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1. 发明申请

WO2006030716A1 微小構造体の検査装置および微小構造体の検査方法审中-公开
标题翻译：微结构检测装置和微结构检测方法
公开(公告)号：WO2006030716A1
公开(公告)日：2006-03-23
申请号：PCT/JP2005/016663
申请日：2005-09-09
申请人：株式会社オクテック , 東京エレクトロン株式会社 , 八壁正巳 , 松本俊行 , 池内直樹 , 奥村勝弥
发明人：八壁正巳 , 松本俊行 , 池内直樹 , 奥村勝弥
IPC分类号： G01N29/12
CPC分类号： G01N29/14 , B81C99/005 , G01N29/4427 , G01N2291/2695 , G01N2291/2697
摘要：　電圧駆動部３０よりプローブ針Ｐを介して電圧をチップＴＰに印加して、微小構造体の可動部を動かす。微小構造体の可動部の動きに応答して発生する音をマイク３で検出する。そして、マイク３で検出した音を測定部２５で測定し、制御部２０で理想的なチップＴＰで検出される音との比較に基づいて検出チップＴＰの特性を評価する。
摘要翻译：电压通过探针（P）通过电压驱动部件（30）施加到芯片（TP），并且微结构体的可移动部分移动。通过麦克风（3）检测响应于微结构的可移动部分的运动而产生的声音。然后，通过测量部件（25）测量由麦克风（3）检测到的声音，并且通过与从理想芯片检测到的声音进行比较的控制部分（20）来评估检测芯片（TP）的特性（TP）。

2. 发明申请

WO2003023419A1 インピーダンス検出回路及び静電容量検出回路审中-公开
标题翻译：阻抗测量电路和电容测量电路
公开(公告)号：WO2003023419A1
公开(公告)日：2003-03-20
申请号：PCT/JP2002/009136
申请日：2002-09-06
申请人：住友金属工業株式会社 , 北斗電子工業株式会社 , 八壁正巳 , 池内直樹 , 松本俊行 , 中野浩一
发明人：八壁正巳 , 池内直樹 , 松本俊行 , 中野浩一
IPC分类号： G01R27/26
CPC分类号： G01D5/24 , G01N27/22 , G01R27/2605
摘要： A capacitance measuring circuit 10 comprising an AC voltage generator 11, an operational amplifier 14 having a noninverted input terminal connected to a predetermined potential in this example, to the ground, an impedance converter 16, a resistor R1 12 connected between the AC voltage generator 11 and the inverted input terminal of the operational amplifier 14, a resistor R2 13 connected between the inverted output terminal of the operational amplifier 14 and the output terminal of the impedance converter 16, and an impedance element capacitor 15 connected between the output terminal of the operational amplifier 14 and the input terminal of the impedance converter 16, wherein a capacitor 17 to be measured is connected between the input terminal of the impedance converter 16 and a predetermined potential.
摘要翻译：一个电容测量电路10包括一个交流电压发生器11，一个运算放大器14，其在本例中连接到一个预定电位的非反相输入端，一个阻抗转换器16，一个连接在交流电压发生器11 和运算放大器14的反相输入端子，连接在运算放大器14的反相输出端子和阻抗转换器16的输出端子之间的电阻器R2 13和连接在运算放大器14的输出端子之间的阻抗元件电容器15 放大器14和阻抗转换器16的输入端，其中待测量的电容器17连接在阻抗转换器16的输入端和预定电位之间。

