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    • 114. 发明授权
    • Method of manufacturing a magneto-resistance effect element
    • 制造磁阻效应元件的方法
    • US08671554B2
    • 2014-03-18
    • US13419198
    • 2012-03-13
    • Hideaki FukuzawaHiromi YuasaYoshihiko Fuji
    • Hideaki FukuzawaHiromi YuasaYoshihiko Fuji
    • G11B5/17H04R31/00
    • B25G1/102
    • An example method for manufacturing a magneto-resistance effect element having a magnetic layer, a free magnetization layer, and a spacer layer includes forming a first metallic layer and forming, on the first metallic layer, a second metallic layer. A first conversion treatment is performed to convert the second metallic layer into a first insulating layer and to form a first metallic portion penetrating through the first insulating layer. A third metallic layer is formed on the first insulating layer and the first metallic portion. A second conversion treatment is performed to convert the third metallic layer into a second insulating layer and to form a second metallic portion penetrating through the second insulating layer.
    • 用于制造具有磁性层,自由磁化层和间隔层的磁阻效应元件的示例性方法包括形成第一金属层,并在第一金属层上形成第二金属层。 执行第一转换处理以将第二金属层转换成第一绝缘层并形成贯穿第一绝缘层的第一金属部分。 在第一绝缘层和第一金属部分上形成第三金属层。 执行第二转换处理以将第三金属层转换成第二绝缘层并形成贯穿第二绝缘层的第二金属部分。