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1. 发明专利

TW201910924A 偏光影像取得裝置、圖案檢查裝置、偏光影像取得方法、及圖案檢查方法审中-公开
简体标题：偏光影像取得设备、图案检查设备、偏光影像取得方法、及图案检查方法
公开(公告)号：TW201910924A
公开(公告)日：2019-03-16
申请号：TW107118867
申请日：2018-06-01
申请人：日商紐富來科技股份有限公司 , NUFLARE TECHNOLOGY, INC.
发明人：小川力 , OGAWA, RIKI
IPC分类号： G03F7/20 , G02B21/02 , G02B21/26 , G02B21/36 , G02B27/12 , G02B27/28
摘要：本發明的一態樣的偏光影像取得裝置，具備：在與通過對物透鏡的光的進行方向垂直的面內旋轉對稱4n等分的4n個區域之中，將通過對物透鏡的光的通過區域縮小至包夾中心軸而互相成為相反側的位置關係的2個區域，同時使4n個區域以每2個依序成為通過區域的方式變更通過區域的角度的可旋轉光圈；在通過區域的每個角度，將通過光圈的相對於通過區域的角度為同方向的P偏光成分與垂直方向的S偏光成分，變換成預先設定的垂直的第1及第2方向的偏向波的旋轉型1/2波長板。
简体摘要：本发明的一态样的偏光影像取得设备，具备：在与通过对物透镜的光的进行方向垂直的面内旋转对称4n等分的4n个区域之中，将通过对物透镜的光的通过区域缩小至包夹中心轴而互相成为相反侧的位置关系的2个区域，同时使4n个区域以每2个依序成为通过区域的方式变更通过区域的角度的可旋转光圈；在通过区域的每个角度，将通过光圈的相对于通过区域的角度为同方向的P偏光成分与垂直方向的S偏光成分，变换成预先设置的垂直的第1及第2方向的偏向波的旋转型1/2波长板。

2. 发明专利

TW201802431A 量測用於微影方法之光罩的量測顯微鏡以及其之量測方法與校正方法审中-公开
简体标题：量测用于微影方法之光罩的量测显微镜以及其之量测方法与校正方法
公开(公告)号：TW201802431A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：TW106108876
申请日：2017-03-17
申请人：卡爾蔡司SMT有限公司 , CARL ZEISS SMT GMBH
发明人：耶克爾奧立弗 , 貝斯班格特卡羅拉 , 賽德爾德克 , SEIDEL, DIRK
IPC分类号： G01B11/24 , G01N21/45 , G02B21/36 , G03F1/82
CPC分类号： G02B21/365 , G01B11/2441 , G01N21/45 , G01N2021/458 , G03F1/84 , G03F7/00
摘要：本發明關於一種用以校正可用於量測光罩(7)的量測顯微鏡(1)的方法，其中在一自校正演算法中使用一校正光罩，以確定量測顯微鏡的誤差修正資料，其中在自校正演算法中，在量測顯微鏡中的各個位置成像及量測校正光罩以確定誤差修正資料的一或多個部分，其中校正光罩的表面輪廓在決定誤差修正時確定並使用。此外，本發明關於量測顯微鏡及用以操作量測顯微鏡的方法。
简体摘要：本发明关于一种用以校正可用于量测光罩(7)的量测显微镜(1)的方法，其中在一自校正算法中使用一校正光罩，以确定量测显微镜的误差修正数据，其中在自校正算法中，在量测显微镜中的各个位置成像及量测校正光罩以确定误差修正数据的一或多个部分，其中校正光罩的表面轮廓在决定误差修正时确定并使用。此外，本发明关于量测显微镜及用以操作量测显微镜的方法。

3. 发明专利

TWI600924B 量測非球面及其他非平面表面凹凸形狀之方法有权
简体标题：量测非球面及其他非平面表面凹凸形状之方法
公开(公告)号：TWI600924B
公开(公告)日：2017-10-01
申请号：TW105127398
申请日：2015-01-09
申请人：賽格股份有限公司 , ZYGO CORPORATION
发明人：德勒澤爾湯瑪士 , DRESEL, THOMAS , 萊森納揚 , LIESENER, JAN , 古魯特彼得J , GROOT, PETER J.
IPC分类号： G02B21/36 , G02B21/00 , G01B11/00 , G01B11/30 , G01M11/00 , G01B9/04
CPC分类号： G02B21/367 , G01B9/02072 , G01B9/02085 , G01B9/04 , G01B11/2441 , G01B11/2522 , G01B2210/52 , G01M11/025 , G01M11/0271 , G02B21/002 , G02B21/008 , G02B21/26

