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11. 发明申请

WO2021156615A1 SURGE PROTECTION IN A MULTI-STAGE VACUUM PUMP 审中-公开
公开(公告)号：WO2021156615A1
公开(公告)日：2021-08-12
申请号：PCT/GB2021/050243
申请日：2021-02-04
申请人： EDWARDS LIMITED
发明人： TURNER, Neil
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/70 , F15C1/00 , F15D1/00
摘要： There is provided a surge protection device for a multi-stage vacuum pump arranged to evacuate a fluid from a vessel, the surge protection device comprising: an inlet for receiving the fluid; an outlet for connection to an input of the multi-stage vacuum pump; and at least one chamber. Each chamber has an opening directed towards the inlet, each chamber arranged to provide a re-circulation path for at least a portion of fluid passing from the inlet to the outlet of the surge protection device. The surge protection device is arranged to reduce the flow rate of the fluid when the vessel is at an initial pressure, and to provide progressively less resistance as the vessel is evacuated.

12. 发明申请

WO2021018729A1 MOLECULAR VACUUM PUMP 审中-公开
公开(公告)号：WO2021018729A1
公开(公告)日：2021-02-04
申请号：PCT/EP2020/070818
申请日：2020-07-23
申请人： EDWARDS LIMITED
发明人： STONES, Ian David
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/58
摘要： A molecular vacuum pump comprising: a stator and a rotor and a thermoelectric device arranged to cool the stator such that gas molecules impacting said stator are slowed and a capture rate of gas molecules by the pump is increased.

13. 发明申请

WO2021013979A1 DRAG PUMP 审中-公开
公开(公告)号：WO2021013979A1
公开(公告)日：2021-01-28
申请号：PCT/EP2020/070925
申请日：2020-07-24
申请人： EDWARDS LIMITED
发明人： GALTRY, Michael Andrew , HOCKLIFFE, Miles Geoffery
IPC分类号： F04D17/16 , F04D19/04 , F04D29/28
摘要： A drag pump for pumping fluid from an inlet to an outlet is disclosed. The drag pump comprises a stator and a rotor. One of the stator or rotor comprises a disc comprising a plurality of channels each of the channels extending from an inlet portion of the disc at or close to an inlet edge towards an outlet portion at or close to an outlet edge. The plurality of channels each comprise walls for guiding fluid flow from the inlet edge to the outlet edge in response to relative motion between the stator and the rotor. The disc further comprises a plurality of protrusions extending from the channels, each of the protrusions being arranged to divide a channel at the inlet or the outlet end of the channel, into sub-channels that extend for a portion of a length of the channel and do not extend for a whole length of the channel.

14. 发明申请

WO2020241521A1 真空ポンプ、および連結型ネジ溝スペーサ审中-公开
公开(公告)号：WO2020241521A1
公开(公告)日：2020-12-03
申请号：PCT/JP2020/020400
申请日：2020-05-22
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：三枝　健吾 , 吉原　菜穂子 , 大立　好伸
IPC分类号： F04D19/04
摘要：固定ボルトで連結型ネジ溝スペーサを締結しても、真空ポンプの排気性能の低下を防止することができる真空ポンプを提供する。　本発明の実施形態に係る連結型ネジ溝スペーサは、シグバーンポンプ部とネジ溝ポンプ部とを連結させる構造を備える。この連結型ネジ溝スペーサを締結する際、予め排気流路部にザグリ穴を設けておき、固定ボルトで、ベースと締結する。こうすることで、固定ボルトの頭部が排気流路に突出しなくなり、固定ボルトの頭部が排気ガスに対する抵抗とならない。こうして、真空ポンプの排気性能が低下することを抑制できる。

15. 发明申请

WO2020239975A1 A TURBOMOLECULAR PUMP, A VACUUM PUMPING SYSTEM AND A METHOD OF EVACUATING A VACUUM CHAMBER 审中-公开
公开(公告)号：WO2020239975A1
公开(公告)日：2020-12-03
申请号：PCT/EP2020/064964
申请日：2020-05-29
申请人： EDWARDS LIMITED
发明人： CHEW, Andrew David , LAMB, Peter Charles
IPC分类号： F04D19/04 , F04B37/02
摘要： A turbomolecular pump, vacuum pumping system and method of evacuating a vacuum chamber is disclosed. The turbomolecular pump comprises: a rotor comprising a plurality of rotor blade rows, a stator comprising a plurality of stator blade rows and an outer casing, the rotor being rotatably mounted within the stator; wherein at least a portion of a surface of at least one of the rotor and the stator comprise a non-evaporable getter material.

16. 发明申请

WO2020195941A1 真空ポンプ、及び、真空ポンプに用いられるシール部材审中-公开
公开(公告)号：WO2020195941A1
公开(公告)日：2020-10-01
申请号：PCT/JP2020/011070
申请日：2020-03-13
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：高阿田　勉
IPC分类号： F04D19/04 , F16J15/10
摘要：【課題】部品点数が少なくシール性に優れた真空ポンプを提供する。【解決手段】吸気側ケーシング１４ａの中心に向かって設けられた複数のステータ翼１９と、吸気側ケーシング１４ａに内包され、回転自在に支持されたロータ軸２１と、ロータ軸２１の周囲に放射状に設けられた複数のロータ翼２０と、ロータ軸２１を回転させるモータ１６と、吸気側ケーシング１４ａと排気側ケーシング１４ｂとにより厚さ方向に挟み付ける力を受けて弾性変形し、吸気側ケーシング１４ａと排気側ケーシング１４ｂの間の気密性を保つ環状のシール部材４１と、を備え、シール部材は、その断面に、外周部に凹陥状に形成された変形促進部と、力を変形促進部に近付いた偏心位置で受けるシール部と、を有する。

