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11. 发明申请

WO2020082245A1 单片集成BAW谐振器制作方法审中-公开
公开(公告)号：WO2020082245A1
公开(公告)日：2020-04-30
申请号：PCT/CN2018/111496
申请日：2018-10-23
申请人：华为技术有限公司
发明人：何正宇 , 徐慧龙
IPC分类号： H03H9/24
摘要：一种单片集成BAW谐振器制作方法，包括：准备一压印模板（S1）；在衬底上形成掩膜材料层（S2）；采用所述压印模板向所述衬底方向按压所述掩膜材料层以形成掩膜凹槽（S3）；以形成掩膜凹槽的所述掩膜材料层为掩膜对所述衬底进行等离子刻蚀（S4），在衬底形成与数个掩膜凹槽位置一一对应的凹槽；在所述数个凹槽内形成依次层叠的底层电极层、压电层以及顶层电极层，进而形成不同频率的谐振器（S5）；其中数个底层电极层厚度相同且均小于凹槽的深度，数个谐振器中至少有两个谐振器的压电层厚度不同，或者至少有两个谐振器的顶层电极层厚度不同。

12. 发明申请

WO2020054121A1 共振子及びそれを備えた共振装置审中-公开
公开(公告)号：WO2020054121A1
公开(公告)日：2020-03-19
申请号：PCT/JP2019/017254
申请日：2019-04-23
申请人：株式会社村田製作所
发明人：井上　義久 , 河合　良太 , 後藤　雄一
IPC分类号： H03H9/24 , H01L41/047 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/253 , H01L41/29
摘要：共振子（１０）は、基部（１３０）と、一端が基部（１３０）の前端部（１３１Ａ）と接続された固定端であり他端が前端部（１３１Ａ）から離れて設けられた開放端である少なくとも３つの振動腕（１２１Ａ～Ｄ）と、を備え、少なくとも３つの振動腕（１２１Ａ～Ｄ）の各振動腕は、固定端から開放端に向かう方向に沿って同一幅で延在する部分を有する腕部（１２３Ａ～Ｄ）と、腕部（１２３Ａ～Ｄ）の先端に接続され腕部（１２３Ａ～Ｄ）よりも幅が大きい質量付加部（１２２Ａ～Ｄ）と、を有し、隣り合い互いに逆相に振動するいずれか２つの振動腕（１２１Ａ，１２１Ｂ）において、腕部（１２３Ａ，１２３Ｂ）同士の間隔（ＰＴ１３）よりも、質量付加部（１２２Ａ，１２２Ｂ）同士の間隔（ＰＴ１２）が大きい。

13. 发明申请

WO2020027121A1 ＭＥＭＳデバイス审中-公开
公开(公告)号：WO2020027121A1
公开(公告)日：2020-02-06
申请号：PCT/JP2019/029818
申请日：2019-07-30
申请人：株式会社村田製作所
发明人：井上　義久 , 福光　政和 , 後藤　雄一
IPC分类号： H03H9/24
摘要：接続部を構成する共晶合金の一部の金属が接続配線を伝って拡散するのを抑制することのできる、ＭＥＭＳデバイスを提供する。共振装置１は、共振子１０と、共振子１０に電気的に接続する接続配線７５とを含むＭＥＭＳ基板５０と、接続配線７５に電気的に接続する接続部７０であって、第１金属層７１とＭＥＭＳ基板５０側に設けられる第２金属層７２との共晶合金で構成される接続部７０と、を備え、ＭＥＭＳ基板５０の主面を平面視したときに、接続配線７５の線幅ＷＬは接続部の幅ＷＣより小さい。

14. 发明申请

WO2019132950A1 ELECTRICAL DEVICE, ELECTRICAL SYSTEM WITH AN ELECTRICAL DEVICE AND METHOD TO PROVIDE AN ELECTRICAL DEVICE 审中-公开
公开(公告)号：WO2019132950A1
公开(公告)日：2019-07-04
申请号：PCT/US2017/068868
申请日：2017-12-29
申请人： INTEL IP CORPORATION
发明人： KUSHMIR, Igal , SKINNER, Harry , RAAF, Bernhard , MALEVSKY, Sharon , HOROVITZ, Gil
IPC分类号： H03H9/24 , H03H9/02
摘要： An electrical device (100) that comprises at least one signal filter (104) comprising a plurality of mechanical resonators (106, 108, 110) in a substrate (102) and at least one further mechanical resonator (112) in the substrate (102) configured to oscillate at a reference frequency of an oscillator signal. An electrical system (300) comprising an electrical oscillator (306) a transceiver (302) and an antenna (310), and an electrical device (100). A method (1300) for providing an electrical device (100).

