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2. 发明授权

US5980983A Liquid precursors for formation of metal oxides 失效
标题翻译：用于形成金属氧化物的液体前体
公开(公告)号：US5980983A
公开(公告)日：1999-11-09
申请号：US62591
申请日：1998-04-17
申请人： Roy G. Gordon
发明人： Roy G. Gordon
IPC分类号： C07F19/00 , C23C16/00 , C23C16/40 , C23C18/12 , H01L21/00 , B05D3/02 , B05D5/12 , H01L21/469
CPC分类号： C23C18/1216 , C23C16/40 , C23C18/1254
摘要： A liquid precursor is provided for the formation of metal oxide films comprising a mixture of two ro more types of beta-diketonate ligands bound to one or more metals. For example, a liquid mixture was formed of the mixed aluminum beta-diketonates derived from two or more of the ligands 2,6-dimethyl-3,5-heptanedione; 2,7-dimethyl-3,5-heptanedione; 2,6-dimethyl-3,5-octanedione; 2,2,6-trimethyl-3,5-heptanedione; 2,8-dimethyl-4,6-nonanedione; 2,7-dimethyl-4,6-nonanedione; 2,2,7-trimethyl-3,5-octanedione; and 2,2,6-trimethyl-3,5-octanedione. Films of metal oxides are deposited from vaporized precursor mixtures of metal beta-diketonates and, optionally, oxygen or other sources of oxygen. This process may be used to deposit high-purity, transparent metal oxide films on a substrate. The liquid mixtures may also be used for spray coating, spin coating and sol-gel deposition of materials.
摘要翻译：提供液体前体用于形成包含与一种或多种金属结合的两种更多类型的β-二酮配体的混合物的金属氧化物膜。例如，由两种或多种配位体2,6-二甲基-3,5-庚二酮衍生的混合的β-二酮酸铝形成液体混合物; 2,7-二甲基-3,5-庚二酮; 2,6-二甲基-3,5-辛二酮; 2,2,6-三甲基-3,5-庚二酮; 2,8-二甲基-4,6-壬二酮; 2,7-二甲基-4,6-壬二酮; 2,2,7-三甲基-3,5-辛二酮; 和2,2,6-三甲基-3,5-辛二酮。金属氧化物膜由蒸发的金属β-二酮化物的前体混合物和任选的氧气或其它氧气源沉积。该方法可用于在基底上沉积高纯度，透明的金属氧化物膜。液体混合物也可用于喷涂，旋涂和材料的溶胶 - 凝胶沉积。

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