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    • 7. 发明授权
    • Silicon micromachined ultra-sensitive vibration spectrum sensor array (VSSA)
    • 硅微加工超灵敏振动光谱传感器阵列(VSSA)
    • US07559242B2
    • 2009-07-14
    • US11097059
    • 2005-03-31
    • Li-Peng WangQing MaValluri RaoGoutam Paul
    • Li-Peng WangQing MaValluri RaoGoutam Paul
    • G01D21/00
    • G01H1/00
    • An apparatus comprising a substrate and an array of vibration sensors formed on the substrate, the array comprising two or more vibration sensors, wherein each vibration sensor in the array has a different noise floor and a different operational frequency range than any of the other vibration sensors in the array. A process comprising forming an array of vibration sensors on a substrate, the array comprising two or more vibration sensors, wherein each of the two or more vibration sensors in the array has a different noise floor and a different operational frequency range than any of the other vibration sensors in the array. Other embodiments are disclosed and claimed.
    • 一种包括衬底和形成在衬底上的振动传感器阵列的装置,该阵列包括两个或更多个振动传感器,其中阵列中的每个振动传感器具有与任何其它振动传感器不同的本底噪声和不同的工作频率范围 在阵列中。 一种方法,包括在衬底上形成振动传感器阵列,所述阵列包括两个或更多个振动传感器,其中所述阵列中的所述两个或更多个振动传感器中的每一个具有不同于其他噪声的基底和不同的工作频率范围 阵列中的振动传感器。 公开和要求保护其他实施例。