomer and/or the monomer which can give an alicyclic structure to the backbone chain of a polymer is radical-polymerized by the use of an organic peroxide represented by the general formula (1): (1) [wherein R and R are each independently a hydrocarbon group which has 1 to 30 carbon atoms and may contain an ether linkage (with the proviso that the atoms at bonding ends are not oxygen); p1 and p2 are each independently 0 or 1; and p3 is 1 or 2]; and photoresist compositions containing the fluoropolymers. The fluoropolymers are excellent in transparency in the vacuum ultraviolet region and can form ultrafine patterns when used as photoresists, particularly F2 resist.
    • 一种制备用于真空紫外线透明性优异的抗蚀剂用氟聚合物的方法,其特征在于,在含氟含氟单体和/或由单体得到的结构单元的含氟聚合物的制造中, 脂环结构与聚合物的主链可能具有氟原子并具有可转化为酸反应性基团(Y 1)的酸反应性基团(Y 1)或基团(Y 2),烯属 可以通过使用由通式(1)表示的有机过氧化物使聚合物的主链上的脂环结构单体和/或单体自由基聚合:(1)[其中R 50和R <51>各自独立地为具有1至30个碳原子并可以含有醚键的烃基(条件是键合端的原子不是氧); p1和p2各自独立地为0或1; 和p3为1或2]; 和含有氟聚合物的光致抗蚀剂组合物。 含氟聚合物在真空紫外区域的透明度优异,并且当用作光致抗蚀剂,特别是F2抗蚀剂时,可以形成超细图案。