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2. 发明授权

US5445973A Method for manufacturing solar cells 失效
标题翻译：制造太阳能电池的方法
公开(公告)号：US5445973A
公开(公告)日：1995-08-29
申请号：US137156
申请日：1993-10-22
申请人： Jonas Hedstrom
发明人： Jonas Hedstrom
IPC分类号： C23C14/14 , C23C14/06 , H01L21/203 , H01L21/363 , H01L31/032 , H01L31/0336 , H01L31/04 , H01L31/042 , H01L31/18 , H01L31/0264
CPC分类号： H01L31/0749 , H01L31/0322 , Y02E10/541 , Y02P70/521
摘要： A method for manufacturing solar cells, more specifically thin-film solar cells, particularly thin-film solar cells on which CuInSe.sub.2 is deposited. A substrate is provided on which a multi-layer structure is formed by depositing thereon a layer defined by a compound including several basic substances, such as copper-indium-diselenide (CuInSe.sub.2), or a closely-related compound where copper (Cu) and indium (In) can be replaced totally or partially with Silver (Ag) and gallium (Ga), respectively, and where selenium (Se) can be replaced totally or partially with sulphur (S) and tellurium (Te), and where the concentration of the basic substances in the layer varies. The substrate is placed on the inside of a rotatable, tubular carrier device, after which the substrate is heated, and substance sources are provided for depositing the basic substances on the substrate. One or more of the basic substances is deposited on the substrate by passing respective basic substance sources axially into the tubular carrier device while simultaneously rotating the tubular carrier device.
摘要翻译： PCT No.PCT / SE92 / 00262 Sec。 371日期：1993年10月22日 102（e）日期1993年10月22日PCT提交1992年4月22日PCT公布。 WO92 / 20103 PCT出版物日期：1992年11月12日。一种制造太阳能电池的方法，更具体地说是薄膜太阳能电池，特别是沉积有CuInSe 2的薄膜太阳能电池。通过在其上沉积由包括若干碱性物质的化合物（例如铜铟铟锡（CuInSe 2））或其中铜（Cu）和（CuInSe 2）的紧密相关的化合物而形成的层，提供其上形成多层结构的衬底，铟（In）可以分别用银（Ag）和镓（Ga）全部或部分替代，并且其中硒（Se）可以全部或部分地用硫（S）和碲（Te）代替，并且其中浓度的层中的碱性物质有所不同。将基板放置在可旋转的管状载体装置的内部，之后加热基板，并且提供物质源以在基板上沉积碱性物质。一个或多个基本物质通过将相应的碱性物质源轴向地传递到管状载体装置中同时旋转管状载体装置而沉积在基底上。

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