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    • 9. 发明授权
    • Instrument for measuring the topography of a surface
    • 用于测量表面形貌的仪器
    • US4764016A
    • 1988-08-16
    • US31012
    • 1987-02-10
    • Gunnar Johansson
    • Gunnar Johansson
    • G01B11/24G01B11/30
    • G01B11/30
    • An instrument for measuring the topography of a surface, comprising a light transmitting device for transmitting a light beam onto the surface; a light receiving device for receiving light reflected by the surface; a detector for detecting the position of the received light relative to the optical axis of the light receiving device; and means for providing relative movement between on one hand the light transmitting (10,L1,L2) and light receiving (L3,L4,8) devices, and on the other hand the surface (2) to be measured. According to the invention the optical axis (11) of the light transmitting device (10,L1,L2) is arranged to form a small angle (.gamma..sub.1) with the normal to the median plane (13) of a workpiece surface (2) to be measured. The angle (.gamma..sub.1) is smaller than about 15.degree.. The optical axis (9) of the light receiving device (L3,L4) forms a right angle, or substantially a right angle (8) with the optical axis of the light transmitting device. The detector (8) is position-responsive, and an image magnifying lens (14) is located in front of the detector.
    • PCT No.PCT / SE86 / 00287 Sec。 371日期1987年2月10日 102(e)日期1987年2月10日PCT提交1986年6月13日PCT公布。 公开号WO86 / 07444 日期:1986年12月18日。一种用于测量表面形貌的仪器,包括用于将光束传输到表面上的光发射装置; 用于接收由所述表面反射的光的光接收装置; 用于检测接收的光相对于光接收装置的光轴的位置的检测器; 以及用于一方面提供透光(10,L1,L2)和光接收(L3,L4,8)装置之间的相对运动,另一方面提供待测表面(2)的相对运动的装置。 根据本发明,透光装置(10,L1,L2)的光轴(11)被布置成与工件表面(2)的中间平面(13)垂直的方式形成小角度(γ1) 待测。 角度(γ1)小于约15°。 光接收装置(L3,L4)的光轴(9)与光发射装置的光轴形成直角或基本上直角(8)。 检测器(8)是位置响应的,并且图像放大透镜(14)位于检测器的前面。