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1. 发明专利

TW202030820A 可選擇速率的底部淨化設備及方法审中-公开
简体标题：可选择速率的底部净化设备及方法
公开(公告)号：TW202030820A
公开(公告)日：2020-08-16
申请号：TW108146357
申请日：2019-12-18
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：赫魯澤克迪恩C , HRUZEK, DEAN C. , 魯特保羅B , REUTER, PAUL B. , 荷亞納法爾迪文拉C , HOLEYANNAVAR, DEVENDRA C. , 葛帕拉克里許納史里尼法斯P , GOPALAKRISHNA, SRINIVAS P. , 席拉哈蒂拉克許米堪塔K , SHIRAHATTI, LAKSHMIKANTHA K. , 琴納薩米巴布 , CHINNASAMY, BABU , 包姆加敦道格拉斯B , BAUMGARTEN, DOUGLAS B.
IPC分类号： H01L21/67 , G05D7/00 , F16K17/20 , G06F3/048
摘要：電子裝置製造系統可包括設備前端模塊（EFEM），設備前端模塊具有被配置為接收基板載體的裝載通口組件，基板載體可以是前開式晶圓傳送盒（FOUP）。裝載通口組件可以包括接收板，接收板上可接收基板載體。接收板可以具有複數個氣體噴嘴，這些氣體噴嘴可以耦接到基板載體的底部中的淨化通口以及裝載通口組件的淨化設備。淨化設備被配置為以可選擇的氣體流速將氣體提供給基板載體，並且在一些實施例中，以可選擇的氣體流速將氣體各自提供給基板載體的不同部分。亦提供了提供可選擇的氣體流速以淨化耦接到裝載通口組件的基板載體的方法以及其他態樣。
简体摘要：电子设备制造系统可包括设备前端模块（EFEM），设备前端模块具有被配置为接收基板载体的装载通口组件，基板载体可以是前开式晶圆发送盒（FOUP）。装载通口组件可以包括接收板，接收板上可接收基板载体。接收板可以具有复数个气体喷嘴，这些气体喷嘴可以耦接到基板载体的底部中的净化通口以及装载通口组件的净化设备。净化设备被配置为以可选择的气体流速将气体提供给基板载体，并且在一些实施例中，以可选择的气体流速将气体各自提供给基板载体的不同部分。亦提供了提供可选择的气体流速以净化耦接到装载通口组件的基板载体的方法以及其他态样。

2. 发明专利

TWI701423B 反射貼紙輔助定位系統有权
简体标题：反射贴纸辅助定位系统
公开(公告)号：TWI701423B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：TW108123035
申请日：2019-07-01
申请人：東元電機股份有限公司 , TECO ELECTRIC & MACHINERY CO., LTD.
发明人：林家仁 , LIN, CHIA-JEN , 鍾承運 , CHUNG, CHENG-YUN , 許世昌 , CHEU, SHIH-CHANG , 賴俊吉 , LAI, CHUN-CHI
IPC分类号： G01C21/30 , G05D3/12

3. 发明专利

TWI700569B 劣化診斷裝置以及方法有权
简体标题：劣化诊断设备以及方法
公开(公告)号：TWI700569B
公开(公告)日：2020-08-01
申请号：TW107105702
申请日：2018-02-21
申请人：日商阿自倍爾股份有限公司 , AZBIL CORPORATION
发明人：平山文 , HIRAYAMA, HIROFUMI , 本橋勇人 , MOTOHASHI, HAYATO
IPC分类号： G05D23/19 , H05B3/00

