会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 1. 发明专利
    • 雷射切割方法
    • 激光切割方法
    • TW202030044A
    • 2020-08-16
    • TW108103963
    • 2019-01-31
    • 長豐光學科技股份有限公司LASER MECHANISMS TAIWAN LTD.
    • 陳柏廷CHEN, PO-TING林正祥LIN, CHENG-HSIANG
    • B23K26/38
    • 本發明雷射切割方法用以對加工物件進行雷射切割以形成標的圖形,並包含以下步驟:送料機構透過帶動加工物件進行移動來產生移動訊息,並將移動訊息傳遞至運算機構;將切割路徑傳遞至運算機構,使運算機構運算切割路徑與移動訊息而產生補償切割路徑,並將補償切割路徑傳遞至位置固定的雷射切割機構;雷射切割機構投射雷射光束至正在進行移動的加工物件,而雷射切割機構依據補償切割路徑而持續改變雷射光束投射至加工物件的投射方向,使加工物件受到雷射光束切割而形成標的圖形,藉此,雷射切割機構對加工物件進行雷射切割時,加工物件依然進行移動而不會停止,進而縮短加工時間,相對而提高生產效率。
    • 本发明激光切割方法用以对加工对象进行激光切割以形成标的图形,并包含以下步骤:送料机构透过带动加工对象进行移动来产生移动消息,并将移动消息传递至运算机构;将切割路径传递至运算机构,使运算机构运算切割路径与移动消息而产生补偿切割路径,并将补偿切割路径传递至位置固定的激光切割机构;激光切割机构投射激光光束至正在进行移动的加工对象,而激光切割机构依据补偿切割路径而持续改变激光光束投射至加工对象的投射方向,使加工对象受到激光光束切割而形成标的图形,借此,激光切割机构对加工对象进行激光切割时,加工对象依然进行移动而不会停止,进而缩短加工时间,相对而提高生产效率。
    • 8. 发明专利
    • 晶圓加工方法
    • 晶圆加工方法
    • TW201839829A
    • 2018-11-01
    • TW107113757
    • 2018-04-23
    • 日商迪思科股份有限公司DISCO CORPORATION
    • 桐原直俊KIRIHARA, NAOTOSHI
    • H01L21/302B23K26/38
    • [課題]提供晶圓加工方法, 依據該方法,不會有碎片飛散而造成光元件品質低劣的問題,並且能解決下述問題:連續形成改質層並施以外力將晶圓分割成一個個光元件時,不能從正面向背面傾斜地分割而形成垂直式側壁的問題;以及連續形成潛盾通道時,因先前形成的潛盾通道導致下一道雷射光線散射,使正面所形成的發光層損傷的問題。[解決手段] 一種晶圓加工方法,包含:潛盾通道形成步驟,將對藍寶石基板具穿透性波長的脈衝雷射光線之聚光點從晶圓背面定位於和分割預定線對應的區域,且將脈衝雷射光線照射於晶圓,將由複數個細孔及圍繞各細孔的非晶質所形成的複數潛盾通道按預定間隔形成分割預定線;改質層形成步驟,將對藍寶石基板具穿透性波長的脈衝雷射光線之聚光點從晶圓背面定位於分割預定線内部,且將脈衝雷射光線照射於晶圓,而在鄰接的潛盾通道間形成改質層;及分割步驟,對晶圓施以外力將晶圓分割成複數個光元件晶片。
    • [课题]提供晶圆加工方法, 依据该方法,不会有碎片飞散而造成光组件品质低劣的问题,并且能解决下述问题:连续形成改质层并施以外力将晶圆分割成一个个光组件时,不能从正面向背面倾斜地分割而形成垂直式侧壁的问题;以及连续形成潜盾信道时,因先前形成的潜盾信道导致下一道激光光线散射,使正面所形成的发光层损伤的问题。[解决手段] 一种晶圆加工方法,包含:潜盾信道形成步骤,将对蓝宝石基板具穿透性波长的脉冲激光光线之聚光点从晶圆背面定位于和分割预定线对应的区域,且将脉冲激光光线照射于晶圆,将由复数个细孔及围绕各细孔的非晶质所形成的复数潜盾信道按预定间隔形成分割预定线;改质层形成步骤,将对蓝宝石基板具穿透性波长的脉冲激光光线之聚光点从晶圆背面定位于分割预定线内部,且将脉冲激光光线照射于晶圆,而在邻接的潜盾信道间形成改质层;及分割步骤,对晶圆施以外力将晶圆分割成复数个光组件芯片。