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    • 41. 发明授权
    • Pattern forming device and semiconductor device manufacturing method
    • 图案形成装置及半导体装置的制造方法
    • US09437414B2
    • 2016-09-06
    • US13607276
    • 2012-09-07
    • Takumi Ota
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    • H01L21/02B29C59/02B29C33/30B29C43/18B29C43/02G03F7/00B29C35/08
    • H01L21/02B29C33/30B29C43/021B29C43/18B29C2035/0827G03F7/0002
    • A pattern forming device uses a template having a plurality of protrusions and recesses configured to imprint a reverse image thereof on a resin on a substrate. The pattern forming device has a holding part, a stage, a driving part, and a curing part. The holding part includes a contact portion having a friction reducing contact portion, which is configured to engage against the template to hold the template. The stage carries the substrate. The driving part is configured to move at least one of the holding part and the stage to have the pattern in contact with the resin. The curing part cures the resin. The contact portion has a main body portion configured to move forward/backward with respect to the template and a tip portion arranged on the main body portion.
    • 图案形成装置使用具有多个突起和凹部的模板,该多个突起和凹部构造成将其反转图像压印在基板上的树脂上。 图案形成装置具有保持部,台,驱动部和固化部。 保持部包括具有摩擦减小接触部的接触部,该接触部被构造成与模板接合以保持模板。 舞台载着衬底。 所述驱动部构造成使所述保持部和所述台中的至少一个移动以使所述图案与所述树脂接触。 固化部分固化树脂。 接触部分具有相对于模板向前/后移动的主体部分和布置在主体部分上的尖端部分。