15. 发明申请

WO2019035238A1 共振子及び共振装置审中-公开
公开(公告)号：WO2019035238A1
公开(公告)日：2019-02-21
申请号：PCT/JP2018/011992
申请日：2018-03-26
申请人：株式会社村田製作所
发明人：井上　義久 , 河合　良太
IPC分类号： H03H9/24
摘要：共振子において、ＤＬＤを改善する。　基部と、第１電極及び第２電極と、第１電極と第２電極との間に設けられ、第１電極に対向する上面を有し、第１及び第２電極の間に電圧が印加されたときに所定の振動モードで振動する圧電膜とを有し、一端が基部の前端と接続する固定端であり、他端が前端から離れる方向に延びた開放端である３本以上の振動腕と、を有し、３本以上の振動腕は、３本以上の振動腕が並ぶ方向において、最も外側に位置し、同位相で振動する２本の第１腕と、２本の第１腕の間に挟まれた１本以上の第２腕とを有し、第１腕は、第２腕よりも質量が大きい。

16. 发明申请

WO2019021047A1 MEMS-BASED BANDPASS FILTER 审中-公开
公开(公告)号：WO2019021047A1
公开(公告)日：2019-01-31
申请号：PCT/IB2017/057664
申请日：2017-12-05
申请人： KING ABDULLAH UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
发明人： ILYAS, Saad , YOUNIS, Mohammad Ibrahim
IPC分类号： H03H9/46 , H03H9/24 , H03H9/52
摘要： A bandpass filter includes a first and second microelectromechanical resonator system (102, 112), each including a resonating beam (104A, 114A), a drive electrode (106, 116), and a sense electrode (108, 118). An AC input signal is coupled to the drive electrode (106, 116) of the first and second microelectromechanical resonator system (102, 112). A differential-to-single ended amplifier (120) has a first input (122) and second input (124) respectively coupled to the sense electrodes (108, 118) of the first and second microelectromechanical resonator systems (102, 112). An output (126) of the differential-to-single ended amplifier (120) is an output of the bandpass filter that provides a bandpass filtered signal of the AC input signal. A DC bias signal is coupled to the resonating beams (104A, 114A) of the first and second microelectromechanical resonator systems. The first microelectromechanical resonator system (102) exhibits a hardening nonlinear behavior defining an upper stop frequency of the passband and the second microelectromechanical resonator system (112) exhibits a softening nonlinear behavior defining a lower stop frequency of the passband.

17. 发明申请

WO2018008198A1 共振子及び共振装置审中-公开
公开(公告)号：WO2018008198A1
公开(公告)日：2018-01-11
申请号：PCT/JP2017/011184
申请日：2017-03-21
申请人：株式会社村田製作所
发明人：後藤　雄一
IPC分类号： H03H9/10 , B81B3/00 , H01L41/113 , H03H9/24
CPC分类号： H03H9/10 , B81B3/0045 , B81B3/0097 , B81B2201/0271 , B81B2201/032 , B81B2203/0163 , H01L41/1138 , H03H9/0595 , H03H9/1035 , H03H9/15 , H03H9/2405 , H03H9/2489 , H03H2009/155 , H03H2009/241 , H03H2009/2442
摘要：保持部上の絶縁体層に帯電した電荷が共振周波数に与える影響を抑制する。圧電膜と、当該圧電膜を間に挟んで対向するように設けられた下部電極及び上部電極とを有し、所定の振動モードで振動する振動部と、振動部における振動の変位が最大となる変位最大領域の周囲に少なくとも設けられ、絶縁膜を有する保持部と、振動部と保持部とを接続する保持腕と、保持部における少なくとも振動部の変位最大領域に対向する領域において、保持部の絶縁膜に接して形成された導電部と、を備え、導電部は、下部電極又は前記上部電極と電気的に接続されるか、又は、接地される。

18. 发明申请

WO2018002439A1 MICROMECHANICAL RESONATOR 审中-公开
标题翻译：微机械谐振器
公开(公告)号：WO2018002439A1
公开(公告)日：2018-01-04
申请号：PCT/FI2017/050486
申请日：2017-06-29
申请人： TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY
发明人： JAAKKOLA, Antti , PEKKO, Panu
IPC分类号： H03H9/24 , H03H9/02
摘要： The present disclosure describes a micromechanical resonator comprising a resonator element (40) having a length ( l 1 ) and a width ( w 1 ) that is perpendicular to the length. The resonator element has a length-to-width aspect ratio in a range of 1,8 to 2,2. The resonator element is suspended to a support structure with two or more anchors (41, 43). Each of the two or more anchors is attached to a first location or a second location. The first location is at a shorter side (42) of the resonator element. The first location divides the width ( w 1 ) of the resonator element into a larger portion ( w 3 ) and a smaller portion ( w 2 ) such that a ratio between said smaller portion ( w 2 ) and the whole width ( w 1 ) is in a range of 0,10 to 0,28. The second location is at a longer side (44). The second location divides the length ( l 1 ) of the resonator element into a larger portion ( l 3 ) and a smaller portion ( l 2 ) such that a ratio between said smaller portion ( l 2 ) and the whole length ( l 1 ) is in a range of 0,36 to 0,48.
摘要翻译：本公开描述了一种微机械谐振器，该微机械谐振器包括具有长度（1/1） i> ）和与长度垂直的宽度（＆lt; i> 1 ）。谐振器元件具有在1,8至2,2范围内的长宽比。谐振器元件利用两个或更多个锚（41,43）悬挂到支撑结构。两个或更多个锚中的每一个都连接到第一位置或第二位置。第一位置在谐振器元件的较短侧（42）处。第一个位置将谐振器元件的宽度（i = 1/2）分成一个较大的部分（（例如，小于3分之一）和小部分（小于2分之一）这样，所述较小部分（w2）与所述较小部分（w2） / i>）和整个宽度（w 1 ）在0,10到0的范围内 28。第二个位置在较长的一侧（44）。第二位置将谐振器元件的长度（l 1 / l）分成较大的部分（ 1 （小于3分之一）和较小部分（小于1分之一）的情况下，使得所述较小部分（1≤i≤2）与所述较小部分（1≤i≤2）之间的比值小于所述较小部分 / i>）和整个长度（i 1 ）在0.36到0的范围内，48。

