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1. 发明授权

US5214727A Electrostatic microactuator 失效
标题翻译：静电微致动器
公开(公告)号：US5214727A
公开(公告)日：1993-05-25
申请号：US821962
申请日：1992-01-16
申请人： William N. Carr , Hsu-Nien Yang , Dong-Il D. Cho
发明人： William N. Carr , Hsu-Nien Yang , Dong-Il D. Cho
IPC分类号： G02B6/35
CPC分类号： G02B6/357 , G02B6/3508 , G02B6/3548 , G02B6/358
摘要： An electrostatic microactuator for moving an optical fiber is described and includes an actuator plate with opposed major surfaces and interspersed conductive and nonconductive portions. The actuator plate is physically engaged with the optical fiber so that the fiber moves with the actuator. First and second segmented, conductive, torque stators are disposed adjacent the opposed major surfaces of the actuator plate. Multiphase circuitry is connected to segments of the torque stators for applying phased signals thereto to induce a linear actuating force in the actuator plate. The phased signals applied to the first and second torque stators are balanced so as to positionally balance the actuator plate during its travels.
摘要翻译：描述了用于移动光纤的静电微致动器，并且包括具有相对的主表面和散布的导电和非导电部分的致动器板。致动器板与光纤物理接合，使得光纤与致动器一起移动。第一和第二分段导电扭矩定子邻近致动器板的相对的主表面设置。多相电路连接到扭矩定子的部分，以将相控信号施加到致动器板上以引起线性致动力。施加到第一和第二扭矩定子的相控信号是平衡的，以便在行进过程中使致动器板定位平衡。

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