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    • 3. 发明申请
    • finFET Device
    • finFET器件
    • US20080042219A1
    • 2008-02-21
    • US11923121
    • 2007-10-24
    • Roger BoothWilliam HovisJack Mandelman
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    • H01L29/94
    • H01L29/7851H01L29/66795
    • A finFET, a method of fabricating the finFET and a design structure of the finFET. The method includes: forming a silicon fin on a top surface of a silicon substrate; forming a gate dielectric on opposite sidewalls of the fin; forming a gate electrode over a channel region of the fin, the gate electrode in direct physical contact with the gate dielectric layer on the opposite sidewalls of the fin; forming a first source/drain in the fin on a first side of the channel region and forming a second source/drain in the fin on a second side of the channel region; removing a portion of the substrate from under at least a portion of the first and second source/drains to create a void; and filling the void with a dielectric material. The finFET includes a body contact between the silicon body of the finFET and the substrate.
    • finFET,finFET的制造方法以及finFET的设计结构。 该方法包括:在硅衬底的顶表面上形成硅翅片; 在翅片的相对侧壁上形成栅电介质; 在鳍片的沟道区域上形成栅电极,栅电极与翅片的相对侧壁上的栅介电层直接物理接触; 在所述通道区域的第一侧上在所述翅片中形成第一源极/漏极,并且在所述沟道区域的第二侧上在所述鳍片中形成第二源极/漏极; 从第一和第二源/排水沟的至少一部分下方去除衬底的一部分以产生空隙; 并用介电材料填充空隙。 finFET包括在finFET的硅体和衬底之间的体接触。