19. 发明申请

WO2017088288A1 微蒸发器、振荡器集成微蒸发器结构及其频率修正方法审中-公开
公开(公告)号：WO2017088288A1
公开(公告)日：2017-06-01
申请号：PCT/CN2016/070284
申请日：2016-01-06
申请人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
发明人：杨恒 , 游卫龙 , 张磊 , 王小飞 , 李昕欣
IPC分类号： H01L21/203 , H03H9/24
CPC分类号： H01L21/203 , H03H9/24
摘要：一种微蒸发器、振荡器集成微蒸发器结构及其频率修正方法，包括：微蒸发台、锚点、支撑梁及金属电极；微蒸发台的一面为蒸发面；锚点位于微蒸发台的两侧，且与微蒸发台相隔一定的间距；支撑梁位于微蒸发台与锚点之间，一端与微蒸发台相连接，另一端与锚点相连接；支撑梁的尺寸满足如下关系式： T=P（L/2kbh）+T a ；金属电极位于锚点的第一表面。微蒸发台通过支撑梁与表面形成有金属电极的锚点相连接，通过调整设定支撑梁的尺寸，使得支撑梁的热容量小、散热少的特性，又微蒸发台及支撑梁的尺寸较小，只需在金属电极表面施加很小的功率即可以使得微蒸发台达到所需的蒸发温度，同时由于支撑梁的绝热作用，锚点处的温度升温较小，不会对器件的稳定性造成影响。

20. 发明申请

WO2017051572A1 共振子及び共振装置审中-公开
标题翻译：谐振器和谐振器
公开(公告)号：WO2017051572A1
公开(公告)日：2017-03-30
申请号：PCT/JP2016/068476
申请日：2016-06-22
申请人：株式会社村田製作所
发明人：西村　俊雄 , カーヤカリ　ヴィレ
IPC分类号： H03H9/05 , H03H9/19 , H03H9/24
CPC分类号： H03H9/2405 , H03H9/02433 , H03H9/05 , H03H9/0595 , H03H9/1057 , H03H9/19 , H03H9/24 , H03H2009/0244
摘要：共振子において、アンカーロスを軽減することでＱ値を向上させることができる。　圧電振動部と、圧電振動部の周囲の少なくとも一部に設けられた保持部と、圧電振動部と、保持部との間に設けられる第１のノード生成部と、第１のノード生成部と、当該第１のノード生成部と対向する圧電振動部の領域とを接続する第１の接続腕と、第１のノード生成部と、保持部における、第１のノード生成部と対向する領域とを接続する第１の保持腕と、を備え、第１のノード生成部は、第１の接続腕が第１のノード生成部と圧電振動部とを接続する第１方向における中心よりも第１の接続腕側において、第１方向に直交する第２方向における長さが最大となる箇所を有し、第２方向における長さが、最大となる箇所から第１の保持腕に向かうにつれて徐々に狭まる。
摘要翻译：本发明的目的是通过减少锚固损耗来改善谐振器的Q因子。谐振器配有：压电振动部分; 保持部，设置在所述压电振动部的周围的至少一部分上; 第一节点形成部，设置在所述压电振动部与所述保持部之间; 第一连接臂，其将所述第一节点形成部与所述压电振动部的面向所述第一节点形成部的区域连接; 以及第一保持臂，其将所述第一节点形成部与所述保持部的面向所述第一节点形成部的区域连接。第一节点形成部具有在第一连接臂将第一节点形成部与压电振动部连接的第一方向上相对于中心位于第一连接臂侧的部分，与第一方向正交的第二方向的第一节点形成部最长。第二方向的长度从长度最长的部分朝向第一保持臂逐渐减小。

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