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    • 7. 发明授权
    • Method for checking and fixing double-patterning layout
    • 双图案布局的检查和固定方法
    • US09594866B2
    • 2017-03-14
    • US13681094
    • 2012-11-19
    • TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY, LTD.
    • Dio WangKen-Hsien HsiehHuang-Yu ChenLi-Chun TienRu-Gun LiuLee-Chung Lu
    • G06F17/50G03F1/00G21K5/00
    • G06F17/5081G03F1/00G06F17/5077G06F2217/12G21K5/00
    • A method includes receiving layout data representing a plurality of patterns. The layout data includes a plurality of layers and spaces identified between adjacent patterns. In at least one layer of the plurality of layers, the adjacent patterns violate a G0-rule. The method further includes determining whether each identified space is a critical G0-space. The identified space is determined to be a critical G0-space if a portion of at least one adjacent pattern that is removed merges two adjacent odd-loops of G0-spaces into a single even loop or G0 spaces or alternatively, if a portion of an adjacent pattern that is removed converts one odd-loop of G0-spaces to a non-loop of G0-spaces. The method further includes receiving a modification of at least one adjacent pattern and updating a spacing of a layer that is adjacent to the layers within the adjacent pattern that violate the G0-rule.
    • 一种方法包括接收表示多个图案的布局数据。 布局数据包括在相邻图案之间标识的多个层和空间。 在多层中的至少一层中,相邻的图案违反了G0规则。 该方法还包括确定每个所识别的空间是否是关键的G0空间。 如果去除的至少一个相邻图案的一部分将G0空间的两个相邻奇数循环合并成单个偶数循环或G0空间,则所识别的空间被确定为关键G0空间,或者如果一部分 被删除的相邻图案将一个奇数循环的G0空间转换成非循环的G0空格。 该方法还包括接收至少一个相邻图案的修改,并且更新与相邻图案中违反G0规则的层相邻的层的间隔。