3. 发明申请

WO2006093232A1 微小構造体の検査装置、微小構造体の検査方法および微小構造体の検査プログラム审中-公开
标题翻译：分钟结构检查装置，分钟结构检查方法和分钟结构检查程序
公开(公告)号：WO2006093232A1
公开(公告)日：2006-09-08
申请号：PCT/JP2006/303996
申请日：2006-03-02
申请人：東京エレクトロン株式会社 , 松本俊行 , 池内直樹 , 八壁正巳 , 円城寺啓一 , 林聖人
发明人：松本俊行 , 池内直樹 , 八壁正巳 , 円城寺啓一 , 林聖人
IPC分类号： G01N29/00 , G01P21/00
CPC分类号： G01P15/18 , B81B2201/0257 , B81C99/005 , G01C19/56 , G01C25/005 , G01N29/043 , G01N2291/02881 , G01N2291/0421 , G01N2291/044 , G01N2291/102 , G01N2291/2698 , G01P15/123 , G01P21/00 , G01P2015/084 , G01P2015/0842
摘要：　スピーカ部（２）において、複数の音源を有し、各音源から音波を出力する。スピーカ部（２）から出力される疎密波である音波の到達すなわち空気振動により検出チップＴＰの微小構造体である３軸加速度センサの可動部は動く。この動きに基づいて変化する抵抗値の変化についてプローブ（４）を介して与えられる出力電圧に基づいて測定する。制御部（２０）は、測定された特性値すなわち測定データに基づいて３軸加速度センサの特性を判定する。また、複数の音源の間隔は、３軸加速度センサの可動部までの距離差とテスト音波の波長に基づいて音源の間隔を所定の値に設定することにより、合成された音波の合成音場が最大となるように合成波であるテスト音波が可動部に対して印加される。
摘要翻译：扬声器单元（2）具有多个声源，从而从每个声源输出声波。作为从扬声器单元（2）输出的压缩波的声波的到来，即空气振动使作为检测芯片TP的微小结构的3轴加速度传感器的可动部移动。根据该运动而改变的电阻值的变化根据通过探针（4）给出的输出电压来测量。控制单元（20）根据所测量的特性值即测量数据判断3轴加速度传感器的特性。此外，根据与3轴加速度传感器的距离差和测试声波的波长，将多个声源之间的间隔设定为预定值，从而将作为合成波的测试声波应用于可动部，使合成声波的合成声场最大化。

4. 发明申请

WO2007063955A1 ホイートストンブリッジ回路の抵抗測定システム及び抵抗測定方法审中-公开
标题翻译：小石桥电阻电阻测量系统和电阻测量方法
公开(公告)号：WO2007063955A1
公开(公告)日：2007-06-07
申请号：PCT/JP2006/323973
申请日：2006-11-30
申请人：東京エレクトロン株式会社 , 松本俊行 , 八壁正巳
发明人：松本俊行 , 八壁正巳
IPC分类号： G01R27/08
CPC分类号： G01R31/2829
摘要：　ホイートストンブリッジ回路を構成する各抵抗の抵抗値を測定できるシステムを提供する。　本システムは、ホイートストンブリッジ回路の４つの端子電極それぞれに２本ずつ接触させられるためのプローブをプローブカード（４）に備える。また、本システムは、ホイートストンブリッジ回路の端子電極と、プローブをフリッティング現象を利用して電気的に導通させるフリッティング用回路（５）を備える。さらに、本システムは、４つの端子電極のそれぞれと電気的に導通する２本のプローブを用いて、四端子法によってホイートストンブリッジ回路の端子電極間の電流及び電位差を測定する抵抗測定部（３）を備える。また、本システムは、抵抗測定部（３）によって測定された端子電極間の電流及び電位差を用いて、ホイートストンブリッジ回路を構成する各抵抗の抵抗値を演算する抵抗測定制御部（２）を備える。
摘要翻译：提供了能够测量构成小麦石桥电路的各电阻器的电阻值的系统。该系统包括具有探针的探针卡（4），使得两个探针与小麦石桥电路的四个端子电极中的每一个接触。此外，该系统包括小麦石桥电路的端子电极和用于通过使用闪光现象电连接探针的旋转电路（5）。此外，本系统包括用于通过四端子方法测量小麦石桥电路的端子电极之间的电流和电位差的电阻测量单元（3）。此外，本系统包括电阻测量控制单元（2），用于通过使用由电阻测量单元（3）测量的电流和端电极之间的电位差来计算构成小麦石桥电路的每个电阻器的电阻值）。

5. 发明申请

WO2008004457A1 設備診断方法、設備診断システム及びコンピュータプログラム审中-公开
标题翻译：设备诊断方法，设备诊断系统和计算机程序
公开(公告)号：WO2008004457A1
公开(公告)日：2008-01-10
申请号：PCT/JP2007/062726
申请日：2007-06-25
申请人：学校法人立命館 , 東京エレクトロン株式会社 , 宮野尚哉 , 松本俊行 , 池内直樹
发明人：宮野尚哉 , 松本俊行 , 池内直樹
IPC分类号： G01M19/00 , G01D21/00 , G06F17/10
CPC分类号： G05B23/0235
摘要：　設備ごとに多くのセンサを備える必要がなく、精度の高い設備診断方法及び設備診断システムを提供する。診断の対象となる設備の状態を示す変数であって、時間と共に変動する時系列データを取得するデータ取得部（２１）と、データ取得部（２１）で取得した時系列データから、前記設備における前記時系列データが決定論的であるか確率論的であるかの指標となる決定論性を表す値を算出する並進誤差演算部（２４）と、並進誤差演算部（２４）で算出された決定論性を表す値が、所定のしきい値を超えて変化した場合に、前記設備が警告すべき状態であると判定する故障判定部（２６）と、を備える。決定論性を表す値は、並進誤差又は順列エントロピーである。決定論性を表す値として順列エントロピーを用いる場合は、順列エントロピー演算部を備える。
摘要翻译：高精度的设备诊断方法和系统，无需为设备提供许多传感器。该系统包括数据获取部分（21），用于获取指示要被诊断的设施的状态的变量，即随时间变化的时间序列数据，用于计算代表确定性的值的平移错误计算部分（24）指示设备的时间序列数据是确定性的或概率的，以及如果计算出的指示确定值变化并超过预定阈值，则判断设备处于要被警告的状态的故障判断部分（26）。表示确定性的值是平移误差或置换熵。当使用置换熵作为指示确定性的值时，提供置换熵计算部分。

