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    • 2. 发明专利
    • 被加工物之內部檢測裝置及內部檢測方法
    • 被加工物之内部检测设备及内部检测方法
    • TW201738556A
    • 2017-11-01
    • TW106105319
    • 2017-02-17
    • 迪思科股份有限公司DISCO CORPORATION
    • 中村勝NAKAMURA, MASARU
    • G01N21/90G01N21/17
    • 本發明之應解決的課題係提供實際上不分割晶圓而可以檢測出藉由對被加工物照射雷射光線被形成在內部之加工痕的被加工物之內部檢測方法,及內部檢測裝置。若藉由本發明時,提供一種檢測出藉由對被加工物照射雷射光線被形成在內部之加工痕的被加工物之內部檢測裝置,其係至少由保持被加工物之保持手段;對該被加工物照射具備相對於該被加工物具有穿透性之波長之光之照明手段;和攝影該被加工物之攝影手段;及與該被加工物之側面相向而被配設,反射來自該側面之光而引導至該攝影手段之反射鏡所構成之被加工物之內部檢測裝置,及檢測出藉由對被加工物照射雷射光線而被形成在內部之加工痕的被加工物之內部檢測方法,提供一種被加工物之內部檢測方法,其包含:保持工程,其係將被加工物保持在保持手段;照明工程,其係對該被加工物照射具備相對於該被加工物具有穿透性之波長的光;反射鏡定位工程,其係與被保持在該保持手段之該被加工物之側面相向而定位反射鏡,反射來自該側面之光而引導至攝影手段;及加工痕檢測工程,其係以該攝影手段攝影該被加工物之側面,檢測出被形成在該被加工物之內部的該加工痕。
    • 本发明之应解决的课题系提供实际上不分割晶圆而可以检测出借由对被加工物照射激光光线被形成在内部之加工痕的被加工物之内部检测方法,及内部检测设备。若借由本发明时,提供一种检测出借由对被加工物照射激光光线被形成在内部之加工痕的被加工物之内部检测设备,其系至少由保持被加工物之保持手段;对该被加工物照射具备相对于该被加工物具有穿透性之波长之光之照明手段;和摄影该被加工物之摄影手段;及与该被加工物之侧面相向而被配设,反射来自该侧面之光而引导至该摄影手段之反射镜所构成之被加工物之内部检测设备,及检测出借由对被加工物照射激光光线而被形成在内部之加工痕的被加工物之内部检测方法,提供一种被加工物之内部检测方法,其包含:保持工程,其系将被加工物保持在保持手段;照明工程,其系对该被加工物照射具备相对于该被加工物具有穿透性之波长的光;反射镜定位工程,其系与被保持在该保持手段之该被加工物之侧面相向而定位反射镜,反射来自该侧面之光而引导至摄影手段;及加工痕检测工程,其系以该摄影手段摄影该被加工物之侧面,检测出被形成在该被加工物之内部的该加工痕。