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热词
    • 12. 发明授权
    • Stitching methods using multiple microlithographic expose tools
    • 使用多个微光刻曝光工具的缝合方法
    • US08728722B2
    • 2014-05-20
    • US13196163
    • 2011-08-02
    • Robert P. FabinskiEric J. MeisenzahlJames E. DoranJoseph R. Summa
    • Robert P. FabinskiEric J. MeisenzahlJames E. DoranJoseph R. Summa
    • G03C5/06
    • G03F7/70475G03F7/70466G03F7/70633
    • A method for producing a device in one or more layers of patternable material disposed over a substrate uses multiple exposure tools having different resolution limits and maximum expose field sizes. An abutting field pattern is exposed and stitched in one layer of patternable material using one exposure tool and a first mask. A periphery pattern is then exposed in the same layer or in a different layer of patternable material using a second exposure tool and a second mask. The maximum expose field of the first exposure tool is smaller than a size of the device while the maximum expose field of the second exposure tool is at least as large as, or larger, the size of the device so that the combination of the stitched abutting field pattern and the periphery pattern forms a complete pattern in the patternable material.
    • 一种用于制造设置在衬底上的一层或多层可图案材料中的器件的方法使用具有不同分辨率极限和最大曝光场尺寸的多个曝光工具。 使用一个曝光工具和第一掩模将邻接的场图案曝光并缝合在一层可图案材料中。 然后使用第二曝光工具和第二掩模将外围图案暴露在同一层或不同的可图案材料层中。 第一曝光工具的最大曝光场小于装置的尺寸,而第二曝光工具的最大曝光场至少等于或大于装置的尺寸,使得缝合邻接的组合 场图案和周边图案在可图案材料中形成完整图案。
    • 13. 发明授权
    • CCD sensors with multiple contact patterns
    • 具有多种触点图案的CCD传感器
    • US08481358B2
    • 2013-07-09
    • US12845837
    • 2010-07-29
    • Shen Wang
    • Shen Wang
    • H01L21/00H01L27/148H01L29/765
    • H01L27/14812H01L27/14843
    • A pixel array in an image sensor includes multiple pixels. The pixel array includes vertical shift registers for shifting charge out of the pixel array. The vertical shift registers can be interspersed between the pixels, such as in an interline image sensor, or the photosensitive areas in the pixels can operate as vertical shift registers. The pixels are divided into blocks of pixels. One or more electrodes are disposed over each pixel. Conductive strips are disposed over the electrodes. Contacts are used to connect selected electrodes to respective conductive strips. The contacts in at least one block of pixels are positioned according to one contact pattern while the contacts in one or more other blocks are positioned according to a different contact pattern. The different contact patterns reduce or eliminate visible patterns in the contact locations.
    • 图像传感器中的像素阵列包括多个像素。 像素阵列包括用于将电荷从像素阵列移出的垂直移位寄存器。 垂直移位寄存器可以分散在像素之间,例如在行间图像传感器中,或者像素中的光敏区域可以作为垂直移位寄存器操作。 像素被划分成像素块。 一个或多个电极设置在每个像素上。 导电条布置在电极上。 触点用于将所选择的电极连接到相应的导电条。 至少一个像素块中的触点根据一个触点图案定位,同时一个或多个其他块中的触点根据不同的触点图案定位。 不同的接触图形减少或消除接触位置中的可见图案。