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1. 发明申请

US20130162997A1 DEVICE AND METHOD FOR REDUCING A WEDGE ERROR 有权
标题翻译：用于减少楔形误差的装置和方法
公开(公告)号：US20130162997A1
公开(公告)日：2013-06-27
申请号：US13820166
申请日：2010-09-03
申请人： Michael Kast , Christian Grünseis , Alois Malzer
发明人： Michael Kast , Christian Grünseis , Alois Malzer
IPC分类号： G01B11/26
CPC分类号： G01B21/24 , G01B11/14 , G01B11/272 , G03F7/0002
摘要： A device for aligning a first surface of a first substrate with a second surface of a second substrate as the first and the second surfaces move toward each other across a gap. The device is comprised of: a first retaining system for retaining the first substrate on a first retaining surface; a second retaining system for retaining the second substrate on a second retaining surface; approach means for causing the first surface to approach the second surface in one direction of translation (T) toward an end position; and means for reducing a wedge error between the first and second surfaces during the approach of the first surface to the second surface including an in situ measurement during the approach of the substrates.
摘要翻译：一种用于将第一基板的第一表面与第二基板的第二表面对准的装置，因为第一和第二表面跨越间隙彼此相对移动。该装置包括：用于将第一基板保持在第一保持表面上的第一保持系统; 用于将第二基板保持在第二保持表面上的第二保持系统; 接近装置，用于使得所述第一表面在一个平移方向（T）朝向终端位置接近所述第二表面; 以及用于在第一表面到第二表面的接近期间减小第一和第二表面之间的楔形误差的装置，包括在基板接近期间的原位测量。

2. 发明授权

US09194700B2 Device and method for reducing a wedge error 有权
标题翻译：减少楔形误差的装置和方法
公开(公告)号：US09194700B2
公开(公告)日：2015-11-24
申请号：US13820166
申请日：2010-09-03
申请人： Michael Kast , Christian Grünseis , Alois Malzer
发明人： Michael Kast , Christian Grünseis , Alois Malzer
IPC分类号： G01B21/24 , G01B11/26 , G01B11/14 , G03F7/00 , G01B11/27
CPC分类号： G01B21/24 , G01B11/14 , G01B11/272 , G03F7/0002
摘要： A device for aligning a first surface of a first substrate with a second surface of a second substrate as the first and the second surfaces move toward each other across a gap. The device is comprised of: a first retaining system for retaining the first substrate on a first retaining surface; a second retaining system for retaining the second substrate on a second retaining surface; approach means for causing the first surface to approach the second surface in one direction of translation (T) toward an end position; and means for reducing a wedge error between the first and second surfaces during the approach of the first surface to the second surface including an in situ measurement during the approach of the substrates.
摘要翻译：一种用于将第一基板的第一表面与第二基板的第二表面对准的装置，因为第一和第二表面跨越间隙彼此相对移动。该装置包括：用于将第一基板保持在第一保持表面上的第一保持系统; 用于将第二基板保持在第二保持表面上的第二保持系统; 接近装置，用于使得所述第一表面在一个平移方向（T）朝向终端位置接近所述第二表面; 以及用于在第一表面到第二表面的接近期间减小第一和第二表面之间的楔形误差的装置，包括在基板接近期间的原位测量。

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