4. 发明专利

TW202026788A 質量流控制器及控制器演算法审中-公开
简体标题：质量流控制器及控制器算法
公开(公告)号：TW202026788A
公开(公告)日：2020-07-16
申请号：TW108130159
申请日：2019-08-23
申请人：美商伊利諾工具工程公司 , ILLINOIS TOOL WORKS INC.
发明人：洛約翰 , LULL, JOHN , 貝納斯柏溫 , BANARES, BERWIN , 懷特利傑佛瑞 , WHITELEY, JEFFREY
IPC分类号： G05D7/06
摘要：一種質量流控制器，其包括一線性化系統以控制一閥之線性回應以控制該質量流控制器之增益。該線性化系統包括一流量模型化系統以用於處理與該流體經由一流徑之流量有關的一流體類型、一流動速率、一壓力及一溫度值信號中之至少一者，及判定流體性質。該線性化系統亦包括一閥模型化系統，以根據閥規格、一所要的流動速率及該等判定之流體性質判定該閥之所需操作特性。該線性化系統判定一增益以控制該閥之升程，以便獲取一所要的流體流動速率。該增益係藉由計算預測之升程關於流體流量之導數及驅動關於預測之升程之導數來判定。
简体摘要：一种质量流控制器，其包括一线性化系统以控制一阀之线性回应以控制该质量流控制器之增益。该线性化系统包括一流量模型化系统以用于处理与该流体经由一流径之流量有关的一流体类型、一流动速率、一压力及一温度值信号中之至少一者，及判定流体性质。该线性化系统亦包括一阀模型化系统，以根据阀规格、一所要的流动速率及该等判定之流体性质判定该阀之所需操作特性。该线性化系统判定一增益以控制该阀之升程，以便获取一所要的流体流动速率。该增益系借由计算预测之升程关于流体流量之导数及驱动关于预测之升程之导数来判定。

5. 发明专利

TW202026786A 物品搬送裝置审中-公开
简体标题：物品搬送设备
公开(公告)号：TW202026786A
公开(公告)日：2020-07-16
申请号：TW108143031
申请日：2019-11-27
申请人：日商大福股份有限公司 , DAIFUKU CO., LTD.
发明人：進武士 , SHIN, TAKESHI , 中江哲史 , NAKAE, TETSUJI
IPC分类号： G05D1/02 , B65G1/00 , B65G49/06
摘要：本發明的物品搬送裝置10包括：正面攝影裝置20F、左側攝影裝置20L、以及右側攝影裝置20R。正面攝影裝置20F基於比較藉由多個相機裝置21Fa、相機裝置21Fb所拍攝的攝影圖像彼此，而判定正面前方有無障礙物且算出與所述障礙物間的距離。左側攝影裝置20L與右側攝影裝置20R於自直線區段朝曲線區段移行的區域，拍攝左側前方或右側前方，而判定左側前方或右側前方有無障礙物。於與前方障礙物的距離為預先決定的臨限值以下的情形下，及於判定為於左側前方或右側前方存在障礙物的情形下，控制器15進行物品搬送裝置10與障礙物的衝撞避免處理。
简体摘要：本发明的物品搬送设备10包括：正面摄影设备20F、左侧摄影设备20L、以及右侧摄影设备20R。正面摄影设备20F基于比较借由多个相机设备21Fa、相机设备21Fb所拍摄的摄影图像彼此，而判定正面前方有无障碍物且算出与所述障碍物间的距离。左侧摄影设备20L与右侧摄影设备20R于自直线区段朝曲线区段移行的区域，拍摄左侧前方或右侧前方，而判定左侧前方或右侧前方有无障碍物。于与前方障碍物的距离为预先决定的临限值以下的情形下，及于判定为于左侧前方或右侧前方存在障碍物的情形下，控制器15进行物品搬送设备10与障碍物的冲撞避免处理。

6. 发明专利

TW202026785A 搬送車系統审中-公开
简体标题：搬送车系统
公开(公告)号：TW202026785A
公开(公告)日：2020-07-16
申请号：TW108131345
申请日：2019-08-30
申请人：日商村田機械股份有限公司 , MURATA MACHINERY, LTD.
发明人：原崎一見 , HARASAKI, KAZUMI
IPC分类号： G05D1/02
摘要：搬送車系統(1)具備有：軌道(4)；複數個搬送車(6)；複數個載置部(8)，其等在與搬送車(6)之間進行物品(10)之交接；及複數個區域控制器(50A、50B、50C)，其等從上位控制器(60)接收搬送指令，使管轄區域內之搬送車(6)執行各種指令。區域控制器(50B)若從上位控制器(60)接收到針對屬於自管轄區域之一個特殊載置部(80C)之搬送指令，便對其他區域控制器(50A)發送使空搬送車(6)朝向自管轄區域移動之移動指令，並且使於移動指令之發送後在自管轄區域內所產生之空搬送車(6)執行搬送指令。
简体摘要：搬送车系统(1)具备有：轨道(4)；复数个搬送车(6)；复数个载置部(8)，其等在与搬送车(6)之间进行物品(10)之交接；及复数个区域控制器(50A、50B、50C)，其等从上位控制器(60)接收搬送指令，使管辖区域内之搬送车(6)运行各种指令。区域控制器(50B)若从上位控制器(60)接收到针对属于自管辖区域之一个特殊载置部(80C)之搬送指令，便对其他区域控制器(50A)发送使空搬送车(6)朝向自管辖区域移动之移动指令，并且使于移动指令之发送后在自管辖区域内所产生之空搬送车(6)运行搬送指令。

