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    • 2. 发明申请
    • SEMICONDUCTOR DEVICES
    • 半导体器件
    • US20100171148A1
    • 2010-07-08
    • US12725792
    • 2010-03-17
    • Xuefeng LIURobert M. RASSELSteven H. VOLDMAN
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    • H01L27/06
    • H01L29/7436H01L27/0262H01L29/7378
    • A device comprises a first sub-collector formed in an upper portion of a substrate and a lower portion of a first epitaxial layer and a second sub-collector formed in an upper portion of the first epitaxial layer and a lower portion of a second epitaxial layer. The device further comprises a reach-through structure connecting the first and second sub-collectors and an N− well formed in a portion of the second epitaxial layer and in contact with the second sub-collector and the reach-through structure. The device further comprises N+ diffusion regions in contact with the N− well, a P+ diffusion region in contact with the N− well, and shallow trench isolation structures between the N+ and P+ diffusion regions.
    • 一种器件包括形成在衬底的上部中的第一子集电极和形成在第一外延层的上部中的第一外延层和第二子集电极的下部,以及第二外延层的下部 。 该装置还包括连接第一和第二子集电极的连通结构和形成在第二外延层的一部分中并与第二子集电极和达到通孔结构接触的N阱。 该装置还包括与N阱接触的N +扩散区,与N阱接触的P +扩散区和N +和P +扩散区之间的浅沟槽隔离结构。