4. 发明专利

TWI581003B 用於手術顯微鏡的立體影像顯示裝置有权
简体标题：用于手术显微镜的三維影像显示设备
公开(公告)号：TWI581003B
公开(公告)日：2017-05-01
申请号：TW104129277
申请日：2015-09-04
申请人：秀傳醫療社團法人秀傳紀念醫院 , SHOW CHWAN MEMORIAL HOSPITAL
发明人：古鳴洲 , 劉楷哲 , 林焜尉 , 古奕方 , 詹世基 , 王通溫 , 李易俊 , 王翔群
IPC分类号： G02B21/36 , A61B90/00

5. 发明专利

TW201626043A 用於就地基因分析的光學掃描系統审中-公开
简体标题：用于就地基因分析的光学扫描系统
公开(公告)号：TW201626043A
公开(公告)日：2016-07-16
申请号：TW104133986
申请日：2015-10-16
申请人：伊路米納有限公司 , ILLUMINA, INC.
发明人：馮文毅 , FENG, WENYI
IPC分类号： G02B21/36 , G02B21/34 , G01N21/64
CPC分类号： G02B21/361 , G02B21/006 , G02B21/0076 , G02B21/008 , G02B21/362 , H04N5/2253 , H04N5/2254 , H04N5/232
摘要：本發明揭示的是進行定序的系統和方法，包括螢光就地定序。於一具體態樣，共焦的時間延遲和積分(TDI)線掃描成像系統可以包括在影像感測器的前方之多樣的針孔和/或狹縫孔洞機構。系統也可以包括在基板上具有聚焦條帶的結構，其接觸要成像的組織樣品。替代而言，這些條帶可以切入組織樣品裡。系統也可以包括以下組態和方法：在流動格室的組裝期間將組織樣品放置在流動格室的反應腔室裡，然後在組織樣品上進行化學操作。流動格室可以使用開放容器以在組織樣品上進行化學操作。
简体摘要：本发明揭示的是进行定序的系统和方法，包括萤光就地定序。于一具体态样，共焦的时间延迟和积分(TDI)线扫描成像系统可以包括在影像传感器的前方之多样的针孔和/或狭缝孔洞机构。系统也可以包括在基板上具有聚焦条带的结构，其接触要成像的组织样品。替代而言，这些条带可以切入组织样品里。系统也可以包括以下组态和方法：在流动格室的组装期间将组织样品放置在流动格室的反应腔室里，然后在组织样品上进行化学操作。流动格室可以使用开放容器以在组织样品上进行化学操作。

6. 发明专利

TW201539031A 量測非球面及其他非平面表面凹凸形狀之方法审中-公开
简体标题：量测非球面及其他非平面表面凹凸形状之方法
公开(公告)号：TW201539031A
公开(公告)日：2015-10-16
申请号：TW104100683
申请日：2015-01-09
申请人：賽格股份有限公司 , ZYGO CORPORATION
发明人：德勒澤爾湯瑪士 , DRESEL, THOMAS , 萊森納揚 , LIESENER, JAN , 古魯特彼得J , GROOT, PETER J.
IPC分类号： G02B21/36 , G02B21/00 , G01B11/00 , G01B11/30 , G01M11/00 , G01B9/04
CPC分类号： G02B21/367 , G01B9/02072 , G01B9/02085 , G01B9/04 , G01B11/2441 , G01B11/2522 , G01B2210/52 , G01M11/025 , G01M11/0271 , G02B21/002 , G02B21/008 , G02B21/26
摘要：產生一非平面表面的一合成影像，包括：使用一顯微鏡獲得該非平面表面中不同區域的多個影像，每個影像包含和至少一鄰近影像重疊的一區域，具有足夠解析度的該顯微鏡對該非平面表面上的一微結構進行三維取像，該微結構具有十微米或更小的一側向尺寸與十微米或更小的一高度；對於該些影像每個，以共用座標系統，決定關於在該影像中該測試物體的一位置與一方向的一組剛體(Rigid body)參數，且該組剛體參數由在該影像的該重疊區域所解析出的該微結構與該鄰近影像的該重疊區域相應的該微結構所配適決定；以及基於該些組剛體參數組合該些影像以產生一合成影像。
简体摘要：产生一非平面表面的一合成影像，包括：使用一显微镜获得该非平面表面中不同区域的多个影像，每个影像包含和至少一邻近影像重叠的一区域，具有足够分辨率的该显微镜对该非平面表面上的一微结构进行三维取像，该微结构具有十微米或更小的一侧向尺寸与十微米或更小的一高度；对于该些影像每个，以共享座标系统，决定关于在该影像中该测试物体的一位置与一方向的一组刚体(Rigid body)参数，且该组刚体参数由在该影像的该重叠区域所解析出的该微结构与该邻近影像的该重叠区域相应的该微结构所配适决定；以及基于该些组刚体参数组合该些影像以产生一合成影像。

