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    • 21. 发明申请
    • HALLSENSOR UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES HALLSENSORS
    • 霍尔传感器及其操作方法传感器HALL
    • WO2012171688A1
    • 2012-12-20
    • PCT/EP2012/057429
    • 2012-04-24
    • ROBERT BOSCH GMBHLAMMEL, GerhardDANIEL, MarcinBREITLING, AchimWEISS, StefanSCHATZ, Oliver
    • LAMMEL, GerhardDANIEL, MarcinBREITLING, AchimWEISS, StefanSCHATZ, Oliver
    • G01R33/07
    • G01R33/075
    • Die Erfindung betrifft ein Hallsensor mit vier Hallelementen (10), welche jeweils ein erstes Paar von entlang einer ersten Verbindungslinie gegenüberliegenden ersten Anschlüssen (12a, 12b) und ein zweites Paar von entlang einer zweiten, senkrecht zu der ersten Verbindungslinie stehenden Verbindungslinie gegenüberliegenden zweiten Anschlüssen (13a, 13b) aufweisen, und welche in einer deckungsgleichen Orientierung jeweils auf den Eckpunkten einer quadratischen Grundfläche angeordnet sind; einer Steuereinrichtung, welche dazu ausgelegt ist, in vier verschiedenen Messphasen (P1, P2, P3, P4) eine Versorgungsspannung (Vdd) über jeweils eines der Paare von Anschlüssen (12a, 12b; 13a, 13b) jedes der Hallelemente (10) anzulegen; und einer Messeinrichtung, welche dazu ausgelegt ist, in jeder der vier Messphasen an dem jeweils anderen der Paare von Anschlüssen (13a, 13b; 12a, 12b) jedes der Hallelemente (10) eine Einzelhallspannung zu erfassen und die erfassten Einzelhallspannungen zu einer Messspannung zu addieren, wobei die Steuereinrichtung in einer ersten Messphase (P1) dazu ausgelegt ist, einen Versorgungsspannungsanschluss, welche die Versorgungsspannung (Vdd) bereitstellt, mit jeweils einem der Anschlüsse (12a, 12b; 13a, 13b) jedes der Hallelemente (10) zu verbinden, wobei der jeweils verbundene Anschluss (12a, 12b; 13a, 13b) eines Hallelements (10) bezüglich des im Uhrzeigersinn benachbart gelegenen Hallelements (10) dem um 90° gegen den Uhrzeigersinn versetzten Anschluss (12a, 12b; 13a, 13b) entspricht, und wobei die Steuereinrichtung in den drei auf die erste Messphase (P1) folgenden Messphasen (P2, P3, P4) jeweils dazu ausgelegt ist, denjenigen Anschluss (12a, 12b; 13a, 13b) jedes der Hallelemente (10) mit dem Versorgungsspannungsanschluss zu verbinden, der dem gegenüber der vorangegangen Messphase um 90° im Uhrzeigersinn versetzten verbundenen Anschluss (12a, 12b; 13a, 13b) entspricht.
    • 本发明涉及一种霍尔传感器具有四个霍尔元件(10)每个都具有第一对沿连接所述第一端子的第一线(12A,12B)和第二对沿第二相对的相对的垂直站立于第一连接线连接线的第二端子( 13A,13B),并且其被布置在分别在正方形的角部一个全等取向; ,的控制装置,其适于在四个不同的测量阶段(P1,P2,P3,P4)经由对终端中的相应的一个的电源电压(VDD)(12A,12B; 13A,13B)来应用每个霍尔元件(10); 和设置在相应的其他的适于在四个测量阶段的测量装置,所述端子对;用于检测各霍尔元件(10)包括一个单一的霍尔电压,并添加(13A,13B 12A,12B),所述个体霍尔电压在测量电压检测 其中所述控制装置适于在第一测量阶段(P1)到电源电压端子,其提供电源电压(Vdd),与终端中的每一个(12A,12B; 13A,13B)连接各霍尔元件(10),其中 每个连接的终端的(12A,12B; 13A,13B)的霍尔元件(10)相对于位于相邻顺时针霍尔元件(10)由90°逆时针连接(12A,12B; 13A,13B)偏移的,并且其中 以下所述的三个第一测量阶段(P1)测量阶段(P2,P3,P4)控制装置适于在每种情况下,这些连接(12A,12B; 13A,13B),每个霍尔元件的 通过90°连接(10)到所述电源电压端子,其中(前述测量阶段的相对顺时针偏移相关联的连接器12a,12b; 图13A,13B)对应。
    • 22. 发明申请
    • MAGNETSENSORVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ERMITTELN EINER INFORMATION BEZÜGLICH EINER MAGNETISCHEN FELDSTÄRKEKOMPONENTE IN RICHTUNG ZUMINDEST EINER ORTSFESTEN ORTSACHSE
    • 磁传感器设备和方法确定一些有关在方向上至少一个固定的固定轴的磁场强度分量
    • WO2012159804A1
    • 2012-11-29
    • PCT/EP2012/055702
    • 2012-03-29
    • ROBERT BOSCH GMBHWEISS, StefanSCHIFFERDECKER, DanielBARTHOLOMEYCZIK, JulianSCHEIERMANN, Sergej
