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21. 发明申请

WO2003091970A1 フラットパネル用基板の貼り合わせ装置审中-公开
标题翻译：平板底板用贴装装置
公开(公告)号：WO2003091970A1
公开(公告)日：2003-11-06
申请号：PCT/JP2003/004963
申请日：2003-04-18
申请人：信越エンジニアリング株式会社 , 関川利夫 , 横田明義 , 石坂一朗
发明人：関川利夫 , 横田明義 , 石坂一朗
IPC分类号： G09F9/00
CPC分类号： H01J9/241 , G02F1/1341 , H01J9/24 , H01J9/261
摘要：移動シール手段（４）により両保持板（１，２）の周縁部（１ａ，２ａ）間が密閉状態に維持されて閉空間（Ｓ）内を真空状態に維持しながら、該閉空間（Ｓ）の外に配設された位置決め用移動手段（８）で、両保持板（１，２）を相対的にＸＹθ方向へ調整移動することにより、同方向へ位置調整手段（５）が移動して、両基板（Ａ，Ｂ）同士の位置合わせが行われると共に、該位置調整手段（５）が有するＺ方向への大きな剛性によって、両保持板（１，２）の周縁部（１ａ，２ａ）間が所定間隔に保持されるため、移動シール手段４が受ける支持抵抗が適正な値に保たれる。従って、ＸＹθステージを用いずに真空中で両基板を外部からスムーズにＸＹθ移動させてアライメントできる。
摘要翻译：一种用于平板基板的粘贴装置，其中通过位于封闭空间（S）的外部的定位移动装置（8），两个保持板（1,2）在XYθ方向上相对于彼此可调节地移动，同时保持闭合通过移动密封装置（4）在两个保持板（1,2）的周边边缘部分（1a，2a）之间保持间隙，使得定位调节装置（5）移动到真空状态的空间（S）两个基板（A，B）相对于彼此定位的方向相同，并且两个保持板（1,2）的周边边缘部分（1a，2a）之间的间隙由于刚度大定位调节装置（Z）在Z方向上，从而可以将施加到移动密封装置（4）上的支撑阻力保持在适当的值，并且两个基板可以平滑地从XY外方向移动，使用XYtheta舞台。

22. 发明申请

WO2022201535A1 ワーク分離装置及びワーク分離方法审中-公开
公开(公告)号：WO2022201535A1
公开(公告)日：2022-09-29
申请号：PCT/JP2021/013084
申请日：2021-03-26
申请人：信越エンジニアリング株式会社
发明人：大谷　義和 , 富岡　恭平
IPC分类号： B23K26/57 , B23K26/082
摘要：レーザ光源の一時的な出力低下に影響されず、分離層の照射面に均一なスポット状のレーザ光を満遍なく照射して、ワークから支持体を確実に剥離させる。　レーザ光源で発生されたレーザ光を積層体の分離層に向けて照射するレーザ照射部と、レーザ光源からレーザ照射部を介して積層体に向かうレーザ光の光路より外れた捨て場に向けてレーザ光を誘導するレーザ転向部と、レーザ照射部及びレーザ転向部を作動制御する制御部と、を備え、レーザ照射部は、スポット状のレーザ光を積層体に沿って動かすレーザスキャナを有し、且つレーザスキャナから分離層の照射面に向かうレーザ光の照射が、この光照射方向と交差する平面上でスポット状のレーザ光の一部が重なり合うように並んだ整列照射を行うものであり、制御部は、レーザ光源の始動によるレーザスキャナからのレーザ光の照射開始前に、レーザ転向部の作動によりレーザ光が捨て場に誘導され、レーザ転向部の作動後に、レーザスキャナの作動により整列照射が行われて、照射面の全体が整列照射で隙間なく埋め尽くされるように制御することを特徴とするワーク分離装置。

