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    • 3. 发明授权
      US08128714B2 Apparatus for manufacturing polycrystalline silicon thin film 有权
    • Apparatus for manufacturing polycrystalline silicon thin film
    • 多晶硅薄膜制造装置
    • US08128714B2
    • 2012-03-06
    • US12864622
    • 2009-01-30
    • Jae-Sang Ro , Won-Eui Hong
    • Jae-Sang Ro , Won-Eui Hong
    • H01L21/00
    • H01L21/02532 , H01L21/02595 , H01L21/02667 , H01L21/02672 , H01L21/67109 , H01L27/1281 , H01L27/1285 , Y10T29/41
    • Provided is an apparatus for manufacturing a polysilicon thin film by depositing an amorphous silicon thin film and an upper silicon dioxide substrate on a lower silicon dioxide substrate, forming a conductive thin film on the upper silicon dioxide substrate, and applying an electric field and performing Joule heating to crystallize the amorphous silicon thin film, the apparatus comprising power terminals for elastically contacting both upper ends of the conductive thin film and supplying power to the conductive thin film, and support members for elastically supporting the substrate such that the power terminals closely contact both upper ends of the conductive thin film to form a uniform electric field at the conductive thin film. Therefore, it is possible to apply an electric field to a conductive thin film and perform Joule heating to crystallize an amorphous silicon thin film, and support members are installed at both lower surfaces of a silicon dioxide substrate to elastically support the silicon dioxide substrate such that power terminals closely contact both upper ends of the conductive thin film, thereby forming a uniform electric field at the conductive thin film to efficiently perform crystallization within a short time.
    • 提供了一种通过在下部二氧化硅衬底上沉积非晶硅薄膜和上部二氧化硅衬底来制造多晶硅薄膜的装置，在上部二氧化硅衬底上形成导电薄膜，并施加电场并执行焦耳 加热以使非晶硅薄膜结晶，该装置包括用于弹性地接触导电薄膜的上端并向导电薄膜供电的装置，以及用于弹性地支撑基板的支撑构件，使得电源端子紧密接触两者 导电薄膜的上端在导电薄膜上形成均匀的电场。 因此，可以对导电薄膜施加电场，进行焦耳加热以使非晶硅薄膜结晶，并且将支撑构件安装在二氧化硅基板的两个下表面以弹性地支撑二氧化硅基板，使得 电源端子紧密接触导电薄膜的两个上端，从而在导电薄膜处形成均匀的电场，以在短时间内有效地进行结晶。
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    • 6. 发明申请
      US20110121308A1 THIN FILM TRANSISTOR AND MANUFACTURING METHOD THEREOF 审中-公开
    • THIN FILM TRANSISTOR AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
    • 薄膜晶体管及其制造方法
    • US20110121308A1
    • 2011-05-26
    • US13055041
    • 2009-07-08
    • Jae-Sang Ro , Won-Eui Hong
    • Jae-Sang Ro , Won-Eui Hong
    • H01L29/786 , H01L21/336
    • H01L21/02422 , G02F2202/103 , G02F2202/104 , H01L21/02532 , H01L21/02667 , H01L27/1281 , H01L27/1285 , H01L29/66757
    • Provided are a thin film transistor including a polycrystalline silicon layer having improved crystallinity by applying Joule heat to form stress gradient in a glass substrate that is disposed under an amorphous silicon layer from a surface to a predetermined depth of the glass substrate, thereby crystallizing the amorphous silicon layer into a polycrystalline silicon layer, and a method of fabricating the same. The film transistor includes a glass substrate having stress gradient from an upper surface to a predetermined depth, a semiconductor layer disposed on the glass substrate, and formed of a polycrystalline silicon layer crystallized by Joule heating, a gate insulating layer disposed on the semiconductor layer, a gate electrode disposed on the gate insulating layer, an interlayer insulating layer disposed on the gate electrode, and source and drain electrodes disposed on the interlayer insulating layer, and electrically connected to source and drain regions of the semiconductor layer.
    • 提供了一种薄膜晶体管，其包括通过在从玻璃基板的表面到预定深度设置在非晶硅层下方的玻璃基板中施加焦耳热以形成应力梯度的具有改善的结晶度的多晶硅层，从而使无定形 硅层形成多晶硅层及其制造方法。 薄膜晶体管包括具有从上表面到预定深度的应力梯度的玻璃基板，设置在玻璃基板上的半导体层，由通过焦耳加热结晶的多晶硅层，设置在半导体层上的栅极绝缘层， 设置在栅极绝缘层上的栅电极，设置在栅电极上的层间绝缘层，以及设置在层间绝缘层上的电极和漏电极，并与半导体层的源区和漏区电连接。
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    • 9. 发明申请
      US20100223215A1 SYSTEMS AND METHODS OF MAKING CONTENT-BASED DEMOGRAPHICS PREDICTIONS FOR WEBSITES 有权
    • SYSTEMS AND METHODS OF MAKING CONTENT-BASED DEMOGRAPHICS PREDICTIONS FOR WEBSITES
    • 制作基于内容的人口统计学网站预测的系统和方法
    • US20100223215A1
    • 2010-09-02
    • US12643916
    • 2009-12-21
    • George Karypis , Eui-Hong Han
    • George Karypis , Eui-Hong Han
    • G06F15/18
    • G06Q30/02 , G06Q10/04 , G06Q30/0202 , G06Q30/0254
    • Systems and methods for making demographic predictions for websites and web-pages. Embodiments include a system and a method of making demographic predictions for websites. The system and method select one or more websites with known demographic attributes for use as training websites, obtain demographic attributes data of the training websites, determine first features of web-pages of the training websites and develop a prediction model using the determined first features and the obtained demographic attributes data. The prediction model predicts one or more values for a target demographic attribute. The system and method determine second features of web-pages of a target website and apply the prediction model to the determined second features of the target website to predict one or more values for the target demographic attribute of the target website.
    • 为网站和网页进行人口统计预测的系统和方法。 实施例包括对网站进行人口统计预测的系统和方法。 系统和方法选择一个或多个具有已知人口统计属性的网站作为培训网站，获取培训网站的人口特征数据，确定培训网站的网页的第一特征，并使用确定的第一特征开发预测模型， 获得的人口统计属性数据。 预测模型预测目标人口统计属性的一个或多个值。 系统和方法确定目标网站的网页的第二特征，并将预测模型应用于目标网站的确定的第二特征，以预测目标网站的目标人口统计属性的一个或多个值。
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