    • WEISS, StefanSCHIFFERDECKER, DanielBARTHOLOMEYCZIK, JulianSCHEIERMANN, Sergej
    • G01C17/32
    • G01C17/32
    • Die Erfindung betrifft eine Magnetsensorvorrichtung mit einer Raumlagemesseinrichtung zum Ermitteln einer Raumlage-Information (φ, Φ) bezüglich einer sensorfesten Messachse in Bezug zu zumindest einer ortsfesten Raumachse, einer Magnetmesseinrichtung zum Ermitteln mindestens einer Magnetfeldstärke-Größe in Richtung der mindestens einen sensorfesten Messachse, und einer Auswerteeinrichtung zum Festlegen einer Information bezüglich einer magnetischen Feldstärkekomponente in Richtung zumindest einer ortsfesten Ortsachse unter Berücksichtigung der Raumlage-Information (φ, Φ) und der mindestens einen Magnetfeldstärke-Größe, welche zusätzlich eine Steuereinrichtung zum Festlegen mindestens einer Soll-Messgütegröße (CBX, CBY, CBZ) der mindestens einen Magnetfeldstärke-Größe unter Berücksichtigung der Raumlage-Information (φ, Φ) und entsprechenden Ansteuern der Magnetmesseinrichtung umfasst. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Ermitteln einer Information bezüglich einer magnetischen Feldstärkekomponente in Richtung zumindest einer ortsfesten Ortsachse.
    • 本发明涉及一种磁传感器装置用的安装位置,用于确定一个空间位置的信息(F,F)相对于一传感器固定的测量轴线相对于在空间中的固定轴中的至少一个测量装置,一个磁测量装置,用于至少确定测量轴在固定所述至少一个传感器的方向上的磁场强度的大小,和 用于在至少一个固定位置轴的方向相对于设置信息的磁场强度分量,考虑到空间位置的信息评价装置(F,F)和所述至少一个磁场强度大小,其还用于设定至少一个希望的测量质量大小的控制装置(CBX,CBY, CBZ)包括(至少一个磁场强度大小考虑到的空间位置信息F,F)和磁测量装置的相应驱动。 此外,本发明涉及一种用于在至少一个固定的位置轴的方向相对于确定的信息的磁场强度部件的方法。
    • 26. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIKROMECHANISCHEN BAUELEMENTS
    • 用于生产微机械结构
    • WO2007115914A1
    • 2007-10-18
    • PCT/EP2007/052705
    • 2007-03-21
    • ROBERT BOSCH GMBHWEBER, HeribertSCHELLING, ChristophWEISS, StefanULBRICH, NicolausSCHLOSSER, Roman
    • WEBER, HeribertSCHELLING, ChristophWEISS, StefanULBRICH, NicolausSCHLOSSER, Roman
    • H04R19/00
    • B81C1/00158H04R19/005H04R31/00H04R2410/00
    • Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements vorgeschlagen, wobei das Bauelement (10) eine Membran (11) , eine feststehende Platte (7) mit mindestens einer Durchgangsöffnung (9) und einen Hohlraum (12) zwischen der Membran (11) und der Platte (7) aufweisen soll. Die Membran (11) wird in einem Schichtaufbau (2) über einem Substrat (1) realisiert, und die Platte (7) wird aus dem Substrat (1) herausstrukturiert, wobei von der Rückseite des Bauelements (10) ausgehend eine Kaverne (6) im Substrat (1) erzeugt wird. Das erfindungsgemäße Verfahren ist einfach zu realisieren und ermöglicht eine präzise Strukturierung der Durchgangsöffnungen (9) in der Platte (7) unabhängig von etwaigen Durchgangsöffnungen in der Membran (11). Dazu wird zumindest der die Rückseite der Platte (7) bildende Boden der Kaverne (6) mit mindestens einer Maskierschicht (8) versehen, die zum Erzeugen der mindestens einen Durchgangsöffnung (9) strukturiert wird. Dann wird das Substratmaterial im Bereich der Durchgangsöffnung (9) von der Rückseite der Platte (7) ausgehend entfernt.
    • 它提出了一种方法,用于与至少一个通孔制造微机械部件,其中所述装置(10)包括一个膜片(11),固定板(7)(9)和所述膜(11)和之间的空腔(12) 板(7)的目的是有。 所述膜(11)在一个基片上的层结构(2)被实现(1)和从基板(1)的板(7),其中,从所述装置(10)的后侧从空腔图案化时,(6) (1)在衬底中生成的。 本发明的方法是简单地实现并使得能够通过所述板的孔(9)(7)独立于任何通过在所述膜(11)的孔的精确图案化。 为此目的,至少具有至少一个掩模层(8)形成(7)设置在所述板,其被构造成产生所述至少一个通道开口(9)的背面的空腔(6)的底部。 然后,在板(7)的背面的通孔(9)的区域中的基片材料,在开始移除。