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    • 2. 发明授权
    • Device for producing thin films of mixed metal oxides from organic metal
compounds on a substrate
    • 用于从基底上的有机金属化合物制备混合金属氧化物的薄膜的装置
    • US5350453A
    • 1994-09-27
    • US920458
    • 1992-09-23
    • Ernst-Gunther Schlosser
    • Ernst-Gunther Schlosser
    • C01B13/20C01G1/00C23C16/40C23C16/44C23C16/448C23C16/455C23C16/00
    • C23C16/45514C23C16/40C23C16/4485C23C16/45585Y10S505/73Y10S505/732Y10S505/734Y10S505/786
    • In the device for producing thin films of metal oxides from organic metal compounds on a substrate, there is a truncated pyramidal hollow body (3) in an evacuable housing (1). Disposed concentrically with respect to the axis of symmetry (16) of the hollow body (3) in its base (7) are at least three furnaces (8) which have reception devices (9) for the metal compounds (10) to be evaporated. The reception devices (9) are provided with guide pipes (11) which project into the hollow interior of the hollow body (3) and are inclined towards its axis of symmetry (16). The casing (12) of the truncated pyramid merges into a pipe (13) above whose end there is disposed a heatable reception device (5) for the substrate (4). A gas feed pipe (6) terminates in the hollow interior [sic] of the hollow body (3) between the guide pipes (11) and the end of the pipe (13).
    • PCT No.PCT / EP91 / 00325 Sec。 371日期:1992年10月13日 102(e)日期1992年10月13日PCT 1991年2月21日PCT PCT。 出版物WO91 / 13185 日本1991年9月5日。在用于从基板上的有机金属化合物制造金属氧化物的薄膜的装置中,在可抽出的外壳(1)中有一个截头锥体中空体(3)。 相对于其基部(7)中的中空体(3)的对称轴(16)同心地设置有至少三个炉子(8),其具有用于使金属化合物(10)蒸发的接收装置(9) 。 接收装置(9)设置有引导管(11),该导管突出到中空体(3)的中空内部并朝向其对称轴线(16)倾斜。 截头棱锥形的壳体(12)合并成一个管(13),在该管(13)的上方设有用于基板(4)的可加热的接收装置(5)。 气体供给管(6)终止于导管(11)和管(13)的端部之间的空心体(3)的中空内部。