17. 发明申请

WO2020169976A1 VACUUM PUMPING 审中-公开
公开(公告)号：WO2020169976A1
公开(公告)日：2020-08-27
申请号：PCT/GB2020/050403
申请日：2020-02-20
申请人： EDWARDS LIMITED
发明人： SHELLEY, Gerald Robin , STAMMERS, Peter George , ROBERTS, Brian Stuart Blakeley
IPC分类号： F04B37/14 , F04B49/06 , F04C25/02 , F04C28/08 , F04C28/28 , F04D19/04 , F04D27/00 , F04D27/02
摘要： A vacuum pumping apparatus (10) and method are disclosed. The vacuum pumping apparatus comprises: a common pumping line (90A- C) having a plurality of pumping line inlets and a pumping line outlet, each pumping line inlet being configured to couple with an outlet of an associated plurality of vacuum processing chambers (30); at least one primary vacuum pump (100) in fluid communication with the pumping line outlet to pump gas from each vacuum processing chamber; and control logic (120) operable to control operation of the primary vacuum pump in response to an indication of an operating state of the plurality of vacuum processing chambers. In this way, the performance of the primary vacuum pump can be adjusted to match the load provided by the processing chambers and when there is an excess capacity (meaning that the primary vacuum pumps are being under-utilised) then the performance of the primary vacuum pumps can be reduced which can lead to significant energy savings and reduce wear on the pump.

18. 发明申请

WO2020145150A1 真空ポンプ审中-公开
公开(公告)号：WO2020145150A1
公开(公告)日：2020-07-16
申请号：PCT/JP2019/050887
申请日：2019-12-25
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：樺澤　剛志
IPC分类号： F04D19/04
摘要：【課題】回転体の過熱を防止することで、回転体の破損を防止すると共に、多量のガスを連続して排気できる真空ポンプを提供する。【解決手段】供給口７からはデカン（Ｃ１０Ｈ２２）が供給される。このデカンは供給管５と連通路３を経てスプレーノズル１から回転翼１０２ｄに向けて噴霧される。回転翼１０２ｄの表面で気化しやすいようにミスト状にして噴射する。デカンは大気圧での沸点が１７４℃であるため常温常圧では液体である。一方、ターボ分子ポンプ１０の内部では圧力は１００Ｐａ程度のほぼ真空状態であり、デカンのこの圧力のときの沸点は１４℃である。回転翼１０２の温度が上昇することを考慮すると、デカンはポンプ内部では気体であると想定される。このため、噴射までは圧力が高く液体状態であるが回転翼１０２の表面に付着し温度が上昇すると気化する。このとき回転翼１０２の熱量を気化熱として消費するため回転翼１０２を冷却できる。

19. 发明申请

WO2020145149A1 真空ポンプ审中-公开
公开(公告)号：WO2020145149A1
公开(公告)日：2020-07-16
申请号：PCT/JP2019/050886
申请日：2019-12-25
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：樺澤　剛志
IPC分类号： F04D19/04
摘要：【課題】回転体の過熱を防止することで、回転体の破損を防止すると共に、多量のガスを連続して排気できる真空ポンプを提供する。【解決手段】ロータ軸１１３の回転に伴い、ネジ溝９とロータ軸１１３の下端壁部間に形成されたネジ溝ポンプの作用により、ネジ溝９の上端と下端間で液体の圧力差が生じる。このことにより、底部空間１の液体が吸い上げられる。吸い上げられた液体は中空穴１１を通り、連通穴１９を通じてロータ軸１１３の外部に放出される。この放出された液体は回転体１０３のハブ９９の内側を通り延長部材９５に到る。延長部材９５の下端を回り込んだ液体は突起部８３より液滴として径方向に振り飛ばされる。この液滴は隔壁９３で受け止められる。隔壁９３の上部には突起部９１が存在するため液滴は隔壁９３を越えられない。溜まった液体は連通穴８５を落下し底部空間１に戻される。循環した液体はほとんど減ることが無く再生利用が可能である。

20. 发明申请

WO2020092645A1 FLYWHEEL WITH BIFURCATED MOLECULAR PUMP 审中-公开
公开(公告)号：WO2020092645A1
公开(公告)日：2020-05-07
申请号：PCT/US2019/058960
申请日：2019-10-30
申请人： AMBER KINETICS, INC.
发明人： BAKHOLDIN, Daniel , TENNESSEN, Peter Thomas
IPC分类号： F03G3/08 , F04B37/16 , F04D19/04
摘要： A flywheel device that includes a housing that surrounds a vacuum chamber, a flywheel rotor within the vacuum chamber, which rotates during normal operation of the flywheel, thus agitating residual gasses, an exhaust chamber that receives the exhaust gases from the vacuum chamber, and an annular shaped stationary element, within the vacuum chamber that includes scroll channels where some of the scroll channels have an intake port on an inner diameter of the stationary element and some of the scroll channels have an intake port on an outer diameter of the stationary element, and the scroll channels enable gasses to flow from the vacuum chamber, through the scroll channels, into the exhaust chamber.

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