23. 发明申请

WO2015040664A1 光配向照射装置及び光配向照射装置の開口量調整方法审中-公开
标题翻译：照相对准辐射装置和调整光对准辐射装置的方法
公开(公告)号：WO2015040664A1
公开(公告)日：2015-03-26
申请号：PCT/JP2013/074997
申请日：2013-09-17
申请人：信越エンジニアリング株式会社 , 株式会社エフケー光学研究所
发明人：大谷　義和 , 中村　瑞樹
IPC分类号： G02F1/1337
CPC分类号： G02F1/133788 , G02F1/1303
摘要：【課題】開口の遮蔽量を調整する部分遮蔽部材を備えた光配向照射装置において、部分遮蔽部材の遮蔽量を決定するため、開口から照射される積算光量を測定する。【解決手段】本発明に係る光配向照射装置は、走査部にて偏光光照射部とステージを相対的に移動させつつ、開口から射出される偏光光を基板に照射する配向処理と、各部分遮蔽部材位置において、走査部にてステージと偏光光照射部を相対的に移動させつつ、開口から射出される偏光光を光センサーに受光させ、光センサーで測定した照度を時間的に積算した積算光量を測定する測定処理と、を実行することを特徴とする。
摘要翻译： [问题]为了测量配备有部分屏蔽部件的光取向照射装置中通过孔径发射的光的积分量，用于调节通过孔径发射的光的阻挡量，以确定部分遮光部件所阻挡的光量，屏蔽构件。 [解决方案]根据本发明的光取向照射装置的特征在于进行对准处理，其中在扫描单元移动偏振光照射单元和相对于彼此的台阶时，通过孔径发射的偏振光照射基板以及测量处理，其中光电传感器在扫描单元相对于彼此移动平台和偏振光照射单元时，接收通过部分屏蔽构件的每个位置处的孔径发射的偏振光，并且光的积分量通过由光电传感器测量的照度的时间积分来测量。

24. 发明申请

WO2014207867A1 貼合デバイスの製造方法审中-公开
标题翻译：绑定设备制造方法
公开(公告)号：WO2014207867A1
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：PCT/JP2013/067691
申请日：2013-06-27
申请人：信越エンジニアリング株式会社
发明人：坂下　光邦 , 大谷　義和
IPC分类号： G09F9/00 , G02F1/13
CPC分类号： C09J5/00 , C09J2203/318 , G02F1/133308 , G02F1/133608 , G02F2001/133325 , G02F2202/28 , H01L51/5246
摘要：貼合デバイスの製造方法において、第一基板と第二基板で挟まれた接着剤の外縁部の伸展をコントロールして表示領域内の全てを接着剤で満たすことを目的とする。第一基板（１）又は第二基板（２）のいずれか一方か若しくは両方に、接着剤（３）を表示領域（Ｄ）内に配置されるように供給した後に、接着剤（３）の外縁部（３ａ）において特定部位（３ａ'）が除かれた充填部位（３ｂ）をその粘度が接着性を保持したまま他の部位の粘度よりも高くなるように半硬化させる。その後、接着剤（３）が挟まれるように第一基板（１）と第二基板（２）を重ね合わせることにより、接着剤（３）の外縁部（３ａ）において未半硬化状態の特定部位（３ａ'）が、第一基板（１）と第二基板（２）の間に生じる毛細管現象や自然流動や加圧流動で、接着剤（３）の外縁部（３ａ）よりも外側の未充填領域（Ｄ１）に向け伸展して、表示領域（Ｄ）内の全てに行き渡るようにする。
摘要翻译：根据本发明的接合装置的制造方法的目的是控制夹在第一基板和第二基板之间的粘合剂的外周的延伸，并且用粘合剂填充显示区域的整个内部。在第一基板（1）之后，向第二基板（2）或两者提供粘合剂（3），使得粘合剂（3）设置在显示区域（D）内，粘合剂的周边（3a）（3）中，除了特定部分（3a'）之外的填充部分（3b）被半固化，使得其粘度高于其它部分的粘度，同时保持其粘附性。此后，使第一基板（1）和第二基板（2）重叠，使得粘合剂（3）夹在其间，并且产生毛细作用，自然流动或在第一基板（1）和第二基板（2）使得在粘合剂（3）的周边（3a）中不是半固化的特定部分（3a'）朝向比外围更远的外部的未填充区域（D1）延伸（（3）的整个内部扩散，并且分布在显示区域（D）的整个内部。

