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    • 3. 发明专利
    • 用於在一幫浦中一機械活塞之位置控制之系統及方法
    • 用于在一帮浦中一机械活塞之位置控制之系统及方法
    • TW201350680A
    • 2013-12-16
    • TW102126755
    • 2006-11-21
    • 恩特葛瑞斯公司ENTEGRIS, INC.
    • 喬治 康乃拉GEORGE, GONNELLA詹姆士 賽隆JAMES, CEDRONE伊拉 賈西蓋IRAJ, GASHGAEE
    • F04B49/06F04B23/00F04B25/00
    • F04B49/065F04B13/00F04B17/03F04B43/0081F04B43/02F04B2201/0201F04B2201/1208
    • 本文中所揭示之系統及方法之實施例利用一無刷DC馬達(BLDCM)以在一幫浦系統中驅動一單級或一多級幫浦,以用於進行適用於半導體製造中的即時平穩運動及對流體移動與施配量之極精確並可重複的位置控制。該BLDCM可採用一位置感應器以用於對一執行一定製場導向控制機制之處理器的即時位置回饋。本發明之實施例可藉由根據基礎功能之決定性條件(criticality)而經由一定製控制機制來增加及減小該BLDCM之操作頻率而在無不良地損害施配幫浦之精確位置控制的情況下減少熱產生。該控制機制可在維持一恆定速度的同時使該BLDCM以極低速度運轉,此使該幫浦系統能夠以最小變化而在一寬廣速度範圍內操作,從而大體上增加了施配效能及操作能力。
    • 本文中所揭示之系统及方法之实施例利用一无刷DC马达(BLDCM)以在一帮浦系统中驱动一单级或一多级帮浦,以用于进行适用于半导体制造中的实时平稳运动及对流体移动与施配量之极精确并可重复的位置控制。该BLDCM可采用一位置感应器以用于对一运行一定制场导向控制机制之处理器的实时位置回馈。本发明之实施例可借由根据基础功能之决定性条件(criticality)而经由一定制控制机制来增加及减小该BLDCM之操作频率而在无不良地损害施配帮浦之精确位置控制的情况下减少热产生。该控制机制可在维持一恒定速度的同时使该BLDCM以极低速度运转,此使该帮浦系统能够以最小变化而在一宽广速度范围内操作,从而大体上增加了施配性能及操作能力。
    • 6. 发明专利
    • 熱交換模組及其串聯泵
    • 热交换模块及其串联泵
    • TW201727056A
    • 2017-08-01
    • TW105102479
    • 2016-01-27
    • 訊凱國際股份有限公司COOLER MASTER CO., LTD.
    • 蔡水發TSAI, SHUI FA
    • F04B23/00F28D1/04
    • 一種串聯泵,其包含一泵體、一第一葉輪以及一第二葉輪。泵體內形成有一第一轉子腔、一第二轉子腔以及一引流道,第一轉子腔具有一第一出水口,第二轉子腔具有一第二入水口,引流道連通於第一出水口及第二入水口之間。第一葉輪樞設在第一轉子腔內,且第一葉輪之外緣對應第一出水口配置。第二葉輪樞設在第二轉子腔內,且第二葉輪之中心對應第二入水口配置。因此,第一葉輪與該第二葉輪串聯配置。
    • 一种串联泵,其包含一泵体、一第一叶轮以及一第二叶轮。泵体内形成有一第一转子腔、一第二转子腔以及一引流道,第一转子腔具有一第一出水口,第二转子腔具有一第二入水口,引流道连通于第一出水口及第二入水口之间。第一叶轮枢设在第一转子腔内,且第一叶轮之外缘对应第一出水口配置。第二叶轮枢设在第二转子腔内,且第二叶轮之中心对应第二入水口配置。因此,第一叶轮与该第二叶轮串联配置。