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1. 发明授权

US5696835A Apparatus and method for aligning and measuring misregistration 失效
标题翻译：对准和测量不对准的装置和方法
公开(公告)号：US5696835A
公开(公告)日：1997-12-09
申请号：US603026
申请日：1996-02-16
申请人： A. Kathleen Hennessey , YouLing Lin , Wan Sang Wong , C. Rinn Cleavelin , Stephen J. Demoor , Kwang-Soo Hahn
发明人： A. Kathleen Hennessey , YouLing Lin , Wan Sang Wong , C. Rinn Cleavelin , Stephen J. Demoor , Kwang-Soo Hahn
IPC分类号： G06T7/00 , H01L21/68 , G06K9/00
CPC分类号： G06T7/0044 , H01L21/681 , G06T2207/30148
摘要： A method is provided for aligning a silicon wafer (20) in a fabrication tool (37) having a stage (22) involving the steps of producing a digital image of a portion of wafer (20) in a scope-of-view window (48), converting the digital image to image primitives, comparing the image primitives to grammar template primitives to locate a known intersection on wafer (20); and moving the stage (22) to align wafer (20). A method and apparatus are disclosed for determining the misregistration of two layers of a wafer (20) by converting targets (158, 160) to primitives and determining the relative displacement in symbolic space. The misregistration apparatus involves a camera (34), a video-to-digital converter (32), a computer (28), and a stage adjuster (24).
摘要翻译：提供了一种用于在具有级（22）的制造工具（37）中对准硅晶片（20）的方法，其包括以下步骤：在视野窗口中产生晶片（20）的一部分的数字图像将数字图像转换为图像原语，将图像原语与语法模板图元进行比较，以定位晶片（20）上的已知交叉点; 以及移动台（22）以对准晶片（20）。公开了一种用于通过将目标（158,160）转换为原语并确定符号空间中的相对位移来确定晶片（20）的两层不对准的方法和装置。该对准装置包括摄像机（34），视频 - 数字转换器（32），计算机（28）和平台调节器（24）。

2. 发明授权

US5515453A Apparatus and method for image processing in symbolic space 失效
标题翻译：符号空间图像处理装置及方法
公开(公告)号：US5515453A
公开(公告)日：1996-05-07
申请号：US186750
申请日：1994-01-21
申请人： A. Kathleen Hennessey , YouLing Lin , Kwang-Soo Hahn
发明人： A. Kathleen Hennessey , YouLing Lin , Kwang-Soo Hahn
IPC分类号： G06K9/68 , G06K9/00
CPC分类号： G06K9/4685 , G06K9/6885 , G06K2209/19
摘要： A method and apparatus (62) for processing images in symbolic space are disclosed. The method may include the steps of capturing a visual image (40), converting the visual image to a digital image (42), decomposing the digital image into image primitives (44), and processing the image primitives in symbolic space (46). The processing of the image primitives may include grouping the image primitives to form higher level image primitives, isolating portions of an image, filtering noise, identifying portions of an image, or adding to a knowledge base. The system or apparatus (62)for processing an image in symbolic space may include a camera (64), a video-to-digital converter (66), and a computer (68) with appropriate memory and software; the processing may include grouping the image primitives to form higher level image primitives, isolating portions of an image, filtering noise, identifying portions of an image, or adding to a knowledge base.
摘要翻译：公开了一种用于处理符号空间中的图像的方法和装置（62）。该方法可以包括以下步骤：捕获视觉图像（40），将视觉图像转换为数字图像（42），将数字图像分解成图像原语（44），以及在符号空间（46）中处理图像原语。图像原语的处理可以包括对图像原语进行分组以形成更高级别的图像原语，隔离图像的部分，过滤噪声，识别图像的部分或添加到知识库中。用于处理符号空间中的图像的系统或装置（62）可以包括具有适当的存储器和软件的相机（64），视频 - 数字转换器（66）和计算机（68）该处理可以包括将图像原语分组以形成更高级别的图像原语，隔离图像的部分，过滤噪声，识别图像的部分或添加到知识库中。

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