25. 发明申请

WO2014109018A1 ワーク粘着チャック装置及びワーク貼り合わせ機审中-公开
标题翻译：工作粘合装置和工件附件机
公开(公告)号：WO2014109018A1
公开(公告)日：2014-07-17
申请号：PCT/JP2013/050215
申请日：2013-01-09
申请人：信越エンジニアリング株式会社
发明人：大谷　義和
IPC分类号： H01L21/683
CPC分类号： H01L21/67092 , H01L21/67132 , H01L21/6838
摘要：　真空中で粘着剥離された板状ワークを大気雰囲気で剥離部から容易且つ確実に剥離する。　粘着部１にて粘着保持された板状ワークＷに対し、真空雰囲気で剥離部２を弾性的に突出変形して、押圧面２ａを板状ワークＷの表面Ｗ１と接触させることにより、粘着部１から板状ワークＷが剥離される。その後、剥離部２の押圧面２ａを板状ワークＷの表面Ｗ１と接触させたままで、板状ワークＷの周囲が大気開放されることにより、流路２ｐを通って剥離部２の外側空間Ｓ２から内側空間Ｓ１へ空気が流入し、剥離部２の内側空間Ｓ１と板状ワークＷとの間が真空破壊される。
摘要翻译：本发明的目的是在大气环境空气中容易且可靠地将已经在真空中进行粘合剂分离的板状工件与分离部分分离。分离部件（2）在真空环境空气中弹性变形，以朝向通过粘合部分（1）的粘合保持的板状工件（W）突出，使得按压表面（2a）与表面（W1 ），从而板状工件（W）与粘合部分（1）分离。此后，当分离部分（2）的按压表面（2a）与板状工件（W）的表面（W1）保持接触时，板状工件（W）的周边使大气开放从而空气从分离部分（2）的外部空间（S2）到内部空间（S1）流过流动路径（2p）。因此，在分离部分（2）的内部空间（S1）和板状工件（W）之间发生真空断裂。

26. 发明申请

WO2012042577A1 光配向露光装置及び光配向露光方法审中-公开
标题翻译：照相曝光装置和照相机曝光方法
公开(公告)号：WO2012042577A1
公开(公告)日：2012-04-05
申请号：PCT/JP2010/005915
申请日：2010-10-01
申请人：株式会社エフケー光学研究所 , 信越エンジニアリング株式会社 , ウィア・コーポレーション , 遠藤潤二 , 立川潔 , 川越康弘 , 内山一栄 , 大谷義和 , ユンヒョン・リョル , 橋詰幸司
发明人：遠藤　潤二 , 立川　潔 , 川越　康弘 , 内山　一栄 , 大谷　義和 , ユン　ヒョン・リョル , 橋詰　幸司
IPC分类号： G02F1/1337
CPC分类号： G02F1/1303 , G02F1/1337 , G02F1/133753 , G02F1/133788 , G02F2001/133757
摘要：【課題】優れた特性の配向膜を形成可能とする光配向露光装置並びに光配向露光方法を提供する。【解決手段】本発明に係る光配向露光装置１は、偏光光照射手段１２と、偏光制御素子１４とを含み、配向膜を表面に有する基板２にビームを照射する照射光学系１１と、基板２もしくは照射光学系１１の少なくとも一部を移動させ、基板２に対して所定の走査方向にビームを走査する走査手段１５と、を備え、偏光光照射手段１２は、直線偏光光を偏光制御素子１４に射出し、偏光制御素子１４は、走査方向に直交する方向に配列された単位偏光制御領域を有し、単位偏光制御領域から照射されるビームの偏光方向は、所定数の単位偏光制御領域ごとに周期的に変化するとともに、前記周期内において前記走査方向に平行かつ前記基板と直交する平面に関して略対称であることを特徴としている。
摘要翻译： [问题]为了提供光取向曝光装置和光取向曝光方法，由此可以形成具有优异特性的取向膜。 [解决方案]本发明的光取向曝光装置（1）的特征在于具有：包括偏振光发射装置（12）和偏振控制元件（14）的辐射光学系统（11）并且将光束辐射到在表面上具有取向膜的基板（2）; 以及扫描装置（15），其至少移动所述基板（2）或所述辐射光学系统（11）的一部分，并且用所述光束在所述预定扫描方向上扫描所述基板（2）。光取向曝光装置的特征还在于，偏振光发射装置（12）向偏振控制元件（14）输出线偏振光，偏振控制元件（14）具有沿垂直方向设置的单位偏振控制区域与扫描方向相交，并且从单位偏振控制区域辐射的光束的偏振方向周期性地改变预定数量的单位偏振控制区域，并且在该周期内，偏振方向相对于平面表面大致对称平行于扫描方向并且相对于与基底正交相交的平坦表面基本对称。