6. 发明申请

WO2008004528A1 プラズマ異常放電診断方法、プラズマ異常放電診断システム及びコンピュータプログラム审中-公开
标题翻译：等离子体异常放电诊断方法，等离子体异常放电诊断系统和计算机程序
公开(公告)号：WO2008004528A1
公开(公告)日：2008-01-10
申请号：PCT/JP2007/063254
申请日：2007-07-02
申请人：学校法人立命館 , 東京エレクトロン株式会社 , 宮野尚哉 , 松本俊行 , 池内直樹 , 守屋剛
发明人：宮野尚哉 , 松本俊行 , 池内直樹 , 守屋剛
IPC分类号： H01L21/3065 , H05H1/00
CPC分类号： H05H1/0006 , H01J37/32935 , H01J2237/0206
摘要：　プラズマの状態に伴って変動する時系列データを取得するデータ取得部（２１）と、データ取得部（２１）で取得した時系列データから、プラズマにおける時系列データが決定論的であるか確率論的であるかの指標となる決定論性を表す値を算出する並進誤差演算部（２４）と、前記プラズマ発生中に、前記決定論性導出手段で算出された決定論性を表す値が、所定のしきい値以下の場合に、前記プラズマが異常放電状態であると判定する異常放電判定部（２６）と、を備える。決定論性を表す値は、例えば、並進誤差又は順列エントロピーを用いることができる。決定論性を表す値として順列エントロピーを用いる場合は、順列エントロピー演算部を備える。
摘要翻译：等离子体异常放电诊断系统包括：数据获取单元，用于获取根据等离子体状态波动的时间序列数据; 用于根据由数据获取单元（21）获取的时间序列数据计算用作表示等离子体中的时间序列数据是确定性或概率的指标的确定性值的平移误差计算单元（24）; 当由确定性导出装置计算的表示确定性特征的值不大于预定阈值时，判断等离子体处于异常放电状态的异常放电判断单元（26）。确定性值可以是例如平移误差或置换熵。当排列熵用作表示确定性特征的值时，提供置换熵计算单元。

7. 发明申请

WO2007020767A1 音響センサ装置，音響解析診断装置および音響解析診断装置の製造方法审中-公开
标题翻译：声学传感器装置，声学分析诊断装置和声学分析诊断装置的制造方法
公开(公告)号：WO2007020767A1
公开(公告)日：2007-02-22
申请号：PCT/JP2006/314411
申请日：2006-07-20
申请人：東京エレクトロン株式会社 , 松本俊行 , 池内直樹
发明人：松本俊行 , 池内直樹
IPC分类号： G01H3/08 , G01H3/00 , G01H17/00
CPC分类号： G01H3/08
摘要：　データ収集・送信回路３０は、複数の音響センサ１１～１５のそれぞれが異なる音に共振することにより、全帯域内の異なる周波数帯域ごとの音のみを検出し、データ変換回路２１～２５でデータに変換し、制御部３１によりデータ送信回路３２からアンテナ３３を介して送信する。データ受信・解析診断回路４０は、複数の音響センサ１１～１５に対応するデータを受信して、予め記憶している音圧と受信したデータによる音圧とを比較して、測定対象が正常であるか、あるいは異常であるかを判断できる。
摘要翻译：由于每个声学传感器（11-15）与不同的声音谐振，所以数据收集/发送电路（30）仅检测整个频带中的不同频带中的声音，并且数据转换电路（21-25）将其转换成数据。控制单元（31）经由天线（33）从数据发送电路（32）发送数据。数据接收/分析诊断电路（40）接收对应于声学传感器（11-15）的数据，并将预先存储的声压与由接收数据获得的声压进行比较，以确定测量对象是否正常。

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