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热词
    • 4. 发明申请
    • ROUTING SYSTEM AND METHOD FOR DOUBLE PATTERNING TECHNOLOGY
    • 双文件技术的路由系统和方法
    • US20110119648A1
    • 2011-05-19
    • US12649979
    • 2009-12-30
    • Huang-Yu ChenYuan-Te HouGwan Sin ChangWen-Ju YangZhe-Wei JiangYi-Kan ChengLee-Chung Lu
    • Huang-Yu ChenYuan-Te HouGwan Sin ChangWen-Ju YangZhe-Wei JiangYi-Kan ChengLee-Chung Lu
    • G06F17/50
    • G06F17/5077
    • A method includes receiving an identification of a plurality of circuit components to be included in an IC layout. Data are generated representing a first pattern to connect two of the circuit components. The first pattern has a plurality of segments. At least two of the segments have lengthwise directions perpendicular to each other. At least one pattern-free region is reserved adjacent to at least one of the at least two segments. Data are generated representing one or more additional patterns near the first pattern. None of the additional patterns is formed in the pattern-free region. The first pattern and the additional patterns form a double-patterning compliant set of patterns. The double-patterning compliant set of patterns are output to a machine readable storage medium to be read by a system for controlling a process to fabricate a pair of masks for patterning a semiconductor substrate using double patterning technology.
    • 一种方法包括接收要包括在IC布局中的多个电路部件的标识。 生成表示连接两个电路部件的第一图案的数据。 第一图案具有多个片段。 至少两个片段具有彼此垂直的纵向方向。 保留与至少两个段中的至少一个相邻的至少一个无图案区域。 生成表示在第一图案附近的一个或多个附加图案的数据。 在无模式区域中没有形成附加图案。 第一种图案和附加图案形成双重图案化顺应的图案集合。 将双图案化顺应的图案集合输出到机器可读存储介质,以由用于控制制造用于使用双重图案化技术图案化半导体衬底的一对掩模的工艺的系统读取。
    • 9. 发明授权
    • Routing system and method for double patterning technology
    • 双重图案化技术的路由系统和方法
    • US08239806B2
    • 2012-08-07
    • US12649979
    • 2009-12-30
    • Huang-Yu ChenYuan-Te HouGwan Sin ChangWen-Ju YangZhe-Wei JiangYi-Kan ChengLee-Chung Lu
    • Huang-Yu ChenYuan-Te HouGwan Sin ChangWen-Ju YangZhe-Wei JiangYi-Kan ChengLee-Chung Lu
    • G06F17/50
    • G06F17/5077
    • A method includes receiving an identification of a plurality of circuit components to be included in an IC layout. Data are generated representing a first pattern to connect two of the circuit components. The first pattern has a plurality of segments. At least two of the segments have lengthwise directions perpendicular to each other. At least one pattern-free region is reserved adjacent to at least one of the at least two segments. Data are generated representing one or more additional patterns near the first pattern. None of the additional patterns is formed in the pattern-free region. The first pattern and the additional patterns form a double-patterning compliant set of patterns. The double-patterning compliant set of patterns are output to a machine readable storage medium to be read by a system for controlling a process to fabricate a pair of masks for patterning a semiconductor substrate using double patterning technology.
    • 一种方法包括接收要包括在IC布局中的多个电路部件的标识。 生成表示连接两个电路部件的第一图案的数据。 第一图案具有多个片段。 至少两个片段具有彼此垂直的纵向方向。 保留与至少两个段中的至少一个相邻的至少一个无图案区域。 生成表示在第一图案附近的一个或多个附加图案的数据。 在无模式区域中没有形成附加图案。 第一种图案和附加图案形成双重图案化顺应的图案集合。 将双图案化顺应的图案集合输出到机器可读存储介质,以由用于控制制造用于使用双重图案化技术图案化半导体衬底的一对掩模的工艺的系统读取。