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    • 43. 发明申请
    • NON-VOLATILE SEMICONDUCTOR STORAGE DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
    • 非挥发性半导体存储器件及其制造方法
    • US20090090960A1
    • 2009-04-09
    • US12245199
    • 2008-10-03
    • Tatsuo IZUMITakeshi Kamigaichi
    • Tatsuo IZUMITakeshi Kamigaichi
    • H01L27/115H01L21/8247
    • H01L27/115H01L27/11568H01L27/11578H01L27/11582
    • A non-volatile semiconductor storage device includes: a substrate; a control circuit layer provided on the substrate; a support layer provided on the control circuit layer; and a memory cell array layer provided on the support layer. The memory cell array layer includes: a first lamination part having first insulation layers and first conductive layers alternately laminated therein; and a second lamination part provided on either the top or bottom surface of the respective first lamination part and laminated so as to form a second conductive layer between second insulation layers. The control circuit layer includes at least any one of: a row decoder driving word lines provided in the memory cell array layer, and a sense amplifier sensing and amplifying a signal from bit lines provided in the memory cell array layer.
    • 非易失性半导体存储装置包括:基板; 设置在所述基板上的控制电路层; 设置在所述控制电路层上的支撑层; 以及设置在支撑层上的存储单元阵列层。 存储单元阵列层包括:第一层叠部分,其具有交替层叠在其中的第一绝缘层和第一导电层; 以及设置在相应的第一层叠部分的顶表面或底表面上并层压以在第二绝缘层之间形成第二导电层的第二层压部件。 所述控制电路层包括以下中的至少一个:行解码器驱动设置在所述存储单元阵列层中的字线,以及读出放大器,用于感测和放大来自设置在所述存储单元阵列层中的位线的信号。