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    • 2. 发明专利
    • 抗蝕塗料及其製備方法
    • 抗蚀涂料及其制备方法
    • TW201538791A
    • 2015-10-16
    • TW103127094
    • 2014-08-07
    • 弘運鋼鐵工業股份有限公司GREAT FORTUNE STEEL CO., LTD
    • 郭毓倫KUO, YULUN
    • C23C22/06C23C22/48C07F7/18C07F7/28B05D7/14B05D1/38B05D3/00B05D5/00
    • 本發明提供一種抗蝕塗料的製備方法,包括加入一矽烷化合物於水中形成一第一反應液,矽烷化合物具有下列式(I)的化學式: 在式(I)中,n為1到6之整數,其中A1為, A2為或,R1係獨立選自碳數為1~3之烷基。接著,加熱攪拌第一反應液令使矽烷化合物進行一水解反應,再加入一鈦酸鹽於第一反應液中形成一第二反應液。鈦酸鹽具有下列式(II)的化學式: 在式(II)中,m為1到4之整數,其中R2係獨立選自碳數為1~12之烷基,而R3係獨立選自碳數為1~12之羥基烷基。最後加熱攪拌第二反應液以進行一縮合反應,鈦酸鹽與矽烷化合物將形成一鈦-氧-矽鍵結。
    • 本发明提供一种抗蚀涂料的制备方法,包括加入一硅烷化合物于水中形成一第一反应液,硅烷化合物具有下列式(I)的化学式: 在式(I)中,n为1到6之整数,其中A1为, A2为或,R1系独立选自碳数为1~3之烷基。接着,加热搅拌第一反应液令使硅烷化合物进行一水解反应,再加入一钛酸盐于第一反应液中形成一第二反应液。钛酸盐具有下列式(II)的化学式: 在式(II)中,m为1到4之整数,其中R2系独立选自碳数为1~12之烷基,而R3系独立选自碳数为1~12之羟基烷基。最后加热搅拌第二反应液以进行一缩合反应,钛酸盐与硅烷化合物将形成一钛-氧-硅键结。