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    • 5. 发明申请
    • WAVEGUIDE STRUCTURE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
    • 波形结构及其制造方法
    • US20160197391A1
    • 2016-07-07
    • US14602290
    • 2015-01-22
    • UNITED MICROELECTRONICS CORP.
    • Tzung-Lin LiChien-Yi LeeChieh-Pin Chang
    • H01P3/16H01P11/00
    • H01P3/003H01P3/006H01P3/026H01P7/086H01P11/001
    • A waveguide structure includes a signal line and two static lines. The signal line is disposed between the static lines in a first direction. The static lines and the signal line are disposed parallel to one another. Each static line includes a first conductive pattern, a second conductive pattern, and a third conductive pattern. The first conductive pattern and the signal line are disposed on an identical plane of a dielectric layer. A thickness of the first conductive pattern is substantially equal to a thickness of the signal line. The second conductive pattern is disposed on the first conductive pattern. A width of the first conductive pattern is larger than a width of the second conductive pattern in the first direction. The third conductive pattern is disposed on the second conductive pattern. A width of the third conductive pattern is larger than the width of the second conductive pattern.
    • 波导结构包括信号线和两条静态线。 信号线在第一方向上设置在静态线之间。 静态线路和信号线彼此平行设置。 每个静态线包括第一导电图案,第二导电图案和第三导电图案。 第一导电图案和信号线设置在电介质层的相同平面上。 第一导电图案的厚度基本上等于信号线的厚度。 第二导电图案设置在第一导电图案上。 第一导电图案的宽度大于第一导电图案在第一方向上的宽度。 第三导电图案设置在第二导电图案上。 第三导电图案的宽度大于第二导电图案的宽度。