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    • 92. 发明授权
    • Method of manufacturing back gate triggered silicon controlled rectifiers
    • 制造背栅触发硅控整流器的方法
    • US08614121B2
    • 2013-12-24
    • US13306488
    • 2011-11-29
    • Robert J. Gauthier, Jr.Junjun Li
    • Robert J. Gauthier, Jr.Junjun Li
    • H01L21/00
    • H01L27/0262H01L29/7436
    • Back gate triggered silicon controlled rectifiers (SCR) and methods of manufacture are disclosed. The method includes forming a first diffusion type and a second diffusion type in a semiconductor layer of a silicon on insulator (SOI) substrate. The method further includes forming a back gate of a first diffusion type in a substrate under an insulator layer of the SOI substrate. The method further includes forming raised diffusion regions of a first dopant type and a second dopant type, adjacent to the second diffusion type and the first diffusion type, respectively. The back gate is formed to cover the second diffusion type, the first diffusion type and the second dopant type of the raised diffusion regions.
    • 背栅触发硅控整流器(SCR)及其制造方法。 该方法包括在绝缘体上硅(SOI)衬底的半导体层中形成第一扩散型和第二扩散型。 该方法还包括在SOI衬底的绝缘体层之下的衬底中形成第一扩散型的背栅。 该方法还包括分别形成与第二扩散型和第一扩散型相邻的第一掺杂剂类型和第二掺杂剂类型的凸起扩散区域。 后栅极形成为覆盖第二扩散型,第一扩散型和第二掺杂型的凸起扩散区。