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51. 发明授权

US5723238A Inspection of lens error associated with lens heating in a photolithographic system 失效
标题翻译：在光刻系统中检查与透镜加热相关的透镜误差
公开(公告)号：US5723238A
公开(公告)日：1998-03-03
申请号：US760028
申请日：1996-12-04
申请人： Bradley T. Moore , Robert Dawson , H. Jim Fulford, Jr. , Mark I. Gardner , Frederick N. Hause , Mark W. Michael , Derick J. Wristers
发明人： Bradley T. Moore , Robert Dawson , H. Jim Fulford, Jr. , Mark I. Gardner , Frederick N. Hause , Mark W. Michael , Derick J. Wristers
IPC分类号： G03F7/20 , G03C5/00
CPC分类号： G03F7/70058 , G03F7/70591 , G03F7/70891
摘要： A method of inspecting a lens includes projecting a first amount of radiation through a first test pattern and the lens to provide a first lens error associated with a first heating of the lens, projecting a second amount of radiation through a second test pattern and the lens to provide a second lens error associated with a second heating of the lens, and using the first and second lens errors to provide image displacement data that varies as a function of heating the lens. In this manner, corrections can be made for localized lens heating that is unique to a given reticle. The method is well-suited for photolithographic systems such as step and repeat systems.
摘要翻译：检查透镜的方法包括：通过第一测试图案和透镜投射第一量的辐射，以提供与透镜的第一加热相关联的第一透镜误差，通过第二测试图案投射第二数量的辐射，并且透镜以提供与透镜的第二加热相关联的第二透镜误差，并且使用第一和第二透镜误差来提供作为加热透镜的函数而变化的图像位移数据。以这种方式，可以对给定掩模版特有的局部透镜加热进行校正。该方法非常适合于光刻系统，如步进和重复系统。

52. 发明授权

US5204639A Miller loop compensation network with capacitive drive 失效
标题翻译：具有电容驱动的米勒回路补偿网络
公开(公告)号：US5204639A
公开(公告)日：1993-04-20
申请号：US873855
申请日：1992-04-27
申请人： Bradley T. Moore , Robert L. Vyne , Renwin J. Yee
发明人： Bradley T. Moore , Robert L. Vyne , Renwin J. Yee
IPC分类号： H03F1/08
CPC分类号： H03F1/083
摘要： A monolithic operational amplifier (10) having an Miller loop compensation network (13) with improved capacitive drive. The monolithic operational amplifier (10) has an input stage (11), an output stage (12), and a compensation network (13). The compensation network (13) provides negative feedback between an output node (19) of the output stage (12) and an input node (16) of the output stage (12). The compensation network (13) has a compensation capacitor (26), a resistor (27), an isolation resistor (33), a shunt capacitor (28), and an isolation transistor (25). The compensation network (13) creates a dominant pole, a zero and a nondominant pole having a higher frequency than the zero. The nondominant pole improves a gain margin while preserving sufficient phase margin. The isolation transistor (25) provides improved capacitive drive.
摘要翻译：具有具有改进的电容驱动的米勒环路补偿网络（13）的单片运算放大器（10）。单片运算放大器（10）具有输入级（11），输出级（12）和补偿网络（13）。补偿网络（13）在输出级（12）的输出节点（19）和输出级（12）的输入节点（16）之间提供负反馈。补偿网络（13）具有补偿电容器（26），电阻器（27），隔离电阻器（33），并联电容器（28）和隔离晶体管（25）。补偿网络（13）产生具有比零更高频率的主极，零极和非主导极。非优势极提高增益裕度，同时保持足够的相位裕量。隔离晶体管（25）提供改进的电容驱动。

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