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2. 发明专利

TW201811514A 基板處理裝置审中-公开
简体标题：基板处理设备
公开(公告)号：TW201811514A
公开(公告)日：2018-04-01
申请号：TW106123233
申请日：2017-07-11
申请人：布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人：曾文森 , TSANG, VINCENT , 蘇查爾斯 , SU, CHARLES W.
IPC分类号： B25J9/04 , B25J9/10 , F16H19/00 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/68707 , B25J9/043 , B25J9/104 , B25J9/1682 , F16H19/005 , F16H35/18 , H01L21/67167 , H01L21/67196 , H01L21/67742
摘要：一種基板處理裝置，包括：機架；第一SCARA手臂，連接於機架，第一SCARA手臂具有末端執行器且建構成沿著第一徑向軸線伸出及縮回；第二SCARA手臂，連接於機架，第二SCARA手臂具有末端執行器且建構成沿著第二徑向軸線伸出及縮回；驅動段，包括：分裂驅動滑輪，可旋轉地安裝成在驅動段之旋轉軸線處旋轉，旋轉軸線係由第一SCARA手臂及第二SCARA手臂共用，分裂驅動滑輪係藉由個別傳動帶分段之個別分段式傳動迴路耦合於至少兩惰輪，使得分裂驅動滑輪係在至少兩惰輪之間分裂驅動段之自由度的共同滑輪，以便於從驅動段之自由度來共同驅動至少兩惰輪，其中，個別傳動迴路之至少一傳動帶共用共同傳動帶界面層。
简体摘要：一种基板处理设备，包括：机架；第一SCARA手臂，连接于机架，第一SCARA手臂具有末端运行器且建构成沿着第一径向轴线伸出及缩回；第二SCARA手臂，连接于机架，第二SCARA手臂具有末端运行器且建构成沿着第二径向轴线伸出及缩回；驱动段，包括：分裂驱动滑轮，可旋转地安装成在驱动段之旋转轴线处旋转，旋转轴线系由第一SCARA手臂及第二SCARA手臂共享，分裂驱动滑轮系借由个别传动带分段之个别分段式传动回路耦合于至少两惰轮，使得分裂驱动滑轮系在至少两惰轮之间分裂驱动段之自由度的共同滑轮，以便于从驱动段之自由度来共同驱动至少两惰轮，其中，个别传动回路之至少一传动带共享共同传动带界面层。

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