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    • 3. 发明授权
    • Near-field optical inspection apparatus
    • 近场光学检测仪器
    • US06507017B1
    • 2003-01-14
    • US09719313
    • 2001-05-16
    • Ron NaamanZeev Vager
    • Ron NaamanZeev Vager
    • H01J314
    • G01Q60/22Y10S977/862
    • An apparatus (1) for optical inspection of an article(s) is presented. The apparatus utilizes near-field illumination, and comprises a light source unit (4) generating incident light, a detector unit (14), a fiber bundle for directing (16C) the incident light onto a substantially large surface area (2A) of the article and collecting light (16B) returned from the illuminated surface area, and a control means (28). The control means comprises sensing means consisting of at least three tips for atomic force (AFM) or current tunneling (STM) measurement at sample surface, and is capable of adjusting the position of the fiber bundle relative to the surface of the article.
    • 提出了用于光学检查物品的装置(1)。 该设备利用近场照明,并且包括产生入射光的光源单元(4),检测器单元(14),用于将入射光引导(16C)到所述入射光的基本上大的表面区域(2A)上的光纤束 从照明表面区域返回的物品和收集光(16B)和控制装置(28)。 控制装置包括由样品表面上的原子力(AFM)或当前隧道(STM)测量的至少三个尖端组成的感测装置,并且能够调节纤维束相对于制品表面的位置。