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    • 1. 发明授权
    • Optical information recording medium, and method for fabricating it
    • 光信息记录介质及其制造方法
    • US6114001A
    • 2000-09-05
    • US230948
    • 1999-04-01
    • Masaru SuzukiAkihiko Ohyama
    • Masaru SuzukiAkihiko Ohyama
    • G11B7/254G11B7/26B32B3/00
    • G11B7/26G11B7/2578G11B2007/24312G11B2007/24314G11B2007/24316G11B2007/25706G11B2007/2571G11B2007/25715G11B2007/25716G11B7/2534G11B7/2542G11B7/2585Y10S428/913Y10S430/146Y10T428/21
    • In an optical recording information recording medium of a structure having protection layers on both surfaces of a recording layer, overwrite cyclability is improved without deteriorating the reliability of recorded data.To achieve this, the first protection layer is deposited by a sputtering method from a target made of a mixture comprising ZnS and SiO.sub.2 without adding an O.sub.2 gas and a H.sub.2 gas to a sputtering atmosphere, the second protection layer is deposited by a sputtering method using a target made of a mixture comprising ZnS and SiO.sub.2 by adding an O.sub.2 gas and an H.sub.2 gas to the sputtering atmosphere.Especially, an optical information recording medium having a high reliability of recorded data and capable of overwriting of 300,000 cycles or more can be obtained, particularly, by controlling the partial pressure of the added O.sub.2 gas to 10.times.10.sup.-6 -50.times.10.sup.-6 Torr and the partial pressure of the added H.sub.2 gas to 20.times.10.sup.-6 -50.times.10.sup.-6 Torr upon deposition of the second protection layer.
    • PCT No.PCT / JP98 / 02453 Sec。 371日期1999年4月1日 102(e)日期1999年4月1日PCT提交1998年6月3日PCT公布。 第WO98 / 55994号公报 日期:1998年12月10日在具有记录层两面保护层结构的光记录信息记录介质中,改进了循环性能,而不会降低记录数据的可靠性。 为了实现这一点,通过溅射法将第一保护层从不含添加O 2气体和H 2气体的ZnS和SiO 2的混合物制成的靶沉积到溅射气氛中,通过溅射法使用第二保护层 通过向溅射气氛中加入O 2气体和H 2气体,由包含ZnS和SiO 2的混合物制成的靶。 特别地,可以获得具有高可靠性的记录数据并能够重写30万次以上的光学信息记录介质,特别是通过将添加的O 2气体的分压控制在10×10 -6〜50×10 -6乇, 在第二保护层沉积时,所加入的H 2气体的分压为20×10 -6〜50×10 -6乇。