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    • 1. 发明授权
    • Method and means for controlling movement of a chuck in a test apparatus
    • 用于控制卡盘在测试装置中的运动的方法和装置
    • US5550480A
    • 1996-08-27
    • US270290
    • 1994-07-05
    • Randall D. NelsonGregory L. Westbrook
    • Randall D. NelsonGregory L. Westbrook
    • G01R1/067G01R31/02
    • G01R1/06705
    • A sense circuit (23) for generating an actuating signal and a method of using the actuating signal to control movement of a wafer chuck (12). The sense circuit (23) has sense input terminals (24, 28) coupled to corresponding probe-card probes (19, 18). A wafer (26) having contact pads (42, 42') is mounted on the wafer chuck (12) and moved towards the probe-card probes (18, 19). When the probe-card probes (18, 19) contact corresponding contact pads (42', 42) on the wafer, the sense circuit (23) generates an actuating signal. The actuating signal, which is generated in accordance with the heights of the contact pads (42', 42), enables control circuit (48) of the prober (11). The control circuit limits the movement of the wafer chuck (12) to prevent damage to the probe card (12) or the wafer (26).
    • 用于产生致动信号的检测电路(23)和使用致动信号来控制晶片卡盘(12)的运动的方法。 感测电路(23)具有耦合到对应的探针卡探头(19,18)的感测输入端子(24,28)。 具有接触焊盘(42,42')的晶片(26)安装在晶片卡盘(12)上并朝向探针卡探头(18,19)移动。 当探针卡探针(18,19)与晶片上的对应的接触垫(42',42)接触时,感测电路(23)产生致动信号。 根据接触焊盘(42',42)的高度产生的致动信号使得探测器(11)的控制电路(48)能够被控制。 控制电路限制晶片卡盘(12)的移动,以防止损坏探针卡(12)或晶片(26)。