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    • 15. 发明申请
    • 圧電体膜を用いた振動ジャイロ及びその製造方法
    • 使用压电薄膜的振动胶体及其制造方法
    • WO2009096086A1
    • 2009-08-06
    • PCT/JP2008/071372
    • 2008-11-26
    • 住友精密工業株式会社池田 隆志西田 宏寅屋敷 治竹村 充彦藤村 剛荒木 隆太森口 孝文手嶋 伸貴平田 泰之
    • 池田 隆志西田 宏寅屋敷 治竹村 充彦藤村 剛荒木 隆太森口 孝文手嶋 伸貴平田 泰之
    • G01C19/56G01P9/04
    • G01C19/5684
    •  本発明の振動ジャイロは、平面を一様に備えたリング状振動体11と、リング状振動体11を柔軟に支持するとともに固定端を有するレッグ部15と、平面上に形成され且つ上層金属膜及び下層金属膜により圧電体膜を厚み方向に挟む複数の電極13a~13d及び固定電位電極16とを備え、複数の電極13a~13dは、Nを2以上の自然数とした場合にcosNθの振動モードでその振動体11の一次振動を励起する互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された駆動電極13aと、駆動電極13aから時計回り又は反時計回りに(90/N)°離れた角度に配置され、且つその振動体11に角速度が与えられたときに発生する二次振動を検出する第1検出電極13bと、第1検出電極13bから(180/N)°離れた角度に配置され且つ二次振動を検出する第2検出電極13dとを含み、各電極13aは、その振動体11の外周縁からその外周縁の近傍に至るまでの領域及び/又は内周縁から内周縁の近傍に至るまでの領域に配置される。
    • 振动陀螺仪包括具有均匀平面的环形振动体(11),柔性地支撑环形振动体(11)并具有固定端的腿部(15)和多个电极(13a-13d )和固定电位电极(16),每个固定电极(16)在其平面上形成有压电薄膜,该压电薄膜夹在上层金属膜和下层金属膜之间的厚度方向上。 当N为2以上的自然数时,多个电极(13a-13d)包括用于以cosNα的振动模式激发振动体(11)的主振动的驱动电极(13a) (90 / N)°的距离(360 / N)°的第一检测电极(13b),用于检测在对振动体(11)施加角速度时产生的二次振动, 从驱动电极(13a)顺时针或逆时针方向分开,以及与第一检测电极(13b)分开设置(180 / N)°的第二检测电极(13d),用于检测二次振动。 每个电极(13a)设置在从振动体(11)的外周边缘到外周边缘附近的区域和/或从其内周边缘到内周边附近的区域 边缘。