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1. 发明专利

TW201546456A 用於將掃描顯微裝置之探針端移向樣品表面之方法及裝置审中-公开
简体标题：用于将扫描显微设备之探针端移向样品表面之方法及设备
公开(公告)号：TW201546456A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：TW104113398
申请日：2015-04-27
申请人：荷蘭TNO自然科學組織公司 , NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO
发明人：沙地海恩瑪納尼哈美德 , SADEGHIAN MARNANI, HAMED , 卡美爾葛利登F I , KRAMER, GEERTEN FRANS IJSBRAND , 范登杜爾登尼斯C , VAN DEN DOOL, TEUNIS CORNELIS
IPC分类号： G01Q10/00
CPC分类号： G01Q10/06 , B82Y35/00
摘要：本發明係針對一種將一掃描顯微裝置之一探針的一探針端移向一樣品表面之方法。該掃描顯微裝置包含用於掃描該樣品表面以對映該樣品表面上之奈米結構的該探針。該探針之該探針端安裝於經配置成使該探針端與該樣品表面接觸的一懸臂上。該方法包含：藉由一控制器控制該裝置之一致動器系統以用於將該探針移至該樣品表面；及藉由該控制器接收指示該探針之至少一操作參數的一感測器信號，以用於提供回饋以執行該控制。該方法進一步包含：在該控制期間，在該樣品表面與該探針端之間維持一電場；及評估指示該至少一操作參數之該感測器信號以用於判定藉由該電場對該探針的一影響，以用於判定該樣品表面相對於該探針端之近接性。本發明進一步針對一種掃描顯微裝置，其包含用於掃描一樣品表面以對映其上之奈米結構的一探針。
简体摘要：本发明系针对一种将一扫描显微设备之一探针的一探针端移向一样品表面之方法。该扫描显微设备包含用于扫描该样品表面以映射该样品表面上之奈米结构的该探针。该探针之该探针端安装于经配置成使该探针端与该样品表面接触的一悬臂上。该方法包含：借由一控制器控制该设备之一致动器系统以用于将该探针移至该样品表面；及借由该控制器接收指示该探针之至少一操作参数的一传感器信号，以用于提供回馈以运行该控制。该方法进一步包含：在该控制期间，在该样品表面与该探针端之间维持一电场；及评估指示该至少一操作参数之该传感器信号以用于判定借由该电场对该探针的一影响，以用于判定该样品表面相对于该探针端之近接性。本发明进一步针对一种扫描显微设备，其包含用于扫描一样品表面以映射其上之奈米结构的一探针。

2. 发明专利

TW201520557A 原子力顯微鏡系統及其決定邊界點的掃描方法、掃描樣本的方法审中-公开
简体标题：原子力显微镜系统及其决定边界点的扫描方法、扫描样本的方法
公开(公告)号：TW201520557A
公开(公告)日：2015-06-01
申请号：TW102142894
申请日：2013-11-25
申请人：國立臺灣大學 , NATIONAL TAIWAN UNIVERSITY
发明人：傅立成 , FU, LI CHEN , 吳俊緯 , WU, JIM WEI , 陳志烈 , CHEN, CHIH LIEH , 林奕廷 , LIN, YI TING , 羅宇廷 , LO, YU TING
IPC分类号： G01Q10/00 , G01Q60/24
摘要：一種掃描一樣本的方法，該方法包含下列步驟：以一第一弦波軌跡掃描該樣本之一第一區域。自該第一弦波軌跡掃描該第一區域之一實際路徑與該樣本之關係，而獲得一第一區域參數。以該第一區域參數預測掃描該樣本之一第二區域之一第二弦波軌跡。以該第二弦波軌跡掃描該第二區域。
简体摘要：一种扫描一样本的方法，该方法包含下列步骤：以一第一弦波轨迹扫描该样本之一第一区域。自该第一弦波轨迹扫描该第一区域之一实际路径与该样本之关系，而获得一第一区域参数。以该第一区域参数预测扫描该样本之一第二区域之一第二弦波轨迹。以该第二弦波轨迹扫描该第二区域。

3. 发明专利

TWI519791B 用於一光學輔助原子力顯微鏡系統的掃描樣本的方法及其裝置有权
简体标题：用于一光学辅助原子力显微镜系统的扫描样本的方法及其设备
公开(公告)号：TWI519791B
公开(公告)日：2016-02-01
申请号：TW102142894
申请日：2013-11-25
申请人：國立臺灣大學 , NATIONAL TAIWAN UNIVERSITY
发明人：傅立成 , FU, LI CHEN , 吳俊緯 , WU, JIM WEI , 陳志烈 , CHEN, CHIH LIEH , 林奕廷 , LIN, YI TING , 羅宇廷 , LO, YU TING
IPC分类号： G01Q10/00 , G01Q60/24