27. 发明申请

WO2011030718A1 貼合デバイス及びその製造方法並びに貼合デバイスの貼り合わせ装置审中-公开
标题翻译：滑动装置，其制造方法和用于装置的装置
公开(公告)号：WO2011030718A1
公开(公告)日：2011-03-17
申请号：PCT/JP2010/065100
申请日：2010-09-03
申请人：信越エンジニアリング株式会社 , 横田道也
发明人：横田　道也
IPC分类号： B29C65/54 , C09J5/04 , G02F1/1339 , G09F9/00
CPC分类号： B29C65/52 , B29C65/485 , B29C65/54 , B29C66/00145 , B29C66/1122 , B29C66/21 , B29C66/45 , B29C66/71 , B29C66/8322 , B29C66/924 , B29L2031/3475 , B32B37/1284 , B32B2037/1269 , B32B2038/1891 , B32B2309/68 , B32B2457/20 , C09J5/00 , C09J2203/318 , G02F1/1303 , G02F1/1339 , G02F2202/28 , B29K2081/06
摘要：　主剤液と副剤液が所定の比率で混合される二液混合硬化型接着剤により第１基板と第２基板を確実に接着した貼合デバイスを提供する。　第１基板１と第２基板２の重ね合わせに伴い、第１基板１及び第２基板２の対向面１ａ，２ａに分散して配置された微細な点状の主剤液３ａと副剤液３ｂが、それぞれ伸展してその界面同士が接触し相互に繋がることにより、第１基板１と第２基板２の間に、主剤液３ａと副剤液３ｂが所定の比率で混合される連続した一層の二液混合部３ｃを形成し、この二液混合部３ｃが硬化を開始して、第１基板１及び第２基板２の対向面１ａ，２ａが貼り合わされる。
摘要翻译：公开了一种卡定装置，其中第一板和第二板通过以预定速率混合主液粘剂和第二液粘剂而获得的双液混合固化型粘合剂可靠地粘在一起。当第一板（1）和第二板（2）粘合在一起时，分散在第一板（1）和第二板（2）的相对表面（1a，2a）上的主液体粘合剂（3a）和第二液体粘合剂板（1）和第二板（2）分别延伸，其接口彼此接触以互连。在第一板（1）和第二板（2）之间形成连续层的双液体混合部分（3c），其中主液体粘合剂（3a）和第二液体粘合剂（3b）以预定的速率混合。因此，双液混合部（3c）开始固化，将第一基板（1）和第二基板（2）的相对面（1a，2a）粘合在一起。

28. 发明申请

WO2009013803A1 静電チャックの表面電位制御方法审中-公开
标题翻译：控制静电切割表面电位的方法
公开(公告)号：WO2009013803A1
公开(公告)日：2009-01-29
申请号：PCT/JP2007/064429
申请日：2007-07-23
申请人：信越エンジニアリング株式会社 , 株式会社巴川製紙所 , 大谷義和 , 横田道也 , 長谷川雄一 , 尾山三樹夫
发明人：大谷義和 , 横田道也 , 長谷川雄一 , 尾山三樹夫
IPC分类号： H01L21/683 , B65G49/06
CPC分类号： B65G49/061 , B65G2249/02 , H01L21/6831
摘要：　ワーク吸着面の表面電位を安全レベルまで抑制する。第一電極部（１）及び第二電極部（２）に異なる極性の電圧の組を印加して、これら両電極部（１）,（２）の面積の非対称による表面電位のアンバランスを打ち消すことにより、静電吸着力に必要な両電極（１）,（２）の電位差を確保しながらワーク吸着面（４）がそれに近い電極の電位に偏ることがない。
摘要翻译：工作吸附面的表面电位被抑制到安全水平。将相互不同极性的电压的组合施加到第一电极部分（1）和第二电极部分（2），以消除归因于这些电极部分（1,2）之间的面对不对称的任何表面电位不平衡，从而避免任何工件吸收平面（4）的偏压朝着电极的电位靠近，同时确保静电吸附力所需的这些电极部分（1,2）之间的电位差。