7. 发明专利

TWI698729B 閥裝置、流體控制裝置、流體控制方法、半導體製造裝置及半導體製造方法有权
简体标题：阀设备、流体控制设备、流体控制方法、半导体制造设备及半导体制造方法
公开(公告)号：TWI698729B
公开(公告)日：2020-07-11
申请号：TW108125005
申请日：2019-07-16
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：佐藤龍彥 , SATO, TATSUHIKO , 中田知宏 , NAKATA, TOMOHIRO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU , 三浦尊 , MIURA, TAKERU
IPC分类号： G05D16/02 , H01L21/683

8. 实用新型

TWM597414U 溫度控制裝置有权
简体标题：温度控制设备
公开(公告)号：TWM597414U
公开(公告)日：2020-06-21
申请号：TW109202658
申请日：2020-03-10
申请人：偉林電子股份有限公司
发明人：李鎮宇 , LI, CHEN YU
IPC分类号： G05D23/30

9. 发明专利

TW202023217A 使用飛行載具之無線電訊號源的無線電波分布之量測與對應之無線電特徵之估算之方法及系統审中-公开
简体标题：使用飞行载具之无线电信号源的无线电波分布之量测与对应之无线电特征之估算之方法及系统
公开(公告)号：TW202023217A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：TW107144356
申请日：2018-12-10
申请人：財團法人工業技術研究院 , INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：溫逸倫 , WEN, YI-LUN , 戴源助 , TAI, YUAN-CHU
IPC分类号： H04B17/30 , G05D1/10
摘要：一種使用飛行載具之無線電訊號源的無線電波分布之量測與對應之無線電特徵之估算之方法及系統，此方法包括下列步驟。在一量測過程之複數個飛行位置上，飛行載具量測無線電訊號源所發出之一無線電訊號；根據此無線電訊號及一無線電通道模型，估算此無線電訊號源的位置；以及取得此無線電訊號的一無線電特徵，並根據此無線電特徵估算此無線電訊號源的一無線電波分布和該無線電波分布於空間中所對應的無線電特徵。
简体摘要：一种使用飞行载具之无线电信号源的无线电波分布之量测与对应之无线电特征之估算之方法及系统，此方法包括下列步骤。在一量测过程之复数个飞行位置上，飞行载具量测无线电信号源所发出之一无线电信号；根据此无线电信号及一无线电信道模型，估算此无线电信号源的位置；以及取得此无线电信号的一无线电特征，并根据此无线电特征估算此无线电信号源的一无线电波分布和该无线电波分布于空间中所对应的无线电特征。

10. 发明专利

TW202022268A 質量流控制器、控制器演算法及設定點濾器审中-公开
简体标题：质量流控制器、控制器算法及设置点滤器
公开(公告)号：TW202022268A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：TW108129979
申请日：2019-08-22
申请人：美商伊利諾工具工程公司 , ILLINOIS TOOL WORKS INC.
发明人：洛約翰 , LULL, JOHN , 貝納斯柏溫 , BANARES, BERWIN , 懷特利傑佛瑞 , WHITELEY, JEFFREY
IPC分类号： F16K31/00 , G05B17/02 , G05D7/06
摘要：一種閥控制系統，其包括用於控制一閥之線性回應之一增益控制器。該系統包括：一線性化控制系統，其耦接至該增益控制器以判定一增益值以控制該閥之線性回應時間；及一設定點濾器，其耦接至該線性化控制系統以濾波一設定點值。該線性化控制系統自該經濾波設定點值、至少一個即時流體參數值、閥模型資料、一致動器增益及一閥模型增益判定該增益值。
简体摘要：一种阀控制系统，其包括用于控制一阀之线性回应之一增益控制器。该系统包括：一线性化控制系统，其耦接至该增益控制器以判定一增益值以控制该阀之线性回应时间；及一设置点滤器，其耦接至该线性化控制系统以滤波一设置点值。该线性化控制系统自该经滤波设置点值、至少一个实时流体参数值、阀模型数据、一致动器增益及一阀模型增益判定该增益值。

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