5. 发明专利

TWI388834B 用於原子力顯微鏡或奈米微影術之探針、原子力顯微鏡、以及自具有奈米特徵圖案之樣本之掃描區域中收集影像資料的方法失效
简体标题：用于原子力显微镜或奈米微影术之探针、原子力显微镜、以及自具有奈米特征图案之样本之扫描区域中收集影像数据的方法
公开(公告)号：TWI388834B
公开(公告)日：2013-03-11
申请号：TW094101142
申请日：2005-01-14
申请人：因費尼泰司馬有限公司 , INFINITESIMA LIMITED
发明人：麥爾斯馬文約翰 , MILES, MERVYN JOHN , 休飛爾斯安卓大衛拉弗 , HUMPHRIS, ANDREW DAVID LAVER , 霍伯斯詹米凱納 , HOBBS, JAMIE KAYNE
IPC分类号： G01Q10/00

6. 发明专利

TWI666450B 用於將掃描顯微裝置之探針端移向樣品表面之方法及裝置有权
简体标题：用于将扫描显微设备之探针端移向样品表面之方法及设备
公开(公告)号：TWI666450B
公开(公告)日：2019-07-21
申请号：TW104113398
申请日：2015-04-27
申请人：荷蘭商荷蘭TNO自然科學組織公司 , NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO
发明人：沙地海恩瑪納尼哈美德 , SADEGHIAN MARNANI, HAMED , 卡美爾葛利登F I , KRAMER, GEERTEN FRANS IJSBRAND , 范登杜爾登尼斯C , VAN DEN DOOL, TEUNIS CORNELIS
IPC分类号： G01Q10/00

7. 发明专利

TW201606309A 在基板表面操作掃描探測顯微鏡之系統及方法审中-公开
简体标题：在基板表面操作扫描探测显微镜之系统及方法
公开(公告)号：TW201606309A
公开(公告)日：2016-02-16
申请号：TW104120899
申请日：2015-06-29
申请人：荷蘭TNO自然科學組織公司 , NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO
发明人：賽德克海馬納尼哈米德 , SADEGHIAN MARNANI, HAMED , 溫特斯賈斯伯 , WINTERS, JASPER , 克羅科姆威廉愛德華 , CROWCOMBE, WILLIAM EDWARD , 范登杜突尼斯康尼里斯 , VAN DEN DOOL, TEUNIS CORNELIS , 克拉默吉爾登法蘭斯伊斯布蘭德 , KRAMER, GEERTEN FRANS IJSBRAND
IPC分类号： G01Q10/00
CPC分类号： G01Q10/04 , B82Y35/00 , G01Q10/06 , G01Q70/02 , G01Q70/06
摘要：本發明係指一種使用掃描探測顯微鏡系統在基板表面操作掃描探測顯微鏡之方法，該系統包含至少一探測頭，該探測頭包括經配置於一懸臂上之一探測尖端、及用於判定該探測尖端在沿橫截於一像平面之一z方向上位置的一尖端位置偵測器，該方法包括：相對於該基板表面定位該至少一探測頭；使該探測尖端與該基板表面在平行於該像平面之一個或更多方向上互相相對移動，以藉該探測尖端掃描該基板表面；及在該掃描期間判定該探測尖端與該尖端位置偵測器之位置，以映射該基板表面上之奈米結構；其中該定位步驟係藉置放該至少一探測頭於一靜態托架表面上而實施。
简体摘要：本发明系指一种使用扫描探测显微镜系统在基板表面操作扫描探测显微镜之方法，该系统包含至少一探测头，该探测头包括经配置于一悬臂上之一探测尖端、及用于判定该探测尖端在沿横截于一像平面之一z方向上位置的一尖端位置侦测器，该方法包括：相对于该基板表面定位该至少一探测头；使该探测尖端与该基板表面在平行于该像平面之一个或更多方向上互相相对移动，以藉该探测尖端扫描该基板表面；及在该扫描期间判定该探测尖端与该尖端位置侦测器之位置，以映射该基板表面上之奈米结构；其中该定位步骤系藉置放该至少一探测头于一静态托架表面上而实施。

8. 发明专利

TWI472471B 多軸致動裝置有权
简体标题：多轴致动设备
公开(公告)号：TWI472471B
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：TW100119673
申请日：2011-06-03
申请人：中央研究院 , ACADEMIA SINICA
发明人：胡恩德 , HWU, EN TE , 黃英碩 , HWANG, ING SHOUH
IPC分类号： B81B5/00 , H01L41/09 , G01Q10/00
CPC分类号： G01Q10/04

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