29. 发明申请

WO2008114405A1 表示装置の製造方法审中-公开
标题翻译：制作显示方法
公开(公告)号：WO2008114405A1
公开(公告)日：2008-09-25
申请号：PCT/JP2007/055634
申请日：2007-03-20
申请人：信越エンジニアリング株式会社 , 横田道也
发明人：横田道也
IPC分类号： G02F1/1339
CPC分类号： G02F1/133351
摘要：　大気圧力によるギャップ形成時に省スペースで減圧面積を確保しながらメインシールの耐力を向上させる。　両基板１，５の貼り合わせ時は圧力調整バルブ手段７によりギャップ形成空間６が真空で減圧されるため、大気圧で両基板１，５が圧縮されてセルギャップが均一化され、それに伴って封入材４が拡散伸展し、大気圧開放の設定時間経過後に該封入材４の伸展端がメインシール２の内側面へ到達してその伸展圧力が作用する頃には、圧力調整バルブ手段７によりギャップ形成空間６の真空部に大気圧が導入されて大気圧又はそれと近い状態に切り替るため、封入材４の伸展圧力との圧力バランスがとれてメインシール２が破裂しない。
摘要翻译：当通过大气压力形成间隙时，主密封件的防护强度增加，同时在节省空间的同时确保减压区域。由于当两个基板（5,5）彼此接合时，间隙形成空间（6）通过压力调节阀装置（7）发泡，两个基板（5,5）都被大气压压缩，并且单元间隙均匀。密封材料（4）相应地扩散和延伸，并且在经过大气压力的设定时间之后，密封材料（4）的延伸端到达主密封件（2）的内表面。当密封材料的延伸压力作用在主密封件上时，通过压力调节阀装置（7）将大气压力引入到间隙形成空间（6）的真空部分中，并且真空部件中的压力改变压力等于或接近大气压力。由于真空部分的压力与密封材料（4）的延伸压力相平衡，所以主密封件（2）不会爆裂。

30. 发明申请

WO2006054407A1 真空貼り合わせ装置用静電チャック及びそれを用いた真空貼り合わせ装置审中-公开
标题翻译：用于真空接合设备的静电切割机和使用其的真空接合设备
公开(公告)号：WO2006054407A1
公开(公告)日：2006-05-26
申请号：PCT/JP2005/018679
申请日：2005-10-11
申请人：信越エンジニアリング株式会社 , 株式会社巴川製紙所 , 大谷義和 , 島武志 , 川瀬律
发明人：大谷義和 , 島武志 , 川瀬律
IPC分类号： G09F9/00 , G02F1/13 , H01L21/683
CPC分类号： H01L21/6833
摘要：　【課題】　異物の噛み込みによる静電吸着機能部の破損を防止する。　【解決手段】　誘電層１ｂの表面に所定厚さの誘電保護層１ｃを少なくとも一層以上設け、その最も表面側に配置された誘電保護層１ｃの基板接触面１′から電極層１ａまでの間を複数層からなる積層構造にして、これら基板接触面１′から電極層１ａまでの距離を上記誘電保護層１ｃの厚み分だけ広げることにより、大きな異物の噛み込みに伴う電極層１ａへのダメージの確率が減少すると同時に、小さい異物の噛み込みで誘電保護層１ｃの基板接触面１′が傷付いても、誘電保護層１ｃでクラックの進行が抑えられて誘電層１ａまで至らず、また該基板接触面１′から電極層１ａまでの全体厚さを略同じに維持しつつ層の構成を分割した場合も、同様に誘電保護層１ｃでクラックの進行が抑えられて誘電層１ａまで至らない。　
摘要翻译： [问题]为了防止由于异物的咬伤引起的静电吸引功能部件的破损。解决问题的手段在电介质层（1b）的表面上设置至少一层具有规定厚度的介电保护层（1c）。布置在最外侧的电介质保护层（1c）的电路板接触平面（1'）和电极层（1a）之间的部分允许具有由多个层组成的层叠结构。电路板接触面（1'）和电极层（1a）之间的距离增加介电保护层（1c）的厚度。因此，由于大的异物的咬伤导致对电极层（1a）的损坏的可能性降低，同时即使当电介质保护层（1c）的基板接触面（1'）被刮伤通过咬住小的异物，通过被介电保护层（1c）防止前进，裂纹不会到达介质层（1a）。当层构造在从板接触面（1'）到电极层（1a）的整个厚度基本相同的情况下被分割时，通过阻止电介质层（1a）的前进，裂纹未到达电介质层（1a）保护层（1c）。

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