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    • 47. 发明申请
    • ATOMIC LAYER DEPOSITION FOR TURBINE COMPONENTS
    • 用于涡轮机构的原子层沉积
    • US20090098346A1
    • 2009-04-16
    • US11877271
    • 2007-10-23
    • Chien-Wei Li
    • Chien-Wei Li
    • B32B3/18
    • F01D5/284C23C16/403C23C16/45525C23C16/45555C23C28/321C23C28/3215C23C28/325C23C28/34C23C28/341C23C28/345C23C28/3455C23C28/42C23C30/00F01D5/288F05D2230/31F05D2230/313Y10T428/12576Y10T428/12597Y10T428/12611Y10T428/2462
    • A method and superalloy component for depositing a layer of material onto gas turbine engine components by atomic layer deposition. A superalloy component may have a ceramic thermal barrier coating on at least a portion of its surface, comprising a superalloy substrate and a bonding coat; and aluminum oxide (Al2O3) layer may be deposited on top of an yttria-stabilized zirconia layer and form a bonding coat by atomic layer deposition. The yttria-stabilized zirconia layer may have a plurality of micron sized gaps extending from the top surface of the ceramic coating towards the substrate and defining a plurality of columns of the yttria-stabilized zirconia layer. Also, atomic layer deposition may be used to lay an aluminum oxide (Al2O3) layer over a tantalum oxide (Ta2O5) layer on a silicon-based substrate. Using atomic layer deposition to coat the gas turbine engine components permits conformal coating of the columnar surface to permit gap expansion and contraction without sintering of the columnar surface or spalling of the coating, and form an oxidation resistant bonding coat.
    • 一种用于通过原子层沉积将材料层沉积到燃气涡轮发动机部件上的方法和超合金部件。 超级合金部件可以在其表面的至少一部分上具有陶瓷热障涂层,其包括超合金基底和粘合涂层; 并且氧化铝(Al 2 O 3)层可以沉积在氧化钇稳定的氧化锆层的顶部上,并通过原子层沉积形成粘结层。 氧化钇稳定的氧化锆层可以具有从陶瓷涂层的顶表面朝向衬底延伸的多个微米尺寸的间隙并且限定多个氧化钇稳定的氧化锆层的柱。 此外,可以使用原子层沉积在硅基衬底上的氧化钽(Ta 2 O 5)层上层叠氧化铝(Al 2 O 3)层。 使用原子层沉积来涂覆燃气涡轮发动机部件允许圆柱形表面的共形涂覆以允许间隙膨胀和收缩,而不会烧结柱状表面或剥落涂层,并形成抗氧化粘合涂层。