7. 发明专利

TWI500963B 一種取像裝置與方法有权
简体标题：一种取像设备与方法
公开(公告)号：TWI500963B
公开(公告)日：2015-09-21
申请号：TW099121180
申请日：2010-06-29
申请人：致茂電子股份有限公司 , CHROMA ATE INC.
发明人：林裕軒 , 潘世耀 , 宋新岳 , 張維哲 , 簡宏達
IPC分类号： G02B21/36
CPC分类号： G01B11/24 , G01B11/2441

8. 发明专利

TW201446008A 遠端微物監測系統审中-公开
简体标题：远程微物监测系统
公开(公告)号：TW201446008A
公开(公告)日：2014-12-01
申请号：TW102117382
申请日：2013-05-16
申请人：先衛電子股份有限公司 , EBELL ELECTRONIC CO., LTD.
发明人：莊千紅
IPC分类号： H04N7/18 , G02B21/00 , G02B21/36
摘要：本發明係有關於一種遠端微物監測系統，其主要係設有網路視訊錄影機〔Ｎｅｔｗｏｒｋ　Ｖｉｄｅｏ　Ｒｅｃｏｒｄｅｒ，ＮＶＲ〕，對應該網路視訊錄影機設有至少一攝影單元，攝影單元與網路視訊錄影機進行連線，於該攝影單元連接有觀察裝置，以利用觀察裝置供進行各種微物觀察，另於該網路視訊錄影機連接有路由器〔Ｒｏｕｔｅｒ〕，以令網路視訊錄影機利用路由器進行網路連線，而讓電腦設備能經由網路與該網路視訊錄影機連線，以觀看由攝影單元所拍攝的微物觀察畫面；藉此，不僅能進行遠端觀察，不受待觀察物品所在環境影響，且可供多人同時於接收畫面進行觀察，能更具有長時間觀察上之方便性，而在其整體施行使用上更增實用功效特性者。
简体摘要：本发明系有关于一种远程微物监测系统，其主要系设有网络视频录像机〔Ｎｅｔｗｏｒｋ　Ｖｉｄｅｏ　Ｒｅｃｏｒｄｅｒ，ＮＶＲ〕，对应该网络视频录像机设有至少一摄影单元，摄影单元与网络视频录像机进行连接，于该摄影单元连接有观察设备，以利用观察设备供进行各种微物观察，另于该网络视频录像机连接有路由器〔Ｒｏｕｔｅｒ〕，以令网络视频录像机利用路由器进行网络连接，而让电脑设备能经由网络与该网络视频录像机连接，以观看由摄影单元所拍摄的微物观察画面；借此，不仅能进行远程观察，不受待观察物品所在环境影响，且可供多人同时于接收画面进行观察，能更具有长时间观察上之方便性，而在其整体施行使用上更增实用功效特性者。

9. 发明专利

TW201428339A 傅利葉重疊關聯成像系統，裝置及方法审中-公开
简体标题：傅利叶重叠关联成像系统，设备及方法
公开(公告)号：TW201428339A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：TW102139192
申请日：2013-10-29
申请人：美國加州工藝技術協會 , CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY
发明人：鄭國安 , ZHENG, GUOAN , 楊昌輝 , YANG, CHANGHUEI , 霍斯梅爾洛爾克 , HORSTMEYER, ROARKE
IPC分类号： G02B21/36 , H04N5/349 , G06T3/40
CPC分类号： G21K7/00 , G02B21/002 , G02B21/365 , G02B21/367 , G02B27/58 , G06K9/00134
摘要：發明係關於傅利葉重疊關聯(ptychographic)成像之系統、裝置及方法，其等藉由反覆更新傅利葉空間中之經可變照明、低解析度強度影像之重疊區域而計算重新建構一高解析度影像。
简体摘要：发明系关于傅利叶重叠关联(ptychographic)成像之系统、设备及方法，其等借由反复更新傅利叶空间中之经可变照明、低分辨率强度影像之重叠区域而计算重新建构一高分辨率影像。

10. 发明专利

TWI403756B 三維同調斷層式共焦顯微成像裝置有权
简体标题：三维同调断层式共焦显微成像设备
公开(公告)号：TWI403756B
公开(公告)日：2013-08-01
申请号：TW099120029
申请日：2010-06-18
申请人：國立台灣大學 , NATIONAL TAIWAN UNIVERSITY
发明人：蔡建中 , TSAI, CHIEN CHUNG , 許光裕 , HSU, KUANG YU , 林晏聖 , LIN, YEN SHENG , 黃升龍 , HUANG, SHENG LUNG
IPC分类号： G02B21/00 , G02B21/36
CPC分类号： G01B9/02042 , G01B9/02005 , G01B9/02091 , G01B2290/45

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