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1. 发明申请

WO2007145290A1 振動子、これを用いた共振器およびこれを用いた電気機械フィルタ审中-公开
标题翻译：振荡器，使用振荡器的谐振器和使用谐振器的电子滤波器
公开(公告)号：WO2007145290A1
公开(公告)日：2007-12-21
申请号：PCT/JP2007/062033
申请日：2007-06-14
申请人：松下電器産業株式会社 , 中村邦彦 , 松尾道明 , 中西淑人 , 橋村昭範
发明人：中村邦彦 , 松尾道明 , 中西淑人 , 橋村昭範
IPC分类号： H03H9/24 , B81B3/00
CPC分类号： H03H9/2463 , H03H3/0072 , H03H9/02244 , H03H9/1057 , H03H9/2405 , H03H9/2457 , H03H2009/02314 , H03H2009/02519
摘要：振動子の振動における振動エネルギの散逸が小さい、高Ｑ値の振動子および共振器を提供することを目的とし、梁構造の振動子の支持部の厚みを振動子の厚みよりも厚くかつ、支持部を梁の長さ方向に対して軸対称とする。この構成により、支持部の脆弱性を改善し、支持部からの振動エネルギの損失を低減するとともに、振動子表面の表面粗さに起因する振動エネルギの損失を低減することができるので、高Ｑ値を有する共振器を提供することが可能となる。
摘要翻译：提供了一种在振荡中具有小的振荡能量耗散和高Q值的振荡器以及谐振器。具有光束结构的振荡器的支撑部分比振荡器厚，并且支撑部分在长度方向上是轴对称的的梁。因此，由于支撑部的脆性提高，来自支撑部的振荡能量的损失减小，由于振荡器表面的表面粗糙度引起的振荡能量的损失降低，因此提供具有高Q值的谐振器。

2. 发明申请

WO2005062332A1 ＭＥＭＳスイッチ审中-公开
标题翻译： MEMS开关
公开(公告)号：WO2005062332A1
公开(公告)日：2005-07-07
申请号：PCT/JP2004/019032
申请日：2004-12-20
申请人：松下電器産業株式会社 , 橋村昭範 , 内藤康幸 , 中村邦彦 , 中西淑人
发明人：橋村昭範 , 内藤康幸 , 中村邦彦 , 中西淑人
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H59/0009 , H01H2001/0078
摘要：　　　製造が容易かつ微細で、十分なＯＮ/ＯＦＦ静電容量変化比を得ることができるＭＥＭＳスイッチを提供する。　　　基板４６と、前記基板表面に形成された導電性梁４２と、前記基板表面に形成され、前記導電性梁に対向する位置に配置された３層構造梁Ｂ１，Ｂ２とを備えるＭＥＭＳスイッチであって、前記３層構造梁は、第１の導電体層３８，４０、第２の導電体層３０，３２、及び前記第１の導電体層と前記第２の導電体層に挟まれた誘電体層３４，３６を含み、前記第１の導電体層は、前記導電性梁４２に対向しており、前記導電性梁４２及び前記３層構造梁の少なくとも一方が、前記基板４６に平行な面上で静電力によって変位して前記導電性梁４２と前記第１の電極３８，４０が接触可能であり、前記導電性梁４２と前記第１の導電体層が接触時に、前記導電性梁４２と前記第２の導電体層３０，３２との間で導電路が形成されることを特徴とする。
摘要翻译：精密的MEMS开关易于生产，并具有足够的IN / OFF电容变化率。 MEMS开关包括基板（46），形成在基板上的导电梁（42）和形成在基板上并与导电梁相对的三层结构梁（B1，B2）。 MEMS开关的特征在于，三层结构梁包括介于相应的第一和第二导电层之间的第一导电层（38,40），第二导电层（30,32）和介电层（34,36）第一导电层与导电梁（42）相对，导电梁（42）和三层结构梁中的至少一个通过平行于基板（46）的平面中的静电力而变形，从而使导电梁（42）和第一电极（38,40）彼此接触，并且当导电梁（42）和第二导电层（30,32）之间的导电路径 42）并且第一导电层彼此接触。

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